新色収差共焦点センサー『CHRocodile MPS 2L』

サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響無！ホットエンド工程にも対…

『CHRocodile MPS2L』は、同時に24測定ポイントができる 新色収差共焦点センサー(MPS)です。 波長差は一定の厚さに対応。 複数ポイントを1つのプローブヘッドで対応可能です。 サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響はありません。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

色収差共焦点センサー『CHRocodile C』

最大±45°の傾斜でも正確かつ安定測定！全ての表面に対応します

『CHRocodile C』は、白色光を通した、色収差による変位もしくは 厚み測定を行う色収差共焦点センサーです。 440g以下のコンパクトサイズ。 "粗面"をはじめ、"鏡面"や"色付き材料"など全ての表面に対応します。 プローブヘッドは200um～10mmまでご用意しております。...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高速・高精度な厚み測定！プレシテック社　非接触センサ

従来の色収差共焦点法・分光干渉法に加え、レーザー加熱を利用した厚み測定…

プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。色収差共焦点法、分光干渉法を利用した光学式センサの開発・製造をしています。 2022年末にフランスのEnovasense社を買収し、不透明体の厚みを測定できるレーザー加熱を利用したセンサもラインナップに加わ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高速・高精度な厚み測定、形状測定に！プレシテック社　非接触センサ

色収差共焦点法・分光干渉法での測定が得意な非接触センサメーカー。高速・…

プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。色収差共焦点法、分光干渉法を利用した 光学式センサの開発・製造をしています。 高速・高精度な厚み測定、形状測定を得意としており、ウエハ厚み、エッジ形状、高さ測定、 平坦度の測定・検査などに使用されて...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

測定技術を次のレベルへ

ハイエンド色収差共焦点センサーによる工程と品質保証の改善

えるには、超高速のインライン測定による データが不可欠です。 そのような技術には非接触、高精度のほか、堅牢性、高信頼性、高分解能の 3Dイメージングが求められます。 当社の「色収差共焦点センサー」なら、こうした要件を満たすことが可能です。 高性能な光学レンズを採用した当社の色収差共焦点センサーは、白色光が 光軸に沿って1点ではなく複数の距離で合焦するため、可視光のすべての...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

【資料】プレシテック製光学センサによる表面粗さ測定

CHROMATIC LINE SENSOR （CLS）は、ラインに沿っ…

【その他掲載内容】 ■ラインセンサー：CHROMATIC LINE SENSOR（CLS）超高速3D計測 ■色収差共焦点の測定原理 ■色収差共焦点ラインセンサー：Chromatic Line Sensor（CLS） ■ラインセンサー：CHROMATIC LINE SENSOR（CLS）超高速3D測定 ■新製品...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

非接触厚み測定　光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」

薄膜（数um)～厚膜(780um)まで高精度に測定できる幅広いプローブ…

豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数um)～厚膜(780um)までカバー。 　　　材質に合わせて二つの原理方式から選択可能。 　■高分解能（サブミクロン 最小1nm） 　　　「色収差共焦点方式」、「分光干渉方式」の原理による高分解能測定 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 　■多業界で豊富な実績 　　　半...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

ウエハーステップハイトのインプロセス測定

「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2…

ば、ワークにストレスを加えたり ワークを破壊したりすることなく加工中のウエハーの厚みがモニター されるため、ソリューションとして好適です。 当社の「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2つの 測定チャネルを搭載しています。 センサーは2つの色収差プローブを処理し、測定値と出力をリアルタイム に同期。ウエハーの最終的な高さや厚さを出力します。 ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

【資料】CHRocodileシリーズのご紹介

非接触厚み及び形状計測センサーについて掲載しています！

サー」や 「CHROMATIC VISION CAMERA」などについて掲載。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■CHRocodileの測定原理について ■原理1：共焦点位置測定モード(表面形状・粗さ測定) ■CLS外観 ■CLS用プローブ ■CLSコントローラー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

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高速カメラ『CHRomatic Vision Camera』

インライン向けの高速で、高精度な外観検査用のラインカメラです。ウエハ検…

『CHRomatic Vision Camera』は、高速な外観検査用のラインカメラです。 　色収差共焦点原理を利用しているため、焦点深度が最大3mmと広いタイプです。 焦点合わせが不要となり、フラットでない凹凸面でも高コントラストな画像が取得できます。２次元画像が得られます。また、最大140k...

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【資料】非接触厚み及び形状計測センサー

測定例を多数掲載！CHRocodileの半導体向けアプリケーションをご…

■例1：ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例：分光干渉式Si厚み ■分光干渉原理によるウェハーInsituプロセスの利点 ■例2：ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例：色収差共焦点によるステップハイト(厚み） ■色収差共焦点原理によるウェハーInsituプロセスの利点 ■測定例3：バンプウェハーの形状計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...

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バッテリー製造及びそのコンポーネント検査向けセンサーのご紹介

各センサーの測定原理や対応センサー、製品情報、使いやすさなどをご紹介！…

当資料では、プレシテック・ジャパン株式会社で取り扱う、さまざまな コンポーネント検査向けセンサーの性能についてをご紹介しております。 「色収差共焦点シングルポイントセンサー」や「光学ポイントセンサー」 などの各センサーの測定原理や対応センサー、使いやすさなどを掲載。 当社では、レーザー材料加工や光学測定技術のためのインテリジェントで ...

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画像センサ『CHRomatic Vision Camera』

振動の影響不要！環境に依存せず簡単な操作性を実現します！ウエハ検査用途…

『CHRomatic Vision Camera』は、ラインカメラをベースとして 色収差共焦点原理を応用した製品です。 コンパクトで組込みシステムをコンセプト(外部光源不要)で chromatic対物レンズは用途やレンジによって交換可能。 ラインセンサーのすべての利点を採用し...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

蓄電池・バッテリーの測定をサブミクロン分解能で高速高精度で測定

高温環境での平坦度測定や製造工程中の異物検査、ボタン電池のエッジ形状検…

当社は色収差共焦点・干渉を原理とした非接触タイプの測定器を取り扱っています。 膜厚測定、形状測定、粗さ測定、変位測定、外観検査に適用でき、加工中のインプロセス測定やインラインでの高速検査、オフライン測定が可能...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高精度非接触厚さ測定器【半導体用ウエハー】

高分解能の形状測定を実現。センサプローブの種類が豊富。平坦度や厚みのイ…

当社は色収差共焦点・干渉を原理とした非接触タイプの測定器を取り扱っています。 膜厚測定、形状測定、粗さ測定、変位測定、外観検査に適用でき、加工中の インプロセス測定やインラインでの高速検査、オフライン測定が...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

CHRocodile 2DPS＋CHRocodile 2IT

半導体向けインプロセス中におけるウェハー厚み測定センサーのご紹介！

光学測定ヘッドのデザインなどをご紹介。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■CHRocodile 2シリーズ ■半導体インプロセス向け光学測定ヘッドのデザイン ■利点：色収差共焦点原理による使用 ■利点：分光干渉原理による使用 ■ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

プレシテック社　非接触センサメーカーのご紹介

色収差共焦点法・分光干渉法での測定が得意な非接触センサメーカー。高速・…

【原理】 当社製品は測定原理で主に2種類のラインナップに分けることができます。 ■色収差共焦点：主に表面形状の計測に使用され、高さ計測、表面3D形状の計測などが主な用途です。色収差共焦点の原理を利用した大きな焦点深度と、当社の優れた光学設計技術を用いて、高速・高精度・高い角度許容度の測定を...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社