【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

薄くて軽い！ ケイドン「超薄型ボールベアリング」

PRわずか4.76mmの断面寸法を実現。省スペース・軽量化により、設計自由…

ケイドンの『超薄型ボールベアリング』は断面寸法が小さく、省スペース化と軽量化を実現しており、設計の自由度が向上します。 内径は25.4~1016mm、断面寸法は4.76~25.4mmまで幅広くラインアップ。 4点接触型、アンギュラコンタクト型、深溝型があり、特殊環境での使用も可能です。 【特長】 ■専門メーカーとして量産体制を確立しており、短納期にも対応 ■ボールベアリングのため...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社木村洋行

半導体治工具に適したフッ素樹脂コーティング技術

半導体治工具で必要な機能を付与できるコーティングをご紹介します

半導体治工具とフッ素樹脂コーティングは、半導体製造において密接な関係があります。 フッ素樹脂コーティングは、半導体治工具に以下の機能を付与するために使用されています。 ■耐食性 　半導体製造工程では、化学薬品や高温などの環境下で治具が使用されるため、耐食性の高いフッ素樹脂コーティングが施されます。 ■離型性 　半導体製造工程では、治具から半導体ウェハーや部品を取り出す際に、離型性が求められます。フッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

半導体製造プロセスとは？半導体製造を支える表面処理まで紹介

半導体製造プロセスとは？半導体製造装置で採用される表面処理を紹介します…

半導体製造プロセスとは、 設計から半導体デバイスを作り出し出荷するための一連の工程のことです。 半導体デバイスは、コンピュータ、スマートフォン、車載電子機器、LEDなど、 現代の様々な電子機器に利用される不可欠な部品です。 半導体製造プロセスは、高純度な精密性の高い技術を要するため、 多くの場合自動化されたクリーンルームで行われます。 1．設計→フォトマスクの製作 　論理回路設計・レイアウト設計・フ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

半導体装置部品のひずみを低減した帯電防止フッ素樹脂コーティング

半導体装置に使用される薄肉のアルミ部品へ帯電防止コーティング！焼成によ…

■解決したかったお悩み、実現したかったこと 半導体装置に使用される薄肉のアルミ部品へ帯電防止コーティングをしたいとご相談をいただきました。 従来のフッ素系帯電防止コーティングは高い加工温度での焼成が必要であったため、 アルミ部品のひずみを気にされ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

【資料ダウンロード】半導体･電子分野で選ばれる表面処理「用途別」

帯電防止性・耐熱性・耐薬品性・化学的不活性な特性のコーティングが半導体…

■メッキ冶具、はんだ治具、半導体製造ラインなどの用途 ・選ばれている表面処理 『テフロン（TM)フッ素樹脂コーティング』 ■精密金型などの用途 ・選ばれている表面処理 『バイコート(R)』 『ナノプロセス(R)』...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

【資料ダウンロード】半導体･電子分野で選ばれる表面処理「用途別」

半導体製造や電子部品製造で選ばれる表面処理技術をご紹介します。

■メッキ冶具、はんだ治具、半導体製造ラインなどの用途 ・選ばれている表面処理 『テフロン（TM)フッ素樹脂コーティング』 ■精密金型などの用途 ・選ばれている表面処理 『バイコート(R)』 『ナノプロセス(R)』 ■ウェハー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

フッ素樹脂コーティング　「採用業界や用途とは」

非粘着性や撥水性、すべり性に優れ、耐熱性や耐薬品性の高いフッ素樹脂コー…

■フッ素樹脂コーティングの採用業界と用途 ・半導体製造装置　 　めっき治具関係／半導体製造ライン／真空チャンバー等 ・自動車産業 　CFRP成形工程／搬送機器／成形金型／カッター刃等 ・食品用機器 　自動炊飯ライン／焼き型など ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

PFAチューブ｜吉田SKT　

PFAチューブは耐薬品性、純粋性、耐熱性に優れ、医療機器や半導体業界、…

置や長期の屋外使用も可能です。 『PFAチューブ＆パイプ』は、PFA及びPFA高純度グレードを使用した製品で、 さまざまなお客様にニーズにお応えします。 透明度が高く流体が視認でき、半導体業界をはじめ、化学、製薬業界、 医療機器業界、食料品、自動車業界等様々な分野でご利用いただけます。 また、特に一般的には入手しにくい大口径サイズもご用意しております。 ※在庫状況によりご提供...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

PFAチューブ　PFAパイプ｜吉田SKT

医療機器や半導体業界、食品業界で活躍するPFAチューブ！ 豊富なサイ…

した製品です。 耐薬品性に優れ、260℃までの温度範囲に対応するほか、 ”屈曲性”、”摩耗特性”や”耐候性”にも優れているため長期の屋外使用が可能です。 透明度が高く流体が視認でき、半導体業界をはじめ、化学、製薬業界、 医療機器業界、食料品、自動車業界等様々な分野でご利用いただけます。 また、特に一般的には入手しにくい大口径サイズもご用意しております。 【特長】 ■外径...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

【半導体業界解決事例】吸着治具レジスト液付着防止『ナノプロセス』

“薄さ”に挑戦する基板。厳しいクオリティ維持と生産効率を両立！吸着搬送…

精密な基盤にレジスト液を塗布する装置部品への表面処理の事例をご紹介します。 ■ご相談 フィルム状の薄い基板にレジスト液を塗布する工程で、 吸着治具にレジスト液が精密な基盤にレジスト液を塗布する工程でのご相談でした。 ■お悩み フィルム状の薄い基板にレジスト液を塗布する工程で、 吸着治具にレジスト液が付着して、次に搬送される基板に治具のレジスト液がくっついてしまう問題が発生。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

汚れにくい！4色のカラーバリエーションを実現、帯電防止フッ素加工

汚れも簡単に拭き取れる！静電気を対策と防汚性を両立。帯電防止フッ素樹脂…

■お客様の課題 静電気による製品の付着、ごみ付着、メッシュやパイプの詰まり、繊維の絡みなどでお困りではありませんか？ 静電気は火災、電撃ショック、フィルムの感光、半導体の破損、装置の誤動作などのトラブルを引き起こす可能性があります。 ■通常の帯電防止コーティングの課題 従来の帯電防止コーティングは、静電気トラブルを抑制する効果がある一方で、防汚性が低いという課...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

テフロン/フッ素樹脂はなぜ酸やアルカリに強いのか？

【資料進呈】テフロン/フッ素樹脂が酸やアルカリなどの溶剤に溶解しない原…

溶剤に触れても不活性で、樹脂として劣化・溶解しないつまり耐薬品性に優れるということになります。 ■テフロン/フッ素樹脂の耐薬品性を利用した製品 テフロン樹脂・フッ素樹脂の耐薬品性は化学工業分野や半導体分野や医療医薬分野で下記のような製品に使用されています。 ・各種ガスケット ・パッキン類 ・配管やホース ・貯蔵タンク ・反応槽 ・熱交換器 ※詳しくは資料をダウンロード頂くか下記リンク先をご覧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

超薄膜コーティング　『ナノプロセス(R)』【新製品資料進呈中】

1μｍ以下の膜厚。ナノレベルの薄膜を基材に形成するコーティングプロセス

から、 これまでフッ素樹脂コーティングが難しかった 『精密部品』や『高い寸法・表面精度を必要とする分野』での加工が可能となっております。 〈対応可能な高い表面精度を必要とする業界例〉 半導体　自動車　電池　電子部品　医療機器 etc また、ナノプロセスは4つの新しい機能でリニューアルを行っており、 それぞれで特長・用途が異なります。 現在、全シリーズの特徴や機能をおまとめし...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

ガスバリア性に優れ、耐薬品性の高いフッ素樹脂PTFEを解説

PTFEは耐薬品性、耐熱性、ガスバリア性に優れる稀有な樹脂です。

また、フッ素樹脂の中でも特にガスバリア性が高いことで知られています。 これは、PTFEが非常に低い透過性を持つため、ガスや蒸気が容易に通過することができないためです。 そのため、化学プラントや半導体製造プロセスなど、厳しい化学的条件下での使用に適しています。 さらに、PTFEは耐熱性も高く、-200°Cから+260°Cの温度範囲で使用することができます。 これにより、極端な温度条件下でも...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

精密な表面処理で撥水性・撥油性・親水性・非粘着性を向上！

１μm以下のナノレベルの薄膜で撥水性、撥油性、離型性、非粘着性を実現。…

ら、 これまでフッ素樹脂コーティングが難しかった『精密部品』や、 『高い寸法・表面精度を必要とする分野』での加工が可能となっております。 〈対応可能な高い表面精度を必要とする業界例〉 半導体　自動車　電池　電子部品　医療機器 etc 【各シリーズの特長】 ■TC-10S 100nmの精密性・可視光線透過率・撥水性・撥油性に優れる ■TLSシリーズ ガムテープの様な粘着物...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

テフロンライニングについて詳しく解説

ライニングの中でも特に耐薬品性に優れるフッ素樹脂ライニングについて詳し…

　テフロンは、ケマーズ社の商標のため、一般的にはフッ素樹脂ライニング 　を指します。フッ素樹脂は数あるライニング材料の中でも特に化学的安定性 　に優れます。そのため重防食や純粋性が必要な、化学・半導体・医薬品 　などの分野で広く利用されています。 ■樹脂ライニングの一つ 　フッ素樹脂ライニングは「樹脂ライニング」のひとつです。 　樹脂ライニングには、「ポリエチレン」「ナイロン」樹脂を利用した...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

機能性表面処理のご案内

最適な表面処理で収益性をアップ！様々なニーズに幅広い材料・処理方法をご…

や、 収益性改善についてのご相談を承っています。 「非粘着性」、「すべり性」、「耐薬品性」など、 最適にカスタマイズされた、幅広い材料・処理方法をふまえた提案が可能です。 自動車、半導体・液晶、通信機器、化学工場など、多数の分野で採用されています。 【特長】 ■テフロンコーティング ■ニーズに合わせたオリジナルコーティング ■1個から量産まで柔軟に対応 ■細かな精密...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

テフロンコーティング選定のご案内

最適な表面処理で収益性をアップ！様々なニーズに幅広い材料・処理方法をご…

や、 収益性改善についてのご相談を承っています。 「非粘着性」、「すべり性」、「耐薬品性」など、 最適にカスタマイズされた、幅広い材料・処理方法をふまえた提案が可能です。 自動車、半導体・液晶、通信機器、化学工場など、多数の分野で採用されています。 【特長】 ■テフロンコーティング ■ニーズに合わせたオリジナルコーティング ■1個から量産まで柔軟に対応 ■細かな精密...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

金属も樹脂も！低温で加工できるコーティング『セーフロンLF+』

従来の帯電防止フッ素樹脂コーティングのデメリットに対応！低温加工可能な…

ロンLF+の特長 ・低温加工可能（100℃以下） ・金属・樹脂への適用 ・色調バリエーション豊富 ・高い摩擦係数と機械的強度 ・帯電防止性能は従来のセーフロンと同等 ■お客様の課題解決事例 　【半導体装置用アルミ部品への帯電防止コーティング】 課題 ・薄肉のアルミ部品のひずみ 解決策 ・セーフロンLF+による低温焼成 効果 ・帯電防止性能の付与、ひずみ問題の解決 ※詳しくはリンクより詳細ペー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

半導体製造装置で採用される表面処理「用途別」※資料有り

半導体製造装置では、化学的不活性な特性・帯電防止性・耐熱性・耐薬品性に…

■半導体製造ラインなどの用途 ・選ばれている表面処理 『テフロン（TM)フッ素樹脂コーティング』 ■ウェハー・ガラス用ハンドなどの用途 ・選ばれている表面処理 『セーフロン(R)』 『PB...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

フッ素樹脂チューブ　『PFAチューブ＆PFAパイプ』｜吉田SKT

医療機器や半導体業界、食品業界で活躍するPFAチューブ！ 豊富なサイ…

ードを使用した製品です。 耐薬品性に優れ、260℃までの温度範囲に対応するほか、 ”屈曲性”、”摩耗特性”や”耐候性”にも優れているため長期の屋外使用が可能です。 透明度が高く流体が視認でき、半導体業界をはじめ、化学、製薬業界、 医療機器業界、食料品、自動車業界等様々な分野でご利用いただけます。 また、特に一般的には入手しにくい大口径サイズもご用意しております。 【特長】 ■外径×内径：φ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

【半導体業界事例】レジスト液の這い上がり防止技術『ナノプロセス』

吸着搬送治具へのレジスト液のはいあがりを防止できるコーティング事例をご…

精密な基盤にレジスト液を塗布する装置部品への表面処理の事例をご紹介します。 ■ご相談 フィルム状の薄い基板にレジスト液を塗布する工程で、 吸着治具にレジスト液が精密な基盤にレジスト液を塗布する工程でのご相談でした。 ■お悩み フィルム状の薄い基板にレジスト液を塗布する工程で、 吸着治具にレジスト液が付着して、次に搬送される基板に治具のレジスト液がくっついてしまう問題が発生。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

薬品に強いプラスチック素材　フッ素樹脂について解説

酸やアルカリに侵されないプラスチックとして有名なフッ素樹脂。なぜ酸やア…

覆っています。 そのため薬品や溶剤に触れても不活性で、樹脂として劣化・溶解しない つまり耐薬品性に優れるということになります。 ■フッ素樹脂の利用 フッ素樹脂の耐薬品性は化学工業分野や半導体分野や医療医薬分野で下記のような製品に使用されています。 ・各種ガスケット ・パッキン類 ・配管やホース ・貯蔵タンク ・反応槽 ・熱交換器 ※詳しくは資料をダウンロード頂くか下...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ