フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【お役立ち資料】今さら聞けない表面処理DLCの基礎知識※資料進呈

PR金属、樹脂、ゴムなどの長寿命化や耐久性向上を検討の方へ。DLCの特徴や…

当社では、印刷用ロール製造のノウハウや設備を用いたDLCコーティングを行っています。 100℃程度の低温での成膜も行え、金属製の部品等のほか樹脂やゴムの 表面処理も可能です。耐摩耗性、摺動性、耐薬品性、耐食性、 ガスバリア性の向上に貢献。生体適合性にも優れています。 本資料では、「DLCコーティング」の特徴や製法について、 初めての方にもわかりやすくまとめて紹介しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シンク・ラボラトリー

圧電膜成膜装置

MEMSやFBARの生産に特化した成膜装置です。

原理：DC，AC（デュアルマグネトロン）スパッタリング 特徴 AlN、AlScN（圧電）膜、Mo（メタル）膜の成膜 優れた応力制御/分布 結晶性 高スループット 高歩留まり 高いメンテナンス性 200 mm　ウエハ対応 非常にコンパクトな設計 R&Dから量産装置まで FBARアプリケーションで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

セラミックDIPコーティング　焼成用セッター　長寿命化に最適

電子部品の焼成用セッターの長寿命化に最適！ SDGs等の環境テーマで…

物系(アルミナ、イットリア、ジルコニアなど) 非酸化物(BNなど) ◆特長 離型性を向上させ、ワークとの接着によるセッター消耗を抑制。 セラミックスラリーへのDIP方式の為、複雑形状への成膜が可能。...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

セラミックス基板への『薄膜メタライズ』『厚膜メタライズ』

セラミックス基板上へのスクリーン印刷による厚膜パターン形成・フォトリソ…

メタライズ加工の主な方法として、スクリーン印刷による厚膜パターン形成、真空成膜・メッキ・フォトリソグラフィ―・エッチングによる薄膜パターン形成が対応可能です。 パターン形成以外に、VIA充填や抵抗体形成、スルーホール形成等も対応可能です。 ご所望の機能・性能を実現...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社清水商会

真空蒸着法

50種類以上もの薄膜コーティングを1個からでも対応可能！薄膜形成ならお…

ング・真空蒸着・P-CVD・スパッタによる、導電性、絶縁性、耐蝕性などの機能性薄膜の受託加工サービスを行っております。　 様々な機能性薄膜を、試作から生産まで対応しております。 膜種・膜厚・成膜条件・対応基板(材質、サイズ、形状)への柔軟な対応と、35年の実績をもとに、マスキング成膜やメタルマスクでのパターン形成にも対応いたします。 お気軽にご相談下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

【課題解決事例】空間に合わせたIRセンサー窓をご提案

空間デザインに合わせてIRセンサー窓にもカラーバリエーションを！ラグジ…

いたのが、水洗の センサーでした。赤外透過暗色プラスチックを使用したIRセンサー窓は、 「黒」しか選ぶことができず、白を基調とした空間に違和感を与えていました。 そこで、当社は独自の誘電体成膜技術を駆使した「ホワイトカラー」、 「シルバーカラー」をご提案。 ラグジュアリーなトイレ空間を実現しました。 【事例概要】 ■課題：「黒」しか選択できず、白を基調とした空間に違和感を...

メーカー・取り扱い企業： 東海光学株式会社

シチズンファインデバイスの異種材料接合 技術資料

シチズンファインデバイスなら、チップからパッケージまで一貫対応できます…

MEMSファウンドリは前工程の「Si技術、成膜技術」～後工程の「実装、封止技術」が求められます。封止が出来る企業は世の中にわずかしか無く、お客様のお困りごとになっています。シチズンファインデバイスはお客様のお困りごとを解決します。 ...

メーカー・取り扱い企業： シチズンファインデバイス株式会社

膜厚センサー用水晶振動子

発振周波数の公差をより小さく。十分なコストパフォーマンスを得られます

当製品は、厳密な設計と高度な技術により、安定したライフを実現した 膜厚センサー用の水晶振動子です。 公差の小さい水晶振動子を使用する事により、成膜条件、水晶振動子の 交換時期を管理しやすくなります。 さらに当社では資源の再利用を目的に、御使用後の水晶振動子をお預りし、 電極膜、蒸着膜を剥離処理し、新たに電極形成し水晶振動子を 「再...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京クオーツ

膜厚モニタークリスタル 【6MHz】

用途に合わせた多様なラインナップ！真空蒸着時の物理膜厚を検知するセンサ…

ピエゾパーツの『膜厚モニタークリスタル』は、真空成膜時に使用され 物理膜厚を検知するセンサーです。 専門メーカーによる発振のばらつきを抑えたセンサーを提供しており、 5MHzと6MHzの2タイプが用意されています。 特殊品として、結晶...

メーカー・取り扱い企業： ピエゾパーツ株式会社

ピエゾパーツ株式会社　会社概要

人の感知出来ないナノレベルの質量測定が可能な【高品質】【高感度】【高安…

【事業内容】 ■膜厚モニター水晶の製造販売 ■膜厚モニター水晶のリサイクル加工受託 ■QCMセンサーの製造販売 ■膜厚モニターガラスの販売 ■成膜加工受託 ■蒸着装置関連消耗品 ■特殊ゴムキャップ付きピンセット製造販売 ■真空装置のメンテナンス・改造・据付・移設 【主要取引先】 ■時計事業関連企業 ■カメラ事業関連企業 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： ピエゾパーツ株式会社

フォトリソ技術による3次元電極パターン

フォトリソ技術による3次元電極パターン

フォトリソ技術（成膜・めっき・エッチング）を用いたMIDに代表される3次元回路形成の作製を承ります。 基板と電極パターンを一体化することにより、製品の小型化・軽量化・低コスト化が図れます。...

メーカー・取り扱い企業： 豊和産業株式会社

立体形状への成膜加工

平面モノだけでなく、立体モノへの成膜もできます！ご希望の成膜箇所をお聞…

から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 例えば、ガラス板やフィルムといった平板形状のものだけでなく、セラミック加工品や金属材等の立体形状の製品への成膜も可能です！ 装置の中で回転させながら成膜することで、ご指定の部位へ成膜が行えます。 また、保持方法等の工夫により段差部や溝・穴の内部への成膜が可能な場合もあります。 φ1ｍｍ以下の ...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

真空蒸着用、Rate/膜厚制御センサー

個体差を極力抑えた真空膜厚時の物理膜厚を検知するセンサー

ピエゾパーツの『膜厚モニタークリスタル』は、真空成膜時に使用され 物理膜厚を検知するセンサーです。 専門メーカーによる発振のばらつきを抑えたセンサーを提供しており、 5.0MHzと6.0MHzの2タイプが用意されています。 特殊品とし...

メーカー・取り扱い企業： ピエゾパーツ株式会社