【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

「小型工作機械」総合カタログ【試作・研究開発・小ロット生産用】

PR【最新版カタログ進呈中】試作・研究開発・小ロット生産用の小型旋盤・フラ…

長年の工作機械製造技術を結集した独自の品質管理システムのもとに、丁寧に仕上げられる高品質の小型旋盤・フライス盤のカタログです。 操作が容易な上、コストパフォーマンスが高いことから、各企業、大学、研究機関などに多数の販売実績があります。 【掲載内容】 ■小型旋盤　　■小型フライス盤　　■小型ラジアルボール盤　　■万能工作機械　　 ■小型帯鋸盤　　■折曲機　　　■ミニハンドプレス　　　■切断機　　...

メーカー・取り扱い企業： 寿貿易株式会社_株式会社メカニクス

スイープ発振とパルス発振による、超音波洗浄器の利用技術を開発

－－パルス発振とスイープ発振の組み合わせ技術－－

超音波システム研究所は、 超音波洗浄器に関して、 ファンクションジェネレータと超音波プローブを応用することで、 １００ＭＨｚ以上の超音波伝搬状態を利用可能にする 超音波発振制御技術を開発しました。 超音波伝搬状態の測定・解析・評価・技術に基づいた、 　精密洗浄・加工・攪拌・・・への新しい応用技術です。 各種材料の音響特性（表面弾性波）の利用により 　２０Ｗ以下の超音波出力で...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波洗浄器による、メガヘルツの超音波発振制御技術を開発

ファンクションジェネレータと超音波プローブの組み合わせ技術

超音波システム研究所（所在地：東京都八王子市）は、 超音波洗浄器に関して、 ファンクションジェネレータと超音波プローブを応用することで、 １００ＭＨｚ以上の超音波伝搬状態を利用可能にする 超音波発振制御技術を開発しました。 超音波伝搬状態の測定・解析・評価・技術に基づいた、 　精密洗浄・加工・攪拌・・・への新しい応用技術です。 各種材料の音響特性（表面弾性波）の利用により ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

表面弾性波の伝搬制御に基づいた、超音波伝搬用具の開発・製造技術

各種利用目的に対応した、超音波伝搬用具の開発方法を、コンサルティング対…

超音波システム研究所は、 ５００Ｈｚから７００ＭＨｚ以上の超音波伝搬状態を制御可能にする 超音波プローブの製造技術を発展させ、 新しい超音波伝搬用具を開発しました。 この技術を、コンサルティング対応します。 超音波プローブ：概略仕様 　測定範囲　０．０１Ｈｚ～２００ＭＨｚ 　発振範囲　０．５ｋＨｚ～２５ＭＨｚ 　伝搬範囲　０．５ｋＨｚ～７００ＭＨｚ以上（解析により確認評価） ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波システムの開発技術（コンサルティング対応）

音圧測定解析に基づいた、超音波による表面弾性波の制御技術を利用した、オ…

超音波システム研究所は、 超音波制御により表面弾性波を利用した、 応用技術を開発しました。 超音波と表面弾性波の組み合わせにより 　ダイナミックな超音波伝搬制御を実現します。 ポイントは 　表面弾性波による非線形現象を 　効率の高い状態で制御可能にする 　設定です。 上記の具体的な技術として 　水槽・治工具・・・と超音波の相互作用による 　非線形現象（バイスペクト...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

各種溶剤への超音波伝搬制御システムの開発技術

テフロン棒（鉄心入り）の音響特性を利用した超音波プローブを開発

超音波システム研究所は、 テフロン（ＰＴＦＥ）利用による、 各種溶剤（フッ酸、塩酸、・・）への 超音波発振制御システムを開発しました。 テフロン棒（鉄心入り）について 基本的な音響特性（応答特性、伝搬特性）を確認することで 発振制御（出力、波形、発振周波数、変化、・・・）による 目的の超音波伝搬状態を可能にします。 具体的には、２種類の超音波発振制御プローブにより、 利用...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

オリジナル超音波モデルに基づいた制御システムの開発技術

キャビテーションの効果を安定させるには統計的な見方が不可欠 ーー超音…

＜論理モデルの作成について＞（情報量基準を利用して） １）各種の基礎技術に基づいて、対象に関する、 　D1=客観的知識（学術的論理に裏付けられた理論） 　D2=経験的知識（これまでの結果） 　D3=観測データ（現実の状態） 　からなる 「情報データ群 」、DS＝(D1,D2,D3) を明確に認識し 　その組織的利用から複数のモデル案を作成する ２）統計的思考法を、 　情報データ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波と表面弾性波（オリジナル超音波システムの開発技術）

オリジナル超音波プローブの「発振・制御」技術

超音波システム研究所は、 超音波制御により表面弾性波を利用した、 応用技術を開発しました。 超音波と表面弾性波の組み合わせにより 　ダイナミックな超音波伝搬制御を実現します。 ポイントは 　表面弾性波による非線形現象を 　効率の高い状態で制御可能にする 　設定です。 上記の具体的な技術として 　水槽・治工具・・・と超音波の相互作用による 　非線形現象（バイスペクト...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波モデルに基づいた制御システムの開発技術コンサルティング

キャビテーションの効果を安定させるには統計的な見方が不可欠

超音波システム研究所は、 　超音波利用に関して、 　＜統計的な考え方＞に基づいて、抽象代数学を利用した 　効果的な「超音波発振制御システム」を開発しています。 ＜統計的な考え方について＞ 　統計数理には、抽象的な性格と具体的な性格の二面があり、 　具体的なものとの接触を通じて 　抽象的な考えあるいは方法が発展させられていく、 　これが統計数理の特質である 超音波の研究につ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

20MHz以下の発振による、７００ＭＨｚ以上の超音波伝搬制御技術

オリジナル超音波プローブによる、スイープ発振制御技術

７００ＭＨｚ以上の超音波伝搬状態を利用可能にする技術を開発 （オリジナル超音波プローブによる、スイープ発振制御技術） 超音波システム研究所は、 　＊超音波伝搬状態の測定技術（オリジナル製品：超音波テスター） 　＊超音波伝搬状態の解析技術（時系列データの非線形解析システム） 　＊超音波伝搬状態の最適化技術（低周波振動と超音波の最適化処理） 　＊メガヘルツの超音波発振プローブの製造技術...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

音圧測定解析に基づいた、超音波システム開発コンサルティング1

超音波とファインバブル（マイクロバブル）による洗浄技術

超音波システム研究所は、 超音波の非線形性に関する「測定・解析・制御」技術を応用した、 対象（弾性体、液体、気体）を伝搬する超音波振動の ダイナミック特性を解析・評価する技術により、 洗浄物・治工具・超音波振動子・水槽・液循環・・に関する、 相互作用を＜目的に合わせて最適化＞する技術を開発しました。 超音波発振制御プローブ、超音波テスターを利用したこれまでの 発振・計測・解析によ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

音圧データ解析による、超音波のシステム技術（コンサルティング）

目的に合わせた超音波の制御を可能にする技術です。

超音波のシステム技術 １：専用水槽の開発技術 ２：超音波振動子の改良技術 ３：超音波伝搬状態の測定技術 ４：超音波（音響流）制御技術 　上記に関する　システム技術　を提供しています。 目的に合わせた超音波の制御を可能にする技術です。 　＊超音波振動子改良技術ノウハウ・・・＊ 　＊超音波水槽の設計技術ノウハウ・・・＊ 　＊超音波伝搬状態の測定技術ノウハウ・・...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波洗浄機の設計・製造・開発コンサルティング

超音波の伝搬状態に関する計測・解析・評価技術を応用ーー超音波の最適制御…

超音波システム研究所は、 超音波の伝搬状態に関する計測・解析技術を応用して、 超音波専用水槽の設計・製造技術を開発しました。 今回開発した技術により 　水槽の最大長さ：３ｃｍ（液量５ｃｃ）～ 　　　　　　　６００ｃｍ（液量８０００リットル）の 　超音波専用水槽に対して、 　超音波洗浄や表面改質・・・に適した 　超音波の利用効率、キャビテーションと音響流のダイナミック制御、 　...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

メガヘルツ超音波の発振制御による、表面残留応力を緩和処理する技術

メガヘルツ超音波の発振制御による表面処理技術－－金属疲労強度の改善処理…

超音波システム研究所は、 １）超音波プローブの製造技術 ２）超音波伝搬状態の評価技術 ３）超音波を利用した表面検査技術 以上を応用して、表面残留応力の測定・解析・評価方法を開発してきました。 多数の実績から、超音波の利用技術として様々な応用が可能であると考え、 関連技術を含め公開しています。 具体例 表面処理ノウハウ：標準的な設定 出力 １３－１５Ｖ 矩形波 Ｄｕｔ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波専用水槽（設計・製造・開発・コンサルティング対応）

機械工学と制御システムの視点から、新しい超音波技術をご提案します

超音波専用水槽を開発 超音波システム研究所は、 超音波の伝搬状態に関する計測技術を応用して、 超音波専用水槽を開発いたしました。 今回開発した超音波専用水槽を、 超音波洗浄や表面改質・・・に用いた結果、 超音波の利用効率以外にも、 キャビテーションや加速度の 伝搬状態の制御が簡単に行えるようになりました。 これは、全く新しい水槽の製造技術（注）と 表面処理技術であり...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波洗浄機の改良技術（コンサルティング対応）

超音波水槽と液循環の最適化技術とメガヘルツの超音波発振制御技術による最…

現状の超音波洗浄機を改良する方法 （超音波水槽と液循環の最適化技術を開発） 超音波システム研究所は、 　超音波水槽の構造・強度・製造条件・・・による影響と 　水槽内の液体の循環方法を設定することで 　超音波の伝搬状態を制御する技術を開発しました。 この技術は、 　複雑な超音波振動のダイナミック特性を 　各種の関係性について解析・評価することで、 　循環ポンプの設定方法（注...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波を利用した、「ナノテクノロジー」の研究・開発装置

超音波を利用した「ナノテクノロジー」

－－超音波の非線形現象を制御する技術による 　ナノレベルの攪拌・乳化・分散・粉砕技術－－ 超音波システム研究所は、 「超音波の非線形現象（音響流）を制御する技術」を利用した 　効果的な攪拌（乳化・分散・粉砕）技術を開発しました。 この技術は 　表面検査による間接容器、超音波水槽、その他事項具・・の 　超音波伝搬特徴（解析結果）を利用（評価）して 　超音波（キャビテーション・...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波プローブによるスイープ発振制御技術

オリジナル超音波システムの開発技術ーー超音波の非線形現象をコントロール…

超音波システム研究所は、 超音波プローブによる スイープ発振による超音波の伝搬制御技術を開発しました。 超音波発振制御プローブの伝搬特性により、 利用目的と相互作用に合わせた、 各超音波プローブ毎に、スイープ発振の条件設定を行います。 対象物や装置・水槽、治工具・・の振動モードを考慮することで、 システムの振動系に合わせた、スイープ発振条件により、 低周波の共振現象を制御す...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波加工技術コンサルティングーーメガヘルツ超音波の発振制御ーー

超音波（伝搬状態）測定・解析に基づいた、 メガヘルツ超音波の発振制御技…

超音波システム研究所は、 　音圧測定解析装置（超音波テスター）と 　メガヘルツの超音波発振制御プローブにより 　物（工具・対象物・・・）の 　音響特性（振動の応答特性・非線形現象）を利用する、 　「超音波発振制御（加工）技術」を開発しました。 今回開発した技術により 　「超音波の発振・出力制御」による 　対象物への振動現象をコントロール可能にした、 　超音波のダイナミック制御...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

複数の異なる周波数の「超音波振動子」を利用する技術

音圧測定解析に基づいた、超音波の最適化技術により、目的に合わせた超音波…

超音波システム研究所は、 複数の異なる周波数の「超音波振動子」を利用する技術を開発しました。 この技術は 　定在波の制御技術に加え、 　各超音波振動子の出力を調整することで、 　キャビテーションと加速度の非線形効果を 　目的に合わせて変化させるという技術です。 周波数４０ｋＨｚ、出力５０Ｗの超音波振動子を利用して、 　１ミリの金属を1ミクロンの分散状態にすることも、 　ダ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波発振制御プローブの製造技術（コンサルティング対応）

製造技術・データの解析評価技術を提供します

超音波システム研究所は、 ５００Ｈｚから１００ＭＨｚの超音波伝搬状態を制御可能にする 超音波プローブの製造技術を開発しました。 超音波プローブ：概略仕様 　測定範囲　０．０１Ｈｚ～１００ＭＨｚ 　発振範囲　０．５ｋＨｚ～１００ＭＨｚ 　材質　ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 　発振機器　例　ファンクションジェネレータ ＜金属・樹脂・ガラス・・・の音響...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

１００ＭＨｚ以上の超音波伝搬状態を利用する超音波発振制御技術

超音波伝搬状態に関する分類（音圧データの測定解析評価）技術に基づいた超…

超音波システム研究所は、 ５００Ｈｚから１００ＭＨｚの対象物の表面弾性波について、 超音波伝搬状態に関する分類（音圧データの測定解析評価）技術に基づいた、 伝搬状態の線形性・非線形性を制御可能にする 超音波プローブの製造・利用技術を開発しました。 目的に合わせた、 　オリジナル超音波発振制御プローブを製造開発対応します。 ポイントは、超音波素子表面の表面弾性波について 伝...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

間接容器を利用した超音波制御技術

－－超音波の非線形現象を制御する技術－－

超音波システム研究所は、 間接容器を利用した 「超音波の非線形現象（音響流）を制御する技術」を開発しました。 この技術は 　表面検査による間接容器、超音波水槽、その他事項具・・の 　超音波伝搬特性（解析結果）を利用（評価）して 　超音波（キャビテーション・音響流）を制御します。 さらに、 　具体的な対象物の構造・材質・音響特性に合わせ、 　効果的な超音波（キャビテーション...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

音と超音波の組み合わせ技術ーー低周波と高周波の最適化ーー

音と超音波の組み合わせを利用した超音波制御技術を開発ーー音圧測定解析評…

超音波システム研究所は、 　＊超音波伝搬状態の測定技術（オリジナル製品：超音波テスター） 　＊超音波伝搬状態の解析技術（時系列データの非線形解析システム） 　＊超音波伝搬状態の最適化技術（音と超音波の最適化処理） 　＊メガヘルツの超音波発振プローブの製造技術 　＊表面弾性波の制御技術 　・・・・ 　上記の技術を応用して 　＜音と超音波の組み合わせ＞を利用した 　　超音波（非線...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

複数の異なる「超音波振動子」を同時に照射する技術・装置

超音波を＜超音波ダイナミックシステムとして＞とらえ、解析と制御を行いま…

超音波システム研究所は、 複数の異なる周波数の「超音波振動子」を利用する技術を応用・発展させ ました。 今回開発した応用技術は 　定在波の制御により、キャビテーションと加速度の効果を 　具体的な伝搬周波数のパワースペクトルとして変化させるという技術です。 　周波数２８+７２ｋＨｚ、出力２００Ｗの超音波照射で、 　1ミクロンの分散効果を実現させることも 　周波数２８+４０ｋＨ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波伝搬現象の分類に基づいた、超音波プローブの製造技術

ーー７００ＭＨｚ以上の超音波伝搬状態を制御可能にする、超音波プローブの…

超音波システム研究所は、 超音波伝搬現象の分類に基づいた、 ５００Ｈｚから１００ＭＨｚの超音波伝搬状態を制御可能にする 超音波プローブの製造技術を開発しました。 目的に合わせた、 　オリジナル超音波発振制御プローブを製造開発が可能です。 ポイントは、超音波プローブの超音波伝搬特性の確認です。 超音波のダイナミックな変化に対する、応答特性が最も重要です。 この特性により、高調...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波振動子の表面残留応力緩和技術（超音波伝搬効率の改善）

超音波とマイクロバブル発生液循環システムによる、超音波振動子の表面残留…

超音波システム研究所は、 　超音波の伝搬状態に関する、計測・解析・制御技術を応用して、 　超音波とマイクロバブル発生液循環システムによる、 　超音波振動子の表面残留応力を緩和する技術を公開しました。 この表面残留応力を緩和する技術により 　金属疲労・・に対する疲れ強さの改善を行うことが可能になりました。 　特に、超音波の伝搬状態を 　対象物のガイド波（表面弾性波・・）を考慮した ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

小型ポンプと、超音波プローブによる超音波制御技術

小型ポンプを利用した「非線形現象のコントロール技術」を開発

超音波システム研究所は、 小型ポンプを利用した液循環により 超音波の伝搬状態に関して、非線形現象をダイナミックに制御する 「超音波制御技術」を開発しました。 超音波テスターによる解析で、非線形現象を評価します。 超音波（超音波洗浄機、超音波プローブ、・・）の複雑な変化を、 超音波発振と超音波受信による音圧の時系列データ解析で、各種の相互作用を確認します。 相互作用の確認に基づいて...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

２台のファンクションジェネレータを利用した、超音波制御技術

新しい超音波のダイナミック制御技術

超音波システム研究所は、 ２台のファンクションジェネレータを利用する 全く新しい超音波のダイナミック制御技術を開発しました。 ２種類の異なる波形による、異なるタイプの（スイープ）発振により、 超音波の非線形現象と共振現象をコントロールする技術を実現します。 この技術を応用して、 部品の表面残留応力を緩和する、実用的な方法、・・・ 様々な応用技術を開発し、コンサルティング対応し...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

オリジナル超音波プローブによる、超音波発振システム（２０ＭＨｚ）

－－低周波の共振現象と、高周波の非線形現象を発振制御する技術－－

超音波システム研究所は、 メガヘルツの超音波の発振制御が容易にできる 「発振システム（２０ＭＨｚ）」を製造販売しています。 システム概要（超音波発振システム（２０ＭＨｚ）） 　内容（２０ＭＨｚタイプ） 　　超音波発振プローブ　２本 　　ファンクションジェネレータ　１式 　　操作説明書　１式（ＵＳＢメモリー） 　特徴（２０ＭＨｚタイプ） 　　＊超音波発振周波数 　　　...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波素子（圧電素子）の超音波伝搬特性を調整する技術

超音波プローブ、超音波発振制御システムの開発技術

超音波システム研究所は、 超音波システム（音圧測定、発振制御）を利用した、 超音波の伝搬状態に関する、測定・解析・評価実績に基づいて 超音波素子（圧電素子）の超音波伝搬特性を調整する技術を開発しました。 超音波素子（圧電素子）の表面弾性波を目的に合わせて利用するために、 素子表面に対して、特殊な表面処理を行います。 伝搬する超音波の音圧レベル・周波数範囲について調整可能にしてい...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所