取出ロボット『Pシリーズ』／(株)スター精機

オプション機能で更なる汎用性の充実！安全・安心がパワーアップした取出ロ…

『Pシリーズ』は、ベーシックを強化した新仕様の取出ロボットです。 可搬重量最大60％アップで重量物にも対応可能になり、高性能サーボ ドライバー・モータで振動を最大50％カット。 メンテナンスフリーを実現する「バッテリレスアブソリュートエンコーダ」 をはじめ、「3軸NCユニット」など、オプション機能もご用意しています。 【特長】 ■可搬重量最大60％アップで重量物にも対応可能...

メーカー・取り扱い企業： 大喜産業株式会社

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』

【～300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載！ 振動の大幅…

■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ内蔵により、装置の小型化を実現 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

シャフトモーター

コアレスシャフトモーターは超低速から超高速までを低振動、高精度で位置決…

フラット型リニアモーターとは違い、超低速でもまったく振動の発生しない構造（コアレスシャフトモーター） でありながら今までに不可能とされていた超高速駆動を可能とする。繰返し精度はスケールフィードバックをダイレクトに監視する為、標準品で0.5μｍを実現。高速マウンター、画像処理装置、医療機器など幅広くご使用頂けます。摩擦箇所がガイド部分のみである為、メンテナンスフリー。ボールねじの様に熱膨張による摩...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・プロジェット

【導入事例】専用機メーカー＜高速化＞

リニア単軸ロボットならではの特長！動作時間が大幅に短縮した事例をご紹介

当社が取り扱う「リニアモータ単軸ロボットPHASERシリーズ」を 専用機メーカーへ導入した事例をご紹介いたします。 同社では、単軸ロボットでロングストロークの搬送をしたいと 考えていましたが、タクトやワークの受け渡しで困っていました。 導入後は、リニア単軸ロボットならではの特長で、動作時間が 大幅に短縮し、騒音・振動の軽減、省スペース化もされました。 【事例概要】 ■課題...

メーカー・取り扱い企業： ヤマハ発動機株式会社 ロボティクス事業部

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDW3000HSシリーズ』

【～300mmウエハ用】世界最速級の真空内高速搬送！ 装置スループッ…

■世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現 ■ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減 ■アーム部にスチールベルトを採用し、軌跡精度と位置決め精度を向上 ■ハンド部に高摩擦パッドを採用し、ウエハ搬送ずれを防止 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X1, X2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

マシンエンジニアリング社製　ピック＆プレースユニット

設計・製作時間を約60％削減！速0.3秒の高速サイクルタイムを実現！シ…

振動を与えず慣性を吸収して動作する”カム曲線”で長期間の安定搬送を 実現しました。外的要因を受けず、10年たっても確実な安定搬送を 繰り返します。 ユニットなので、設計時間を大幅に短縮できます。 また、エア調整がコントローラで一括設定できカンタンです。 パルス制御モータで高速搬送もでき、エンドユーザーからの要望が多い サイクルタイムの短縮ができます。 その他詳細は、カタログをダウンロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミスミ