【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

スイープ発振とパルス発振による、超音波洗浄器の利用技術を開発

－－パルス発振とスイープ発振の組み合わせ技術－－

超音波システム研究所は、 超音波洗浄器に関して、 ファンクションジェネレータと超音波プローブを応用することで、 １００ＭＨｚ以上の超音波伝搬状態を利用可能にする 超音波発振制御技術を開発しました。 超音波伝搬状態の測定・解析・評価・技術に基づいた、 　精密洗浄・加工・攪拌・・・への新しい応用技術です。 各種材料の音響特性（表面弾性波）の利用により 　２０Ｗ以下の超音波出力で...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波洗浄器による、メガヘルツの超音波発振制御技術を開発

ファンクションジェネレータと超音波プローブの組み合わせ技術

超音波システム研究所（所在地：東京都八王子市）は、 超音波洗浄器に関して、 ファンクションジェネレータと超音波プローブを応用することで、 １００ＭＨｚ以上の超音波伝搬状態を利用可能にする 超音波発振制御技術を開発しました。 超音波伝搬状態の測定・解析・評価・技術に基づいた、 　精密洗浄・加工・攪拌・・・への新しい応用技術です。 各種材料の音響特性（表面弾性波）の利用により ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

表面処理技術　「PBI（ポリベンゾイミダゾール）コーティング」

摩擦の熱にもヘタらず長もち、表面処理の効果が長くつづく！

ＰＢＩ（ポリベンゾイミダゾール）は、 スーパーエンジニアリングプラスチックの中でも最高の耐熱性を有し、 さらに電気絶縁性などに優れた超スーパーエンジニアリングプラスチックです。 吉田SKTでは、従来はプラスチック成形品として利用されることの多かった PBI（ポリベンゾイミダゾール）を、金属製品などの表面に塗装加工する 技術を開発。 このコーティング加工によって、 スーパーエン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

音圧測定解析に基づいた、超音波のダイナミック制御技術を開発

金属表面の応力緩和を実現する、超音波のダイナミック制御

超音波システム研究所は、 ２台のファンクションジェネレータを利用することで 　全く新しい超音波のダイナミック制御技術を開発しました。 　２種類の異なる波形による（スイープ）発振により、 　超音波の非線形現象（注）をコントロールする技術を実現しました。 注： オリジナル発振制御により発生する（１０次以上の）高調波の発生を 低周波の振動現象と共振することで 高い振幅の高調波の発生を...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

オリジナル超音波モデルに基づいた制御システムの開発技術

キャビテーションの効果を安定させるには統計的な見方が不可欠 ーー超音…

＜論理モデルの作成について＞（情報量基準を利用して） １）各種の基礎技術に基づいて、対象に関する、 　D1=客観的知識（学術的論理に裏付けられた理論） 　D2=経験的知識（これまでの結果） 　D3=観測データ（現実の状態） 　からなる 「情報データ群 」、DS＝(D1,D2,D3) を明確に認識し 　その組織的利用から複数のモデル案を作成する ２）統計的思考法を、 　情報データ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波と表面弾性波（オリジナル超音波システムの開発技術）

オリジナル超音波プローブの「発振・制御」技術

超音波システム研究所は、 超音波制御により表面弾性波を利用した、 応用技術を開発しました。 超音波と表面弾性波の組み合わせにより 　ダイナミックな超音波伝搬制御を実現します。 ポイントは 　表面弾性波による非線形現象を 　効率の高い状態で制御可能にする 　設定です。 上記の具体的な技術として 　水槽・治工具・・・と超音波の相互作用による 　非線形現象（バイスペクト...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波モデルに基づいた制御システムの開発技術コンサルティング

キャビテーションの効果を安定させるには統計的な見方が不可欠

超音波システム研究所は、 　超音波利用に関して、 　＜統計的な考え方＞に基づいて、抽象代数学を利用した 　効果的な「超音波発振制御システム」を開発しています。 ＜統計的な考え方について＞ 　統計数理には、抽象的な性格と具体的な性格の二面があり、 　具体的なものとの接触を通じて 　抽象的な考えあるいは方法が発展させられていく、 　これが統計数理の特質である 超音波の研究につ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

20MHz以下の発振による、７００ＭＨｚ以上の超音波伝搬制御技術

オリジナル超音波プローブによる、スイープ発振制御技術

７００ＭＨｚ以上の超音波伝搬状態を利用可能にする技術を開発 （オリジナル超音波プローブによる、スイープ発振制御技術） 超音波システム研究所は、 　＊超音波伝搬状態の測定技術（オリジナル製品：超音波テスター） 　＊超音波伝搬状態の解析技術（時系列データの非線形解析システム） 　＊超音波伝搬状態の最適化技術（低周波振動と超音波の最適化処理） 　＊メガヘルツの超音波発振プローブの製造技術...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

音圧測定解析に基づいた、超音波システム開発コンサルティング1

超音波とファインバブル（マイクロバブル）による洗浄技術

超音波システム研究所は、 超音波の非線形性に関する「測定・解析・制御」技術を応用した、 対象（弾性体、液体、気体）を伝搬する超音波振動の ダイナミック特性を解析・評価する技術により、 洗浄物・治工具・超音波振動子・水槽・液循環・・に関する、 相互作用を＜目的に合わせて最適化＞する技術を開発しました。 超音波発振制御プローブ、超音波テスターを利用したこれまでの 発振・計測・解析によ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波の各種相互作用を測定解析する技術に基づいた、超音波伝搬制御

超音波の相互作用を考慮した、非線形伝搬制御技術ーー超音波の最適化技術ー…

超音波システム研究所は、 　音圧測定解析装置（超音波テスター）と 　メガヘルツの超音波発振制御プローブの製造技術により 　超音波システムの音響特性（超音波の相互作用を測定解析）を考慮した、 　「超音波の非線形伝搬制御技術」を開発しました。 今回開発した技術により 　「超音波の発振（発振機・振動子・・）」による 　対象物・超音波機器・治工具・・・を含めた、 　各種の相互作用を測定...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波プローブの表面弾性波を利用した、表面改質技術

－－超音波の非線形発振制御による表面改質（応力緩和）技術 －－

超音波システム研究所は、 超音波の伝搬状態に関する、計測・解析・制御技術を、 対象物の音響特性として利用することで、、 超音波の非線形伝搬状態を制御可能にしました。 その結果、効率良く、 部品の表面残留応力を緩和する技術を開発・発展しました。 この表面残留応力を緩和する技術により 　金属疲労・・に対する疲れ強さの改善を行うとともに 　各種表面処理の均一化を実現しています。 　...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

メガヘルツ超音波の発振制御による、表面残留応力を緩和処理する技術

メガヘルツ超音波の発振制御による表面処理技術－－金属疲労強度の改善処理…

超音波システム研究所は、 １）超音波プローブの製造技術 ２）超音波伝搬状態の評価技術 ３）超音波を利用した表面検査技術 以上を応用して、表面残留応力の測定・解析・評価方法を開発してきました。 多数の実績から、超音波の利用技術として様々な応用が可能であると考え、 関連技術を含め公開しています。 具体例 表面処理ノウハウ：標準的な設定 出力 １３－１５Ｖ 矩形波 Ｄｕｔ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波専用水槽（設計・製造・開発・コンサルティング対応）

機械工学と制御システムの視点から、新しい超音波技術をご提案します

超音波専用水槽を開発 超音波システム研究所は、 超音波の伝搬状態に関する計測技術を応用して、 超音波専用水槽を開発いたしました。 今回開発した超音波専用水槽を、 超音波洗浄や表面改質・・・に用いた結果、 超音波の利用効率以外にも、 キャビテーションや加速度の 伝搬状態の制御が簡単に行えるようになりました。 これは、全く新しい水槽の製造技術（注）と 表面処理技術であり...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

チタン製ストローを利用した、超音波伝搬制御技術

超音波テスターによる＜測定・解析・制御＞の応用技術

超音波システム研究所は、 　キャビテーションと音響流の分類に基づいて 　チタン製ストローを利用した 　「超音波伝搬制御技術」を開発しました。 超音波テスターによる 　流れと超音波とファインバブルの複雑な変化を、 　各種の相互作用を含めた音圧測定解析により 　利用目的に合わせて、 　音響流の変化をコントロールするシステム技術です。 実用的には、 　シャワー用の脱気ファイン...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

間接容器を利用した超音波制御技術

－－超音波の非線形現象を制御する技術－－

超音波システム研究所は、 間接容器を利用した 「超音波の非線形現象（音響流）を制御する技術」を開発しました。 この技術は 　表面検査による間接容器、超音波水槽、その他事項具・・の 　超音波伝搬特性（解析結果）を利用（評価）して 　超音波（キャビテーション・音響流）を制御します。 さらに、 　具体的な対象物の構造・材質・音響特性に合わせ、 　効果的な超音波（キャビテーション...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波振動子の表面残留応力緩和技術（超音波伝搬効率の改善）

超音波とマイクロバブル発生液循環システムによる、超音波振動子の表面残留…

超音波システム研究所は、 　超音波の伝搬状態に関する、計測・解析・制御技術を応用して、 　超音波とマイクロバブル発生液循環システムによる、 　超音波振動子の表面残留応力を緩和する技術を公開しました。 この表面残留応力を緩和する技術により 　金属疲労・・に対する疲れ強さの改善を行うことが可能になりました。 　特に、超音波の伝搬状態を 　対象物のガイド波（表面弾性波・・）を考慮した ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波美顔器の表面改質（応力緩和）技術

超音波の表面弾性波による表面処理

超音波システム研究所（所在地：東京都八王子市）は、 超音波とマイクロバブルによる表面付近の 　1）残留応力を緩和する技術 　2）ミクロなバリを除去する技術を 超音波美顔器に適応させる方法を開発（公開）しました。 超音波とマイクロバブルによる、残留応力を緩和する技術により 　金属疲労・・に対する疲れ強さの改善を行うことが 　超音波美顔器表面の均一化と 　超音波発振・伝搬の効率化に...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

音圧測定解析に基づいた、超音波技術のコンサルティング

－－低周波の共振現象と、高周波の非線形現象を発振制御する技術－－

＜＜超音波の音圧データ解析・評価＞＞ １）時系列データに関して、 多変量自己回帰モデルによるフィードバック解析により 測定データの統計的な性質（超音波の安定性・変化）について 解析評価します ２）超音波発振による、発振部が発振による影響を インパルス応答特性・自己相関の解析により 対象物の表面状態・・に関して 超音波振動現象の応答特性として解析評価します ３）発振と対...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波伝搬現象の分類による、超音波の非線形スイープ発振制御技術

複数の超音波をスイープ発振することによる、超音波伝搬制御技術

超音波システム研究所は、 　超音波伝搬状態の測定・解析により、 　超音波振動が伝搬する現象に関する分類方法を開発しました。 この分類に基づいて、非線形共振型超音波発振プローブを利用した、 　超音波の非線形スイープ発振制御技術を開発しました。 この超音波のスイープ発振制御技術は、 　超音波の伝搬状態に関する 　主要となる周波数（パワースペクトル）の 　ダイナミック特性（非線形...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波プローブ（発振型、測定型、共振型、非線形型）の製造技術

低周波の共振現象と、高周波の非線形現象をコントロールする技術

超音波システム研究所は、 ５００Ｈｚから１００ＭＨｚの超音波伝搬状態を制御可能にする 超音波プローブを、利用目的に合わせて製造する技術を開発しました。 超音波プローブ：概略仕様 　測定範囲　０．０１Ｈｚ～２００ＭＨｚ 　発振範囲　１．０ｋＨｚ～２５ＭＨｚ 　伝搬範囲　０．５ｋＨｚ～７００ＭＨｚ以上 　材質　ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 　発振機器　例...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波の各種相互作用を評価する技術ー音圧データのパワー寄与率解析

－－自己回帰モデルによるフィードバック解析：パワー寄与率の解析－－水槽…

超音波振動の相互作用を測定解析評価する技術を開発 －－音圧データのフィードバック解析：パワー寄与率の解析－－ 超音波システム研究所は、 超音波の音圧測定による、時系列データを解析することで、 　各種相互作用を測定解析評価する技術を開発しました。 その結果、相互作用の評価に基づいた 　超音波利用状態を最適化する技術に発展しています。 具体的には、以下のような事例があります １...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

表面改質のための「微細レジストパターン」一括形成技術

多様な表面形状へ、広範囲・高速・安価に、マイクロパターンを一括形成する…

表面改質による機能性付与では、 高エネルギーレーザーや機械加工によって、被加工物表面に微細なパターンを形成する技術があります。 これらは、精度の高いパターンを製作することができるメリットはありますが、 装置が高価であり、立体的なものへの加工は難易度が高いという課題を抱えています。 本技術では、スペックルという光の特性をリソグラフィーに応用することで、 簡便安価に立体物へ微細パターンを形成すること...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信州ＴＬＯ

産業用インクジェット塗布装置『IP2030L』

業界トップクラスのインクジェット塗布装置のラインアップ取り揃え！インク…

ディスプレイ分野をはじめ半導体・電子デバイス分野に豊富な納入実績を誇るインクジェット装置メーカー。　実験・試作用小型装置から量産用大型インクジェット装置まで業界トップクラスの幅広い装置ラインナップをもつ。 シリーズにラインナップされているいずれのインクジェット装置も1pass塗布で薄膜はもちろん厚膜まで形成可能。　 『IP2030L』写真は、高精細パターニングおよび部分塗布・全面塗布が行え、独...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

【事例紹介】特殊素材焼入れ技術『DFクエンチ』を開発

熱処理法「DFクエンチ」を新たに開発！様々な機械試験を経て製品化に結び…

國友熱工が解決した事例をご紹介します。 大型建築物の耐震補強金物で使用する鋼材に、一般的な熱処理を施すだけでは 高い次元での機械的性質をバランスさせることができませんでした。 また、溶接・施工性の観点から炭素当量を考慮すると、使用できる鋼材も 制限され、なんとか対応してもらえませんか？とご依頼いただきました。 既にお客様先にて、さまざまな手段を検討頂いていたため、当社では "要...

メーカー・取り扱い企業： 國友熱工株式会社 竜王工場

工場内のCO2排出ゼロ化へ！新製品 真空浸炭炉『Z-TKM』

ガス量とCO2排出量を抑制した操業で低炭素社会の実現に貢献！独自の技術…

『Z-TKM』はCO2の排出を抑え、カーボンニュートラル低炭素社会の実現に貢献する熱処理炉です。 独自技術の組合わせにより従来設備と比較して　※当社比 工場内排出CO2(SCOPE1)を97％カットすることができます。（浸炭原料ガス由来のCO2が微量発生） また、電力由来（SCOPE2）のCO2についても グリーン電力、水素、アンモニアなどのグリーンエネルギーの活用で更なる削減も可...

メーカー・取り扱い企業： DOWAサーモテック株式会社

薄膜表面処理技術『イオンプレーティング』

高密着・高耐摩耗性能・多彩な色調！硬質で優美な無公害薄膜表面処理

『イオンプレーティング』は、宇宙開発技術の一環として米国で開発された 薄膜表面処理技術です。 PVD(物理蒸着)の一種で、真空蒸着やスパッタリングに比べ密着力が高く、 TiN(窒化チタン)等の高硬度な皮膜を加工できます。 当社では独自のイオンプレーティング技術により、低温処理にて 樹脂めっき製品上へ直接処理を行います。従来の樹脂めっき品と比べ、 表面硬度と耐食性 が飛躍的に向上...

メーカー・取り扱い企業： 塚田理研工業株式会社

溶射とは【倉敷ボーリング機工の技術案内】

溶射・表面処理のことなら倉敷ボーリング機工株式会社へお任せください！

倉敷ボーリング機工では、溶射だけでなく前後処理(ブラスト処理、切削、研削、等)までを一貫体制で行い、短納期、高品質を実現しています。 【倉敷ボーリング機工 溶射の特長】 ■溶射だけでなく前後処理まで一貫体制 ■短納期、高品質を実現 ■13,000mm、重量50tまでの大型部材や複雑形状品も加工可能 ■研究開発スタッフによる特殊機能性を目的とした新規溶射皮膜設計 ■ISO9001に基...

メーカー・取り扱い企業： 倉敷ボーリング機工株式会社

超音波洗浄器（水槽表面）の表面残留応力緩和・均一化処理

－－２００ＭＨｚ以上の高調波による超音波伝搬効率の改善処理－－

超音波システム研究所は、 超音波の伝搬状態に関する、計測・解析・制御技術を、 対象物の音響特性として解析・応用することで、 超音波の非線形伝搬状態を制御可能にしました。 その結果、効率良く、 部品の表面残留応力を緩和して、表面全体を均一化する技術を開発しました。 この表面残留応力を緩和する技術により 金属疲労・・に対する疲れ強さの改善を行うとともに 各種表面処理の均一化が実現し...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

「くっつかない」「はがれる」でお困りですか？難接着素材のご提案！

【お役立ちセミナー開催！】これまで接着できないとあきらめていた素材への…

多くの企業の開発・生産現場では「くっつかない」「はがれる」など接着不良、密着不良問題に頭を悩ませている担当者のお声をよくお聞きします。 特に「PP」,「PE」,「PET」 などのプラスチック類、 シリコーンゴムやEPDMゴム、ガラスやタイルなど難接着素材と言われるものであれば、なおさらです。 その問題を解決するのがソフト99の提供する表面改質処理システム「フレイムボンド」です。　 プラスチック...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフト９９コーポレーション

塩浴軟窒化『タフトライド処理・QPQ処理』技術解説資料

REACH規制適合！独自の塩浴剤採用で環境負荷を軽減。廃棄処理コストも…

『タフトライド処理』は、独自に開発した塩浴剤を使用することで 欧州の環境規制「REACH」にも適合した塩浴軟窒化処理です。 アンモニアガスを使用するガス軟窒化処理に比べ、大幅に環境負荷を軽減しています。 耐摩耗性、耐食性、耐焼き付き性の向上など、表面加工において多くの メリットを持ち、大手自動車メーカーではシャフトやボールスクリュー、 建機メーカーでは油圧ピストンなどに採用されていま...

メーカー・取り扱い企業： HEF DURFERRIT JAPAN株式会社