真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

超音波システム１ＭＨｚタイプ

市販のファンクションジェネレータを利用したシステム

超音波システム研究所は、 超音波の発振制御が容易にできる 「超音波発振システム（１ＭＨｚ）」について、 　タイマー制御により応用する方法を公開しました。 具体例 １）機械加工油へ、夜間に超音波照射で加工油の劣化防止 ２）ＮＣマシンへの超音波照射による、品質の改善 ３）金属、樹脂・・部品を保管している棚への超音波照射（表面改質） ４）めっき液、洗浄液、溶剤、・・への超音波照射で、...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

反転ユニット

両面処理等が必要な装置に適しています。

小型、軽量化:従来製品に対して容積50%downを実現 高速反転:従来品に対して速度20%upを実現(300mmウェーハ比) (小型ウェーハの場合速度50%upを実現) 低振動:新開発のモータドライバと制御方式により、低振動化を実現 真空吸着、エッジクリップ、ベルヌーイ等各種ウェーハ保持方式に対応...適応ウェーハ 2, 3インチ, 100～300mmウェーハ (※450mm用も別途提案可...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

【用途例】可動ステージ　金属セラミックス複合材料　

軽量高剛性の金属セラミックス複合材料により装置性能が向上します

アルミの軽さで鋳鉄以上の剛性をもつ『金属セラミックス複合材料』 アルミは軽いがたわむ。鉄はたわまないが重い。 そんな設計者の悩みを解決する新材料です。 抜群の比剛性に加え、低熱膨張、高熱伝導の優れた熱特性が可動ステージに好適です。 マウンターや工作機械の高速可動部品にMMCの採用が進んでおります。 重力鋳造、低圧鋳造、ダイカスト製法により多様なニーズに対応します。...【...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社