タクボ・プレート熱交換器　HET/HEKシリーズ ※省エネルギー

PR気体対気体の排熱回収に優れ、各種乾燥機などから排出される“熱”を最大限…

タクボ・プレート式熱交換器 HET/HEK シリーズは、自社独自開発・特許取得のプレート構造が誇る熱回収効率で驚異のコストパフォーマンスを実現しました。内部伝熱板が2つのチャンネルを完全分離、排気中の湿気・ダストを完全にシャットアウト、”熱”のみを最高の状態で再利用できます。 【特徴】 ■通常のヒートシンク式熱交換器に比べ広大な伝熱板面積を有します。 ■80％以上の熱回収率を誇り（タクボ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タクボ精機製作所

ホース、チューブ、シート難燃性製品「難燃シリーズ」

PR火災のリスクを最小限に抑えた難燃製品をラインアップ！難燃性を要求される…

当社で取り扱っている高レベルの難燃性を有する「難燃シリーズ」について ご紹介いたします。 潜在的な火災リスクを低減することが可能。 ホース、チューブ、シートなど様々な形態でご提案します。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■タイダクトホース難燃「GL－HG型」　※UL94規格Ｖ-0相当の難燃性 ■タイフレキホース「V型FPタイプ」　　※...

メーカー・取り扱い企業： タイガースポリマー株式会社

POWERシリーズ　高性能クライオポンプ(小型)

吸気口径8～12インチの小型タイプ！ヒータレスで安全な高速再生を実現し…

POWERシリーズの当製品は、実用的な排気性能やマルチ運転での温度安定性を 向上させた高性能型のクライオポンプです。 振動加速度の平均値は従来に比べ約10分の1以下(当社比)。 マルチ運転時に1台のポンプのみ再生しても、極端に...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空ポンプ『イオンポンプ・ノーブルポンプ』

無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心…

す。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。 油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。 【特長】 ■完全オイルフリー ■超高真空、極超真空 ■無人運転 ■不活性ガスの排気(ノーブ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空ポンプ『コンビネーションポンプ』

排気速度1L/sあたりの価格はイオンポンプに比べて約1/2～1/3！水…

ンポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型 イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの 有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、 大排気速度を安い価格で得られます。 また、油など有機物は全く使用しておりませんので、油汚染のない 超高真空が得られ、運転操作が簡単で停電の場合にも無人運転ができます。 【特長】 ■大排気速...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

コンパクト型ガス分析システム『Cシリーズ』

四重極型質量分析計は4機種から選択可能！省スペースで手軽な分析システム

『Cシリーズ』は、多様なガス分析のご用途への対応をはかりながら、 シンプル＆コンパクトにまとめたガス分析システムです。 基本構成（排気系＋マスフィルタ）を選択、さらに各種ご用途を想定し、 あらかじめ設定されている推奨オプション類を選択・付加することによって、 お客様のご用途に適したシステム構成とすることが可能。 シンプル...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

POWER Ecoシリーズ　高性能省エネルギー型クライオポンプ

小型に加え中・大型もラインアップ！性能・省エネルギー両面で大きな優位性…

費電力や冷却水量が 格段に低減されています。 【特長】 ■省エネ・省資源に有効［消費電力、冷却水量：15～70％低減可能］ ■再生・起動時間の短縮［従来に比べて半分以下(当社比)］ ■排気性能の向上［実質的なアルゴン排気容量を1.5～4倍と大幅に向上(当社比)］ ■低振動［従来に比べて約1/10以下］ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80…

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。 プロセス中の品質管理や残留...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ

オイルフリーの超高真空が実現可能！大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極め…

「チタンサブリメーションポンプ」および「タイバックポンプ」は、 チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、 金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。 イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現可能。 また、小型軽量で取付場所を選びません。 【特長】 ■オイルフリーの超高真空 ■...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』

40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバー…

ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。 また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にしました。 【特長】 ■UHV、XHV領域での高い排気能力 ■高効率ベーキングの実現 ■小型、軽量 ■クリーンルーム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

アイソレイトバルブ『V-025SV』

特別な制御回路は必要なし！被排気系側への油回転真空ポンプ油の逆流を防止

『V-025SV』は、主に油回転真空ポンプの吸気口に取り付けて使用します。 カットバルブとベントバルブの機能を装備。停電や誤操作などによる ポンプ油の逆流防止に役立ちます。 駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利用します。従来の 自動バルブのような圧縮空気およびそのための配管は不要です。 (ポンプが動作していない状態ではバルブは開きません。) 【特長】 ■ポンプ油...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

コンパクト型ガス分析システム『Dシリーズ』

パソコン制御による容易な測定が可能！四重極型質量分析計の応用技術製品

『Dシリーズ』は、各種ガス分析、研究開発分野において好適な ガス分析システムです。 パソコン制御による容易な測定が可能。 用途に合わせて、四重極型質量分析計にTMP排気系とオプションの 組み合わせができるフレキシブルな構成となっております。 【特長】 ■分析計は5機種より選択可能 ・M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDM、M-401QA...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空計『ピラニゲージ』

低・中真空領域の測定に好適！スタンダードタイプ、セットポイント付タイプ…

食品、自動車、医薬品をはじめ、 様々な産業でご使用いただけます。 【特長】 ■高いコストパフォーマンス ■5×10^-2Paから大気圧 ■様々な産業で使用可能 ■粗引き系の圧力測定、排気系の圧力モニタ、制御などの用途がある ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社