静電気対策専用 DLCコーティング『THORスリック』

低温処理による高い被膜密着性と低発塵性！表面抵抗値別製品をラインアップ

ESD対策専用DLC コーティング『THORスリック』は、帯電によって起こるダスト等吸着による生産性低下 などの不具合対策に活用できる製品です。 低温処理で高い被膜密着性と低発塵性。色調は黒色で、耐摩耗性や耐食性、 耐焼付性を有しています。 半導体製造前工程のウエハホルダやウエハ搬送アーム、吸着ステージなど 幅広い用途でご使用いただけます。 【特長】 ■低温処理で高い...

メーカー・取り扱い企業： 日本コーティングセンター（ＪＣＣ）株式会社

スリットバルブシール

スリットバルブシール

ール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体業界向けには、低発塵性、耐プラズマ性、耐薬　品性、低固着特性に優れた製品を、液晶業界向けには、基板大型化に対応した製品を製造・販売しております。 ●同業界向けの製品群の１つとして、製造装置の成膜工程などの処理チ...

メーカー・取り扱い企業： 三菱電線工業株式会社

ジャケットヒーターシステム

PID制御でさらに温度均一性を保つ配管用ジャケットヒーター

までの高温まで加熱可能 ・多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントは高安全性で丈夫 ・コールドスポットがなく、温度均一性に優れます ・半導体装置用のクリーンルーム用途を目的とした低発塵性タイプを用意 ・フレキシブルで脱着性、フィット感がよい ・CEマーク、UL認定有り 【専用の温調 & モニターシステム 】 ・通信機能で各ジャケットヒーターの温度制御とモニターし...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京興業貿易商会 本社

純水昇圧装置

工場内純水供給圧を増強させ、圧力不足を解消！さらに、純水供給圧力変動を…

安定化を検討の際、ぜひお問い合わせ下さい。 ・Levitronix社ベアリングレスポンプ（磁気浮上型遠心ポンプ） ・脈動が少なく、安定的な供給性能を備えます。 ・非接触式のインペラにより低発塵を実現。 ・メンテナンスフリー且つ高い耐久性を誇ります。 ・お客様のご要望に合わせて、カスタマイズが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

極高真空用フッ素グリース『ロゲネストラムダZLVP』

極高真空下（10-8Pa以下 ）にてアウトガスが発生しにくいグリースで…

【特徴】 • あらゆるグリースの中で、最高レベルの長寿命性を有します • 低発塵グリースとしても活用可能です • 市販グリースで、最高の蒸気圧特性を持つフッ素グリースです • 酸化安定性、耐薬品性、電気絶縁性にも優れています • RoHS指令に対応製品...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッペコ 本社

FOUPロードポート『TAS450』

ロードポートは新たなステージへ。可動部はパーティクル性能を向上させた構…

装置に取り付けられ、半導体製造工程にて 使用されるFOUP（FrontOpening Unified Pod）を自動的に開閉するための 標準ロードポートです。 半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループットについて、 最高クラスの性能を有しています。 【特長】 ■SEMI Standard E154 ■可動部はマッピングユニットを含め全てウエハ面下方にあり、 　パーテ...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社 テクニカルセンター

SMIF POD（マルチ／シングルタイプ）「SEMI規格準拠」

徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取…

)は半導体前工程のリソグラフィー工程でレチクルを保護するために使用されます。 【特徴】 ■剛性、耐久性が強化 　・金属製の為、従来の樹脂製に比べて、剛性、耐久性が強化されています。 ■低発塵、洗浄しやすいライナーレス設計 　・365nm, 248nm, 及び193nmのレチクル使用可能（プラスティックにリン酸添加物の含有無し） ■大手露光装置メーカーにより認可済 ■超音波洗浄...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

ノッチ・オリフラ自動整列機（AAM-01型）

指定カセットに収納されたウェーハのノッチ及びオリフラの向きを整列させる…

・カセットを2個セット可能です。 2カセットにすることにより作業時間を大幅に削減できます。 ・回転ローラーに特殊樹脂整列バーはステンレス材に樹脂コートを行い、 耐摩耗性と低発塵を達成しました。 ・タイマーをあらかじめ設定する事により、スイッチで3種類の角度に整...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

FOUPロードポート『TAS300』

長時間のドア開閉繰返し動作でも安定した高性能を発揮！優れた耐久性のロー…

装置に取り付けられ、半導体製造工程にて 使用されるFOUP（FrontOpening Unified Pod）を自動的に開閉するための 標準ロードポートです。 半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループット、及び 繰り返し動作の耐久性について、最高クラスの性能を有しています。 可動部は、マッピングユニットを含め全てウエハ面下方にあり、徹底した 気流解析により高レベルのパー...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社 テクニカルセンター