サンプル無料進呈『工業用フェルト（プレス・ニードルフェルト）』

PR保温・保冷・断熱・防音・振動防止等を最適化

当社の『工業用フェルト』は、羊毛長尺フェルト（白・原色）、 硬質バフフェルト、羊毛小型フェルト、各種混毛のニードルパンチフェルト といった豊富な種類をラインアップ。 保温、保冷、断熱、振動防止、研磨など、さまざまな目的で活躍します。 特にオススメは、熱と打撃を加えるとさらに強く絡み合う 羊毛繊維の性質を利用してつくられた「羊毛長尺フェルト」。 さらに、用途に応じて様々な形状に加工できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 司フエルト商事株式会社

N2プラズマ　Visible Plasma

PRN2リモートプラズマ、N2ダイレクトプラズマ、コロナ、トーチプラズマを…

当製品は、従来のN2リモートプラズマとエアープラズマの ハイブリッドタイプです。 プラズマの発生を目視で確認可能。 また、10mmまでの長距離照射が可能です。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■コンパクトなヘッド構造 ■プラズマの発生を目視で確認可能 ■10mmまでの長距離照射が可能 ■低温の為熱ダメージを与えない ※詳しくはPDF...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イトー

BS series 研究開発用 電子ビーム蒸着装置

用途や目的に応じて任意にカスタマイズ可能な真空蒸着装置

〇特長 ・蒸着源は、電子ビーム蒸着源（電子銃）、ボンバード蒸着源、抵抗加熱蒸着源を選択でき、任意に組み合わせて複数台搭載することが可能。 ・電子銃＋反射電子トラップ、またはボンバード蒸着減により、低温・低ダメージ蒸着が可能。特にレジストを用いるリフトオフ蒸着に有効。 ・アルミの安定蒸着ができ、繰り返し使用できるライナーもご提供。 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

LUXEL社製　抵抗加熱蒸着源(エバポレータ)　OLED

有機EL等の有機薄膜デバイスの開発に最適、抵抗加熱型蒸着源

高品質薄膜フィルターメーカーのLUXEL社は、真空蒸着用にお使い頂ける、抵抗加熱型蒸着源(エバポレーター)を提供しております。 低温蒸着用ですので、有機EL等の有機薄膜デバイスの開発に適しています。また、コンパクトで取扱いが簡単なため、実験用に最適です。 ★ラインナップ★ ●小型サイズ（1cc） のOLED１ ●中...

メーカー・取り扱い企業： ラドデバイス株式会社

リフトオフプロセス対応真空蒸着装置

高周波・通信デバイスに多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置で…

や貴金属を含む 厚膜の形成が可能。 基板への蒸発粒子の入射角の垂直性に優れており、成膜時の基板の温度上昇を 防ぐ各種機構（基板水冷機構、電子銃用反射電子トラップ、輻射光防止対策） により低温蒸着が可能です。 【特長】 ■蒸着粒子の基板への入射角の垂直性（90°±3°at6インチウェハ） ■基板水冷機構による低温蒸着（70℃以下＝実績値） ■大口径排気系による高速排気とクリー...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型樹脂基板用蒸着装置

成膜前の高周波プラズマによる放電洗浄により、樹脂基板に対して高い密着力

大型樹脂基板用蒸着装置』は、自動車の外装品の大型樹脂成形品への 薄膜形成を目的とした大型蒸着装置です。 複数の電子銃蒸発源を装備し、Al、Cu、Niなどの金属膜を長さ1mの 大型樹脂基板へ低温での高速成膜が可能。 自動車部品だけでなく電子機器への電磁波シールドにも実績を持っており、 大型チャンバ（φ2000）、電子銃蒸発源、大型排気系の組合せにより 大量バッチ処理による高品質装...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

熱蒸着装置『EVAD シリーズ』

金属、誘電及び有機膜成膜！熱蒸着装置をご紹介

当社で取り扱う『EVAD シリーズ』をご紹介いたします。 当製品はPID温度制御された低温蒸着セルによる有機分子成膜の熱蒸着装置。 また、電子ビームや各種抵抗加熱による金属、誘電及び有機膜成膜です。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■電子ビームや各...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

BS-80020CPPS プラズマソース

無加熱成膜でも密着性が良く、充填密度の高い薄膜が形成できます

日本電子株式会社 BS-80020CPPS プラズマソースは、プラズマによる基板や基材の温度上昇を抑え、基板/基材へのイオン照射エネルギーを高めた低温プロセス用のプラズマソースです。 プラスチックや有機フィルムへの成膜用途（プラズマアシスト蒸着）や表面改質用途に適しています。 〇特長 ・無加熱成膜でも密着性が良い ・填密度の高い薄膜が形成 ・既...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

RIBER　MBEセル（蒸着源）

MBEセル（蒸着源、分子線セル）はエピタキシャル膜の品質において重要で…

ルブドクラッカーセル ・大容量・高安定性ガリウム、インジウムセル ・窒化物向け高耐性エフュージョンセル ・特殊用途セル（高温セル、昇華型カーボンセル） ・窒素、酸素RFプラズマ源 ・高温・低温ガスインジェクター...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

化合物半導体用蒸着装置（ＡＡＭＦ－Ｃ１６５０ＳＰＢ型）

先端光デバイスに最適な専用蒸着装置。低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面…

従来型よりコンパクトなチャンバに大口径クライオポンプを採用、チャンバ各機構部に超高真空対応を採用し、クリーンな高真空環境を可能にしました。 蒸発源には水冷式反射電子トラップ付きの電子銃を使用しており、基板への電子の乳を防いだ低ダメージ成膜を実現しています。 実績豊富な６連式電子銃は高融点金属を含む多層膜電極形成に対応しています。また安定した蒸着が特徴でマイクロアークによる基板ダメージやドロップ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

アークフィラメント式イオンプレーティング装置　

緻密な酸化膜厚膜（～１０μｍ）を高速形成。新開発イオン化機構搭載　Ｃ…

緻密で耐プラズマ性の高いイットリア膜やＳｉＣ膜を高速形成。 高密度プラズマによる反応性プロセスによりCVDより低温で溶射法より緻密な膜質を実現。 半導体関連部品にも応用可能なクリーンな成膜プロセスを実現。 PVD法のため装置のメンテナンスも容易で低コスト。 絶縁膜（酸化膜・炭化膜）を高速形成。緻密な厚膜を...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型蒸着装置（ＡＡＨ型　自動車部品用）

樹脂外装品の成膜に実績豊富な大型蒸着装置　長尺樹脂成形品の成膜に最適　…

１ⅿ以上の長尺樹脂成形品の全面成膜に対応。高速排気と低温蒸着が特徴。短タクト処理で量産ラインに対応。成膜前のイオンボンバード処理により高い膜の密着性を実現。電子銃の複数台使用により各種金属の高速成膜に対応。 水晶振動式膜厚計による制御で不連続膜も安定し...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…

多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」は、蒸発源として電子ビーム式蒸発源を採用しています。 高融点金属や酸化物を成膜する事ができます。 蒸発速度の制御と膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。 主ポンプはクライオポンプを搭載しています。 操作制御系は全自動式になっています。 【特徴】 ○良好な膜厚分布が得られるように蒸発源と基板治具が配置されている ○電子ビーム式蒸発源は...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

光学用真空蒸着装置用潤滑材・ミラクルピロー

光学用真空蒸着装置の回転系に滑らかな回転をもたらし、歩留まりの向上と回…

ミラクルピローはNFメタル（デイツ材）を円柱状に成形した製品です。真空中、低温（100℃）から高温（約800℃）まで潤滑性を保ちます。デイツ材については、このサイト内で「真空用自己潤滑性複合材料」を検索してください。デイツ材は潤滑成分に二硫化タングステンを使用しています。二硫...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社アベニューマテリアル

有機EL用蒸着セル

有機材料（有機EL、高蒸気圧材料）薄膜用に開発されたＫセルタイプの蒸着…

精密なコントロールが極めて安定して動作可能です。直接加熱方式により、低温領域において優れた温度応答性と温度安定性を備えております。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

IBAD(イオンアシスト蒸着法)装置　CVI series

真空蒸着よりも緻密で強度が高く、表面が平滑な成膜が可能！

【特徴】 　・従来技術の真空蒸着法に加え、イオンビームを組み合わせた複合技術 　・低温で低エネルギー照射が可能 　・曲面や立体にも成膜が可能 【主な用途】 　・超硬工具用保護膜（c-BN） 　・食品用バリア膜（アルミ） 　・太陽電池用下地膜（アルミ） 　・光学用フィル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

フリーマウント式金属蒸着源『KFOD-1』

取り扱いが簡単！小型で簡易設計のフリーマウント式金属蒸着源

『KFOD-1』は、るつぼに材料を充填し、フィラメントヒーターにより 加熱をする低温蒸発材料用の簡易蒸着源です。 るつぼ(蒸着)向きの調整が可能なため、取付方向を選びません。 既存装置でも試料に向けて取付でき、ねじ1本で蒸着方向を固定/解除できます。 短時間での加熱、...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社