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PR循環ポンプ1台で冷却加熱ブラインを供給!ブライン供給配管の切替作業不要…
ブラインチラーは、「試験装置・温度制御用」「半導体・完成テスト用」を ご用意した冷熱ブライン循環装置です。循環ポンプ1台で-100℃~+100℃ のブラインを供給します。ブライン供給配管の切替作業は不要です。 【仕様】 ■冷凍方式:混合冷媒・マルチカスケード方式 ■加熱方式:電気ヒーター・ホットガス加熱方式 ■循環ポンプ・ブラインタンク内蔵 ◎循環量:10~20L/min ◎揚程:10~15m...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マック
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PR安定した高速駆動 高精度な制御を実現
■特徴 CA350-011は、直動サーボ弁駆動用サーボアンプです。 指令入力電圧に比例して、サーボ弁のスプール位置を変位制御します。 出力にはPWM方式を採用し、安定した高速駆動が可能です。 サーボ弁のスプール部に設置したLVDTセンサによる変位信号を、電圧値でフィードバックすることにより高精度で制御します。 基板本体は100×139mmの樹脂製ケースに収められ、コンパクトかつ軽量に仕上がっていま...
メーカー・取り扱い企業: ピー・エス・シー株式会社
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デバイス量産へ、優れたプロセス品質、信頼性、高スループットを提供!
ィング 〇オプションSMIFステーション <主なソフトウェア機能> 〇レシピエディター:プロセスの実行中にレシピの作成と変更が可能 〇1つの通信プロトコル(Ethercat)でクラスタ全体を制御 〇マルチタスクが可能な、1/20ミリ秒のデータログレート固定ループ制御サイクル 〇リモートアクセス可能なデータロガー、全データエクスポート可能 〇工場ホストへのSECS/GEM統合...
メーカー・取り扱い企業: PICOSUN JAPAN株式会社
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枚葉プロセスレベルの成膜品質をバッチ装置で!クラスタシステムにより生産…
造ラインまたはクラスターに統合できるスタンドアロンモジュールとして購入することもできます。 オペレーティングシステムソフトウェアは、直感的でユーザーフレンドリーなHMI一つを介してクラスター全体を制御し、 SECS-II / GEMプロトコルを介してシステムとお客様のファクトリーオートメーション間のスムーズな接続を保証します。 SEMI S2 / S8認定は、システムが業界の厳しい規格と互...
メーカー・取り扱い企業: PICOSUN JAPAN株式会社
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スマートインプリメント株式会社 スマートインプリメント株式会社・4th.ai・VISUS&co.