工場内のお困り事を解決！一般型から恒温恒湿型クリーンルーム等対応

PR現場状況、お客様のニーズに合わせたオーダーメイドのクリーン環境をご提案…

当社ではクリーンルームの設計施工を軸に各種工事を行っています。 管工事・電気工事・計装工事・内装工事を中心に清浄度クラス1〜クラス100000にまで対応したクリーンルームや、恒温恒湿型クリーンルームなどの設計施工からアフターメンテナンスまで一貫して対応致します。 工場内での様々なお困り事などを解決するお手伝いをさせて頂きます。 詳しい施工事例などはお気軽にお問合せ下さい。 【お客様...

メーカー・取り扱い企業： 関計株式会社

少量多品種量産でコスパを実現！省エネ省材料の小型射出成形装置

PR精密部品からはすば歯車、内ネジ部品まで幅広く成形可能！幅広い部品を少量…

エプソンテックフオルムの小型成形機『AE-M3RU』は ローターユニットが搭載された金締め力3tの横型小型成形機です。 独自開発したフラットスクリュテクノロジーやホットランナーを成形機本体に標準搭載することで 従来機の特長を引き継ぎ、少量多品種量産でコスパを実現します。 また『AE-M3RU』は、はしば歯車や内ネジなどより幅広い部品に対応するためにローターユニットを搭載。 この回...

メーカー・取り扱い企業： エプソンテックフオルム株式会社

【infiTOFアプリケーション事例】ガス分析

高分解能を有しリアルタイム測定が可能！窒化物半導体プロセスの研究開発に…

高分解能飛行時間型質量分析計『infiTOF-UHV』の アプリケーション事例をご紹介いたします。 名古屋大学 天野研究室の新田州吾准教授らの研究では、『infiTOF-UHV』を 使用して、MOVPE反応炉の排気ライン内のNH3、およびその関連する反応物質を モニターすることで、プロセスメカニズムの解明の研究を行っています。 【分析例】 ■MOVPE反応炉のNH3およびその関...

メーカー・取り扱い企業： カノマックスアナリティカル株式会社

【infiTOF】半導体プロセスガスモニタリングソリューション

飛行時間型高分解能質量分析計で、プロセスガスのin-situモニタリン…

半導体プロセスには結晶成長(エピタキシャル成長)、成膜(CVD,ALD)、 エッチング、クリーニングなど様々な工程があります。 また、これらのプロセスでは多種の原料ガスが使われております。 プロセスチャンバー内における反応生成物、分解物、残留成分を リアルタイムでモニタリングすることにより、歩留りの向上、生産性の向上、 さらには次世代に向けた半導体研光開発に貢献することができます。...

メーカー・取り扱い企業： カノマックスアナリティカル株式会社