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液晶ガラスの手動搬送に吸着ツール
◎ 液晶ガラスの手動搬送に最適です。 ◎ 外部配線、配管なしで作業性がよいです。 ◎ 真空源(真空ポンプ、エジェクタ)が不要です。 液晶メーカ様からの御要望でこの吸着ツールを開発しました。人による液晶製造装置への液晶ガラスの搬送に多数採用されています。この吸着ツールは、真空源(真空ポンプ、エジェクタ)が必要なく、民生の吸盤のように液晶ガラスを吸着搬送できます。 原理は単純です。バルブを...
メーカー・取り扱い企業: 大谷技研株式会社
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省エネ運転が可能で、モニタリング・保護機能を搭載した次世代型ドライポン…
豊富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを有したスマートドライポンプです。 ●独自設計の面シールスクリューロータにより、ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドライポンプを実現しました。 ●排気速度重視の「パワーモード」、省エネの「エコノミーモード」の切り替えが可能です。 ●非腐食性ガスの場合、冷却用ガス・シールガス・パージ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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温度プロセスを7段階変更可能!ニーズに合わせた温度管理が出来ます!
本製品は、全工程を自動運転可能にした小型真空熱処理装置(真空炉)です。 温度プロセスを7段階変更可能なため、200℃/30分、400℃/15分など ニーズに合わせた温度管理が出来ます。また、真空ポンプを シャットダウンせずに真空容器の大気解放が可能なため処理品交換後 すぐに、次処理が可能です。 【特長】 ■自前の真空機器を使いコストダウンが可能 ■温度プロセスを7段階変更可能...
メーカー・取り扱い企業: サイエンスプラス株式会社
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試験研究に好適な小型ロールツーロール成膜装置!
『ロールツーロール式真空成膜装置』は、ロールツーロールにて フィルム基板上に連続的に薄膜形成が可能な装置です。 コンパクトでエコノミーな装置なので、研究開発に好適。 フィルム搬送系に工夫をすることで、高速成膜が可能になります。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【主な仕様】 ■成膜方式:DCマグネトロンスパッタリング(オプションにてRFに対応) ■基板搬送:ロ...
メーカー・取り扱い企業: ユースエンジニアリング株式会社
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納入後のプロセスサポート、改造、メンテナンスまで対応!ステンレス製真空…
当社で取り扱う『実験用高真空装置』をご紹介いたします。 チャンバー材質はステンレスで、チャンバー容量は約26.5L。到達真空度は 1×10-4Pa以下です。 当社では実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて 装置を設計、製造いたします。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■チャンバー材質:ステンレス製 ■チャンバーサイズ:幅400mm×...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社DINOVAC
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ご要望により要求内容に合わせた構成が可能な環境試験用真空装置
『SPI-0610R-TR』は、宇宙空間を想定した試験の実施を目的とした 環境試験用真空装置です。 装置は真空容器と真空排気系、制御系から構成されており、真空容器内の 圧力を10^-4Pa台まで真空排気する事が出来ます。 真空容器の構成は、ご要望により要求内容に合わせた構成が可能です。 【特長】 ■大気圧から排気し10^-4Pa台に5時間以内に到達可能 ■真空排気は排気ボ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社日本シード研究所
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半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…
チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、APCを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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電池/電極生産用乾燥装置 【リチウム二次イオン・キャパシタ、太陽電池、…
露点管理可能なグローブBOXにより、乾燥・ベーキング処理後のワークへの水分吸着を防ぐ低水分グローブBOX付真空乾燥装置です。 各種電池・電極などの乾燥・ベーキング・脱ガス処理に適しています。...【仕様】 ■各種電池・電極などの乾燥・ベーキング・脱ガス処理のための装置 ■露点管理可能なグローブBOXにより、乾燥・ベーキング処理後の ワークへの水分吸着を防ぐ ■槽内寸法 :W400×D...
メーカー・取り扱い企業: 佐藤真空株式会社
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多彩なバリエーションでお応えする真空チャンバ設計システム
『Free Chamber Order System』は、当社が蓄積した、 数々のノウハウを柔軟に組み合わせる事を前提として企画された 真空チャンバ設計システムです。 数々のテクニカルソースを組み合わせる事で、より安価且つ短納期での ご提供を可能にします。 【装置(一部抜粋)】 ■排気系 ・ロータリポンプ ・ターボ分子ポンプ ■成膜源 ・スパッタリングカソード ...
メーカー・取り扱い企業: いちよしエンジ株式会社
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VATLOCKシステムの真空ゲートバルブ
研究開発および産業の低真空アプリケーション用のバルブ -機械的なロックで、逆圧状況においても確実にシールするVATLOCKシステムのゲートバルブ -エアダンピングにより、振動が少ないためポンプに負担を掛けない構造 -取外しが簡単でメンテナンスが容易 -低コスト...カスタムソリューション アクチュエータ -緊急手動操作時ロック可能な電磁弁 -2重リミットスイッチ(開、閉それぞれ...
メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社
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コンパクトな真空遮断バルブ。ゲートバルブの代替品としても活用。
-頑丈でコンパクトなポンプ用真空遮断バルブ -差圧での動作が可能...サイズ: DN 63-250mm (2 ½“ – 10“) アクチュエータ: ターニングレバーによる手動式 圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: O-リング回転軸シール 標準フランジ: DN 63-160 ISO-F DN 250 ISO-F, ISO-K...
メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社
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