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暑熱などのお悩みを解決!熱流体解析ソフトにより工場の温度を最適化
PR熱流体解析ソフトの活用と送風機メーカーのノウハウで工場の温度を最適化に…
SDG(昭和電機)では、熱流体解析ソフトの活用と送風機メーカーとしてのノウハウを生かして 工場の温度を最適化する、ものづくりを支えるサービスを提供し、 作業環境測定から局所排気装置などの設置ま全てでワンストップで対応します。 流体解析のメリットとして、高温なポイントが見える化でき、 装置内部の温度分布をシュミレーションできます。 また浮遊粒子の動きも分析が可能になります。 設置前のシュミレーシ...
メーカー・取り扱い企業: SDG株式会社 推進Gr
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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ば…
による正圧を生じ、小さく 裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触(非接触) 状態にてチャックし、所定の場所に搬送します。 この新機構として吸着パッドの周囲に排気路を変更する 回路を設けており、排気方向を変更します。そのため排気 が周囲のチップを吹き飛ばすことはありません。...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ごみをまき散らさないクリーンルーム対応ベルヌーイチャック
ベルヌーイチャックWAS型」は、気体を噴出することにより効率よく、ワークを非接触(非接触)状態にて懸垂把持し、搬送します。 クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」は、ノズルより噴出した排気を吸引捕捉する排気回収機構が設けられていますので排気のクリーンルームへの流出を防げます。 そのためクリーンルーム内でのウエハ、ガラス基板他の非接触搬送に用いることが可能です。...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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空気でつかむ
垂直噴流方式「非接触チャック」フロートチャックSA(SAN)型(特許))は、気体を噴出することにより、ワークを空中に浮遊した非接触状態にて吸引保持し、搬送します。反転、傾斜させることも可能です。また排気回収機構が付いていますので、超クリーンルーム内での使用も可能です。紙、フィルム、不織布、スルホール基板等の薄い通気性のワークの搬送も可能です。ベルヌーイチャックとも言われています。手操作にて操作可能...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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