組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

サーボ駆動式ペール缶材料圧送ポンプ『PAL-SERVO』

PRギャップフィラーや放熱性グリスなど半固形状の高粘度材料を送液可能！ペー…

サーボ駆動式ペール缶材料圧送ポンプ『PAL-SERVO』は、 ペール缶から直接、材料を吐出できる材料圧送ポンプです。 サーボ駆動により、高精度の吐出を実現しており、 季節に合わせて吐出量を調整するといった手間も減らせます。 放熱ギャップフィラーや放熱性グリスなどの半固形状の高粘度材料などのスムーズな送液が可能になり、 塗布作業などの高品質化・作業効率向上などにつながります。 ...

メーカー・取り扱い企業： トミタエンジニアリング株式会社

特殊環境用 オイルフリーLMガイド

油を使えない真空環境下での仕様に最適

浄 洗浄剤で脱脂処理を施してあります。 ● グリース不使用 グリースは一切使用せず、信頼性の高い固体潤滑S膜を採用しています。 ● 低摩擦 特殊環境用オイルフリーＬＭガイドは、大気圧から真空環境下において優れた低摩擦性を発揮します。 ● 低発塵 特殊環境用オイルフリーＬＭガイドは、従来の真空用グリース潤滑に比べ優れた低発塵性を発揮します。 ● 長寿命 特殊環境用...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社