フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

トランク『AMシリーズ』

PRお客さまの収納品に合わせて加工いたします！さまざまな用途に対応する定番…

『AMシリーズ』は、アルミ1.5mmのアルマイト処理を施した強力な 素材を使用し、収納機器など重量物を衝撃から守る耐久性に優れた 定番トランクです。 1台から、量産まで必要数で提供しています。 内装は様々な電子装置など収納品に合わせて、スポンジ加工を施工しております。 オーダーメイドの対応しておりますので、ご要望をお知らせください。 【特長】 ■アルミ1.5mmのアルマイト処理を施した強力な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社舘林製作所

検査装置　「ウエハエッジ外観検査機」

傷・異物・クラックなどの欠陥の検査に。エッジの精細画像検査を実現

【特長】 ○１台のカメラでエッジ３面の検査が同時にできる ○ウエハ厚み０．２ｍｍ～１．５ｍｍまで調整可能 ○トリプル光学系とインテグレイト照明で黒抜けしない最適な無影照明を実現 ○オリフラ部を含めた外観検査が...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

超高速　ワイヤーボンド3次元外観検査装置

短時間検査、3次元測定、高精度、カスタマイズ可能な外観検査装置です。

ーの高さを測定する3次元画像処理部とワイヤー曲がりやボール計上を測定する高解像度の2次元画像処理部の2ステーションで構成されます。2次元画像処理部と3次元画像処理部は交互に動作させ、画像処理PCは2台です。カメラは全て固定で機械装置は基板を移動させます。 ■装置構成例 （2次元画像処理部） ・500万画素CCDカメラ ・レンズ　倍率×1.5倍 ・青色LED　ドーム同軸証明 ・LE...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

【製品不要の改善】MEMS顕微鏡（両面パターンズレ検査装置）

顕微鏡カメラでモニタして、パターンズレや通り違いを検査！

します。また、自動線幅測定で マークズレをサブミクロン測定します。 【基本構成（抜粋）】 ■MEMS 顕微鏡 本体 ■三眼鏡筒 ■接眼 10 倍 ■XY ステージ ■カラーカメラ2台 ■検査 PC/19型モニタ/MEMS 検査ソフト　他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社