• UV-LED光源!半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー 製品画像

    UV-LED光源!半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー

    光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、…

    当製品は、UV-LED光源搭載の自動一括等倍露光装置(マスクアライナー)です。 弊社の特徴として、フォトマスクとウエハを完全非接触でステージとマスクの自動平行調整が行えます。 超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で フォトマスクとウエハのアライメントも正確に行います。 露光方式としてプロキシミティ、ソフト、ハードコンタクトにも対応。 マニュアル機~フル...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • UV(紫外線)フィルム硬化装置|LED光源仕様「UVC-300」 製品画像

    UV(紫外線)フィルム硬化装置|LED光源仕様「UVC-300」

    LED光源で長寿命! 波長 365nmの紫外線(UV)を照射

    LED光源を使用した、UVフィルム硬化装置です。 従来の装置と同水準の装置価格のままで、ランニングコストを1/10以下に抑えることができます。 水銀灯やメタルハライド光源と比較して、硬化性能(硬化状態、硬化スピード)はより良好なレベルを実現しています。 その他、本装置は下側照射や上側照射をはじめ、カスタム仕様の対応、装置組み込み用途などのモジュール化にも対応いたします。...■特長 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノビジョン 本社

  • マルチスペクトルLED光源装置 ALE/3 製品画像

    マルチスペクトルLED光源装置 ALE/3

    高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大15W、水銀不使…

    従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。 最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。 また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。 ...

    メーカー・取り扱い企業: ケイエルブイ株式会社

  • マルチスペクトルLED光源装置 ALE/2 製品画像

    マルチスペクトルLED光源装置 ALE/2

    同一波長のモジュールを複数搭載可能な高出力・高安定のLED光源装置。ハ…

    ALE/2は従来の放電ランプを上回る高出力、高安定を実現したLED紫外線光源装置です。最大4波長のLEDを内蔵し、複数波長の出力が可能です。また兄弟機のALE1と大きく異なる点は同一波長のモジュールを複数搭載可能なのでI線もしくはG線のみを高強度で出力することが可能となってい...

    メーカー・取り扱い企業: ケイエルブイ株式会社

  • UVフィルム硬化装置|全自動 LED光源仕様「UVC-300A」 製品画像

    UVフィルム硬化装置|全自動 LED光源仕様「UVC-300A」

    高圧水銀灯やメタルハライド光源と比較しても十分な硬化性能(硬化状態、硬…

    テクノビジョンが独自に開発した高出力LEDドライバーを採用し、250mW/cm2(10mm work distance)の照射出力を達成。光源部は、往復スキャンしながらワークを均一に照射します。 LEDの特長である常温照射によるワークへの熱ダメージ低減、低消費電力、長寿命性、光源の交換時に安全等、数多くのメリットが受けられます。...■主な特長 ・常温、室温照射ができる ・光源は瞬時に立...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノビジョン 本社

  • 素材表面の洗浄・改質に効果あり! 紫外線洗浄改質装置 製品画像

    素材表面の洗浄・改質に効果あり! 紫外線洗浄改質装置

    照射サイズ400×400mm卓上型洗浄改質装置

    引出しタイプの洗浄改質装置です。 有効照射サイズ:約400×400mm ランプの入/切による短寿命を緩和する常時通電を採用 安全を考慮したインターロック仕様なっております。 ...【仕様】 ■寸法:750×920×1175mm(突起物を除く) ■重量:約210kg ■使用ランプ:EUV200NS-**×6本 ■照射エリア:約442×450mm ■トレイサイズ:620×550×70mm ...

    メーカー・取り扱い企業: セン特殊光源株式会社

  • 素材表面の洗浄・改質に効果あり! 紫外線洗浄改質装置 製品画像

    素材表面の洗浄・改質に効果あり! 紫外線洗浄改質装置

    シャッタータイプの卓上型洗浄改質装置

    安全面も考慮されたシャッタータイプの洗浄改質装置です。 照射サイズ:約160×180mm 操作パネルで照射時間等の設定も簡単に行えます。 ...【仕様】 ■寸法:650×520×495mm(突起物を除く) ■重量:約60kg ■使用ランプ:EUV200GS-**×1本 ■照射エリア:約160×180mm ■照射距離:40(Min)~59(Max)mm ■入力電源:単相200V...

    メーカー・取り扱い企業: セン特殊光源株式会社

  • LED光源マスクレス露光装置 DL-1000シリーズ 製品画像

    LED光源マスクレス露光装置 DL-1000シリーズ

    世界で初めて最小画素1μm(オプション:0.5um対応可能)の自由度の…

    D-light DL-1000シリーズは、レジストの三次元加工を容易に実現できる機能を搭載したフォトマスクが不要なマスクレス露光装置です。 本装置は、グレースケールデータを効率的に作成・変更できるソフトウエアとDMD(Digital Micromirror Device)に転送されたグレースケール信号をピクセル(□1μm)単位で光強度に階調を持たせた2次元画像として逐次投影することのできるハード...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ナノシステムソリューションズ

  • UV(紫外線)フィルム硬化装置|LED光源仕様「UVC-708」 製品画像

    UV(紫外線)フィルム硬化装置|LED光源仕様「UVC-708」

    波長365nmのUV-LEDを使用、常温照射、低ランニングコストです!

    『UVC-708』は、波長365nmのUV-LEDを使用した、コンパクトな LED光源UVフィルム硬化装置です。 UV-LEDの特長である常温照射、低ランニングコストはそのままに、 8インチウェハに対して全面照射を可能としました。 【特長】 ■365nmのUV-LEDを使用し、常温照射、低ランニングコスト ■小型、テーブルトップサイズ ■簡単ボタン操作 ■LEDユニット...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノビジョン 本社

  • ロール両面同時露光装置『BEX-560DR-LED』 製品画像

    ロール両面同時露光装置『BEX-560DR-LED』

    ランニングコストの負担軽減に貢献するロール両面同時露光装置!

    『BEX-560DR-LED』は、生産性・高精度・大面積・省エネ・拡張性など 1台で多様な生産現場のニーズに対応できるロール両面同時露光装置です。 高品質なLED光源ユニットを搭載し、ランニングコストの負担を軽減。 また、超高精度アライメント機構によりパターン表裏の位置合わせ精度 1μmを実現します。 【特長】 ■露光室のクリーン度を上げる/装置内をクリーン度でクラス分け ■...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社べアック

  • マスクレス露光装置『 ME-120F』 製品画像

    マスクレス露光装置『 ME-120F』

    最大12インチウエハに対応!汎用CAD対応の直接描画なので、フォトマス…

    ◆直接描画でフォトリソの課題を解消 マスクレス露光装置は、DMD(Digital Micromirror Device)により、ワークに直接描画を行う装置です。 フォトマスクの製作に必要とされていた莫大な費用と多くの時間が不要になることで、従来のフォトリソグラフィプロセスにおける課題が解消され、半導体デバイスの試作がより身近なものとなります。 ◆選べる露光モード 2016年よりピクセル...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ピーエムティー 本社・工場

  • ロール to ロール片面露光装置 製品画像

    ロール to ロール片面露光装置

    フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度片面露光装置

    平行光光源により高解像度が得られます...FPCの回路形成を行うための露光装置です。 ロール to ロールでピッチ送りし、上面からドライフィルム上にパターンを焼きつけます。 装置は、ロール巻出機→クリーンローラ装置→エッジコントローラ装置→露光部→ロール送り部→ロール巻取機によって構成されます。 【主な特長】 平行光光源による高解像度 高精度基板搬送(サーボロール送り、エッジコントローラ...

    メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社

  • 量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』 製品画像

    量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』

    サイズは4inと8inをご用意!〇型□型試料に対応した高い汎用性を有し…

    当社が取り扱う量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』を ご紹介します。 シンプル構造で低価格を実現。 〇型□型試料に対応した高い汎用性を有しております。 4inサイズの「ALA410」と、8inサイズの「ALA810」をご用意しています。 【特長】 ■高い汎用性(〇型□型試料対応) ■信頼性の高い球面軸受 平行機構 ■シンプル構造で低価格を実現 ■Φ4in、Φ6...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所

  • 自動両面露光装置 製品画像

    自動両面露光装置

    フィルム材料用 Roll To Roll 自動両面露光装置

    自動両面露光装置は、高精度両面自動整合機を搭載しています。 平行光ランプで高精度画像が得られます。 【特長】 ■タッチパネル PET フィルム用 Roll To Roll 露光装置 ■フィルム搬送を熟知した材料搬送技術 ■露光機専用に開発された画像処理装置搭載 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【主な仕様】 [露光部] ■露光方式:ハードコ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ラットコーポレーション 本社:営業部・業務部

  • 表面改良コンポーネント 製品画像

    表面改良コンポーネント

    表面改良コンポーネント

    オーダーメイド品を製造・販売している ケニックス社の『表面改良コンポーネント』のご案内です。 ■□■ラインナップ■□■ ■172nm真空紫外光によるエキシマ光源 ・低温、ダメージレス処理 ・エネルギー効率の高い単一波長 ・有機ELの仕事関数アップ ■ハンディータイプの大気圧プラズマ ・コンパクト設計 ・取り扱いが簡単 ・AC100Vのコンセントで動作 ・メンテナンスが...

    メーカー・取り扱い企業: ケニックス株式会社

  • UV(紫外線)硬化装置|高圧水銀ランプ仕様「UVC-512」 製品画像

    UV(紫外線)硬化装置|高圧水銀ランプ仕様「UVC-512」

    ワークを回転させながら照射させるため、ウェハー全領域に均一なUV照射を…

    【モデルUVC-512】は、特定波長(365nm)の紫外線を照射することのできる装置です。UV(紫外線)硬化タイプのフィルムに照射することで、ダイシング後に、チップをテープから簡単に剥離させることが可能となります。 本装置は、ワークを回転させながら照射させるため、光源長がワークの半径分で収まり小型、軽量でかつ、ワーク全領域に均一な照射を行なうことが可能なUV フィルム硬化装置/UV 照射装置...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノビジョン 本社

  • オート式露光装置 製品画像

    オート式露光装置

    190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

    2インチのウエハサイズに対応する、全自動式露光装置です。 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり、自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで、毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました。 特に、新開発のアライメント画像処理には、任意座標指定のサーチおよび、インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました。また、安定した視...

    メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社

  • 多光子励起光造形装置『MPF-330』 製品画像

    多光子励起光造形装置『MPF-330』

    材料が熱的な損傷を受けない!フェムト秒レーザーを用いた多光子励起光造形…

    『MPF-330』は、フェムト秒レーザーを用いた多光子励起光造形装置です。 750~900nmの超短パルスレーザー光を励起光源として用いることにより、 紫外~可視領域に吸収を持つ物質の2光子励起が可能です。 従来の高出力レーザーによる光造形より高空間分解能で、 ナノスケールの光造形ができます。 【特長】 ■フェムト秒レーザーを用いた多光子励起光造形装置 ■紫外~可視領域に...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社フォトサイエンス

  • 実験・研究用露光装置 製品画像

    実験・研究用露光装置

    コンパクトな設計のマニュアル式オートアライメント露光装置(マスクアライ…

    【主な特長】 ・多品種・小ロット生産や実験・研究に最適なマニュアル一括露光装置 ・高精度オートアライメントおよび裏面アライメント機能を搭載。 ・割れ基板へのオートアライメントが可能。 ・フットプリントを縮小化することで省スペースを実現。 ・UV-LED光源搭載可能 ・レシピ管理機能 ・バーコードリーダーを用いたオペレータ補助とLOG保存。...【主な仕様】 ・サイズ:Ø2~Ø8” ・マスクサイ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社大日本科研

  • 【製作実績紹介】ロール加圧式インプリント装置 製品画像

    【製作実績紹介】ロール加圧式インプリント装置

    ガラス基板等へUVインプリントを自動で行う装置。

    ガラス基板上にUV硬化樹脂を塗布し、その上にモールドを載せ高精度に加圧・速度コントロールされたローラにより、加圧、圧着され、UV照射により硬化パターニングさせる装置。 当社は、FA装置の開発・設計から組立調整、設置、納品後のメンテナンスや改善・改造提案まで一貫したサービスを展開しています! 掲載装置は製作実績です。 こちらをご参考に、類似した装置または新規製作に対応致しますので、お気軽にお問い合...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ライズワン

  • マルチスペクトルLED光源装置 ALE/1 製品画像

    マルチスペクトルLED光源装置 ALE/1

    高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大30W、水銀不使…

    従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。 最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。 また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。 ...

    メーカー・取り扱い企業: ケイエルブイ株式会社

  • 自動等倍露光装置(オートマスクアライナー)Maskaligner 製品画像

    自動等倍露光装置(オートマスクアライナー)Maskaligner

    簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理。オートアライメント機能…

    当製品は、オート一括等倍露光マスクアライメント装置です。 フォトマスクとウエハを完全非接触で自動平行調整を行います。 超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で フォトマスクとウエハのアライメントを正確に行います。 ソフト、ハードコンタクトにも対応。 マニュアル機~フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているの...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • UV-LED照射器【水銀不使用。高出力UVLED】 製品画像

    UV-LED照射器【水銀不使用。高出力UVLED】

    高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大30W、水銀不使…

    従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。 最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。 高性能の内部温度管理により、...

    メーカー・取り扱い企業: ケイエルブイ株式会社

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