半導体治工具とフッ素樹脂コーティングは、半導体製造において密接な関係があります。
フッ素樹脂コーティングは、半導体治工具に以下の機能を付与するために使用されています。
■耐食性
半導体製造工程では、化学薬品や高温などの環境下で治具が使用されるため、耐食性の高いフッ素樹脂コーティングが施されます。
■離型性
半導体製造工程では、治具から半導体ウェハーや部品を取り出す際に、離型性が求められます。フッ素樹脂コーティングは、優れた離型性を有しています。
■帯電防止性
半導体製造工程では、静電気による半導体チップの破損を防止するために、帯電防止性の高いフッ素樹脂コーティングが必要とされます。
このように、フッ素樹脂コーティングは、半導体治工具の性能を向上させるために重要な役割を果たしています。
今後も、半導体製造技術の進歩に伴い、フッ素樹脂コーティングの需要は拡大していくと考えられます。
吉田SKTでは半導体治工具に適したフッ素樹脂コーティングの実績が数多くあります。
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基本情報半導体治工具に適したフッ素樹脂コーティング技術
■メッキ冶具、はんだ治具、半導体製造ラインなどの用途
・選ばれている表面処理
『テフロン（TM)フッ素樹脂コーティング』
■精密金型などの用途
・選ばれている表面処理
『バイコート(R)』
『ナノプロセス(R)』
■ウェハー・ガラス用ハンドなどの用途
・選ばれている表面処理
『セーフロン(R)』
『PBI、PIコーティング』
■精密ノズル、MEMS部品、光学レンズなどの用途
・選ばれている表面処理
『ナノプロセス(R)』
■薬液供給タンクなどの用途
・選ばれている表面処理
『テフロン（TM)フッ素樹脂コーティング』
『セーフロン(R)AP+』
『MYライニング(R)』
■クリーンルーム内壁、実験設備、各種治工具などの用途
・選ばれている表面処理
『セラシールドF』
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カタログ半導体治工具に適したフッ素樹脂コーティング技術
取扱企業半導体治工具に適したフッ素樹脂コーティング技術
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■加工製品・取扱商品 ・テフロンコーティング ・フッ素樹脂コーティング ・バイコート ・シリコーンコーティング ・フッ素樹脂加工製品（PTFE、FEP、PFA) ・非粘着性、撥水性、離型性、低摩擦性、すべり性、耐摩耗性、 耐食性、耐薬品性、耐熱性、耐寒性、電気絶縁性などの機能性表面処理 ■事業所のご案内 〇名古屋事業所 名古屋市港区新茶屋三丁目1238番地 TEL：(052) 302-3030（代表） 〇東京事業所 東京都荒川区町屋五丁目4番6号 TEL：(03) 3895-0351（代表） 〇山口事業所 山口県美祢市大嶺町東分字池尻3058番45 TEL：(0837) 52-0811（代表） 〇横浜営業所 横浜市神奈川区神奈川本町3-1弘中ビル302号 TEL：(045) 451-0033（代表） 〇大阪営業所 大阪市城東区成育四丁目9番14号 TEL：(06) 6933-5123（代表） 〇広島営業所 広島県東広島市西条町下見4343番地10 TEL：(082)421-3335（代表）
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