可視域ファイバレーザー & アンプ『ALS-VIS』

PR要求の厳しい用途に対応する産業用グレードの性能

・最大10Wの高出力 ・超低強度ノイズ ・高いビームポインティング安定性 ＆ 安定したビーム品質 ・ターンキー、メンテナンスフリーの信頼のあるシステム...半導体産業における高性能計測などの産業アプリケーションや量子コンピューティングのアプリケーションには、極めて安定した信頼性の高い高出力レーザー光源が必要です。 ALS-VISシリーズは革新的なファイバー技術をベースにしたレーザーとアンプで、特...

メーカー・取り扱い企業： トプティカフォトニクス株式会社 営業部

オンライン微生物検出分析装置『7000RMS』

PR超純水（UPW）の連続モニタリングが可能。サンプリングや培養が不要。環…

オンライン微生物検出分析装置『7000RMS』は、超純水（UPW）などの 高純度の水の微生物汚染をリアルタイムで検出する製品です。 レーザー誘起蛍光とミー散乱技術により、微生物を迅速に検出し、 半導体やマイクロエレクトロニクス製造での超純水の高品質維持に寄与。 サンプリングや培養が不要で、製造プロセスの遅延リスクを排除するほか、 消耗品を使用しないため廃棄物の発生もなく、環境負荷...

メーカー・取り扱い企業： メトラー・トレド株式会社

300mm対応光学式アライナ　SAL30C1シリーズ

ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメント可能

リング:4sec ○位置決め精度：センタリング:±0.1mm以内 (300mmシリコンウェーハの場合) 　ノッチロケート:±0.1度 (300mmシリコンウェーハの場合) ○センサ：可視半導体レーザーセンサ ○クリーン度：0.1μm クラス1(駆動部排気時) ○駆動方式：2相ステッピングモータ3軸使用　モータドライバ、コントローラ内臓 ○ユーティリティ：電源：DC24V 2A →使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL3261GRシリーズ

2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能です

、ノッチ仕様 無処理品 ○位置決め精度：センタリング:±0.2mm以内　オリフラロケート:±0.2度以内 ○位置決め時間：ノッチサーチ 3秒以内(持ち直し動作無しの場合) ○センサ：可視半導体レーザーセンサ ○クリーン度：ISO Class2 (ISO14644) ○駆動方式：2相ステッピングモータ3軸使用　モータドライバ内蔵 ○ユーティリティ：電源:DC24V 3A 　真空:-53...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL4484シリーズ

制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。

0～200mmシリコンウエハ ○位置決め時間　センタリング：3sec ○位置決め制度 →センタリング：±0.1mm以内 →オリフラ（ノッチ）ロケート：±0.1°以内 ○センサ　可視光半導体レーザーセンサ ○サイズ切替　コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度　0.1μm/cf　クラス1（駆動部排気時） ○駆動方式　2相ステッピングモータ4軸使用　モータドライバ・コントローラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL46C6シリーズ

シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め

0～300mmシリコンウエハ ○位置決め時間　センタリング：3sec ○位置決め制度 →センタリング：±0.1mm以内 →オリフラ（ノッチ）ロケート：±0.1°以内 ○センサ　可視光半導体レーザーセンサ ○サイズ切替　コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度　0.1μm/cf　クラス1（駆動部排気時） ○駆動方式 →2相ステッピングモータ4軸使用 →モータドライバ・コン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル