装置に潜む課題を直動ガイドで解決！『ミリオンガイドシリーズ』

PR装置で発生する様々な課題と解決方法を掲載した採用事例集を無料進呈中！

直動ガイドを使用する装置には、様々な課題が潜んでいます。 【例えばこんな課題が潜んでいます】 ●剛性不足 ●ガイドの複数本使いによるスペースの不足 ●もっと精度の高い位置決め これらの課題をアイセルの『ミリオンガイドシリーズ』なら解決できます！ 【ミリオンガイドシリーズの特徴】 1.高剛性 “点接触から線接触へ”高精度な幅広ローラを採用しています。 2.高精度 ...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

5軸用セルフセンタリングバイス／ゼロポイントシステム

PR高精度かつ、低コストを実現！初の日本販売！片側に1.5°スイングする口…

当製品は、片側に1.5°スイングする口金を採用し、グリップ力が 非常に向上したセルフセンタリングバイスです。 LANG社、HWR社、5th Axis社の52＆96システムと互換性がある 「ゼロ・ポイント・システム」を採用しております。 直接テーブルに設置できる溝とクランプエッジ付き。 【セルフセンタリングバイス　特長】 ■口金は、簡単に180度反転して入れ替えることができ、クランプ範囲を 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファーステック

蛍光Ｘ線式　膜厚測定器　微小部測定用『 XDV-μ 』

ポリキャピラリX線光学系を採用。微小部の薄膜メタライズ、高機能めっきの…

【サンプル試測定実施中】 『XDV-μ』は、ポリキャピラリX線光学系を採用した汎用性の高い エネルギー分散型蛍光X線測定装置です。 当製品は、非常に小さい部品や構造部分を非破壊で膜厚測定・ 素材分析に適した測定器です。 【特長】 ●最小10µmの集光レン...

メーカー・取り扱い企業： アンリツ株式会社 環境計測カンパニー

三爪電動グリッパ「ESG1-STシリーズ」【レンズ、水晶の把持】

高精度の位置、速度制御を達成した電動グリッパに、三爪タイプをバリエーシ…

三つ爪電動グリッパ「ESG1-STシリーズ」は、ご好評いただいています二つ爪電動グリッパ「ESG1シリーズ」の三つ爪タイプです。特殊カム採用により、軽量、コンパクト化を実現。幅広い把持力バリエーションに加え微妙な把持力制御が可能となりました。高精度な繰返し停止精度により、今までハンドリング搬送が難しかった医療用容器、デジタルカメラ用レン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＴＡＩＹＯ

LEDウェハーUV照射器

ウェハー用ダイシングテープの硬化用途、UV-LED採用で安定長寿命

LED採用で安定長寿命。 6インチ、8インチウェハー対応。 12インチウェハー用製作可能。 照射器交換可能(365,385,395,405nm等)。 0～１００％調光可能。 窒素置換(N2パージ)機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテックシステム

気体垂直気体噴流方式のベルヌーイチャック

空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック

新機構「気体垂直噴流方式」を採用しております。、気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加さ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」

気流の摩擦損失を減じた気体垂直噴流方式を採用したベルヌーイチャックド「…

ソーラーリサーチ研究所にて発明開発した気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」を採用使用したベルヌーイチャックシステム・非接触搬送装置を豊富な納入実績をもとにオーダーメイドにて製作します。 ・ウエハ非接触搬送装置 ・ガラス基板非接触搬送装置 ・非接触ピンセット ・太陽電池ウ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

超細1.4ｍｍｘ長55ｍｍの極細・長尺ワーク用ベルヌーイチャック

幅1.4ｍｍｘ長さ55ｍｍの極細・長尺ワークを 非接触にて搬送するベ…

超細・長尺ワ－クを非接触吸引するため新方式： 気体垂直噴流方式（VGF方式)を採用。 ベルヌーイチャック「フロートチャックSA-CL型」シリーズは極細・長尺ワ－クを効率良く吸引するため新しく気体垂直噴流方式（VGFS)を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウェハ拡張装置『HS-1810』

モーター駆動採用！無発塵でクリーンルームにも好適。

『HS-1810』は、長年に亘るノウハウの蓄積と多くの販売実績をもとに、 顧客の立場に立って開発されたウェハ拡張装置です。 使い易さ、精度、汎用性に優れるほか、モーター駆動の採用により 1mm単位のステージストローク設定が可能になり、より高精度な拡張を実現。 リングサイズの変更は、治具交換のみで対応でき、アルミ製拡張リング、 グリップリング、特殊仕様リング等、ニー...

メーカー・取り扱い企業： ヒューグルエレクトロニクス株式会社

266nm ナノ秒パルス 固体レーザー

産業用 266nm パルスレーザー　0.5W-3Wモデル

されています。多くは24/7で運用されており、高い信頼性能を評価されています。 付属のGUIソフトによるPC制御で各種パラメータ設定、モニタリングが出来ます。 高品質・高信頼性能の4倍波結晶を採用しています。 GUI上から結晶のスポットを変更できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： サンインスツルメント株式会社 本社

6in・8inウエハ両用非接触ピンセット

６ｉｎと８ｉｎウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる

「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」(特許） 新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

高品質メモリ：自社ファブ保有で長期供給が可能！

台湾台中市および高雄市にある12インチファブをベースに、高品質メモリ製…

モバイルDRAM コードストレージフラッシュメモリ TrustMEセキュアフラッシュメモリ で、通信、家電、車載、産業用、そしてコンピュータ周辺機器市場におけるTier1メーカーで広く採用されています。台湾中部サイエンスパーク(CTSP)を拠点とし、米国、日本、イスラエル、中国、香港、ドイツに子会社を有しています。...

メーカー・取り扱い企業： ウィンボンド・エレクトロニクス（Winbond Electronics Corp. Japan)　株式会社

DUV CW深紫外半導体レーザーシステム

193 nm, 213 nm, 244 nm, 257 nm, 266…

とって理想的な単一周波数レーザー光源です。 本レーザシステムはFHG発生技術を用いて193nmまでのDUV波長をCW発振することが可能です。半導体レーザーをベースとしたオールソリッドデザインを採用することで電気/光変換効率、装置サイズ、寿命、消耗品コストなど多くの点に関して一般的に使用されてきたガスレーザーより優位性を備えています。 ・最大数百mWクラスの高出力 ・高いコヒーレンス：...

メーカー・取り扱い企業： トプティカフォトニクス株式会社 営業部

マクロ検査用スポット照明 MSPA-10WA/MSPA-10DA

【デモ機貸出OK】透明・半透明な化合物半導体ウェハ検査や非透明シリコン…

半導体やウェハや非透明なシリコンウェハのマスク面上の欠陥検査、ガラスやレンズの傷検査の効率が大幅アップします。 ■照射角度や高さを任意に設定できコンパクトサイズも実現しました。 ■電球色LEDの採用によりハロゲンランプからの置き換えも可能です。 ■ファンレスにより、粉塵を嫌うクリーンルーム環境での仕様が可能です。 ■各種交換レンズ・フィルターをラインナップしております。 詳細はカタロ...

メーカー・取り扱い企業： ハヤシレピック株式会社 第1事業部

自動車向けESD/EOS保護用TVS ソリューション

自動車向けAEC-Q101規格対応ESD/EOS保護用TVS

Q101規格の -55℃~＋125℃に対応したAZ９シリーズを用意。 また、AEC-Q100規格のCANトランシーバICもラインアップしており、インフォテーメント、表示パネル、ADAS、HUD等への採用実績があります。 【自動車向けESD/EOS保護用TVS ソリューション】 ＜優れたパフォーマンス＞ ● 低クランプ電圧による優れたESD/EOS保護性能 ●...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナデン 本社

半導体用 ウエハー搬送ケース

半導体技術の基盤であるウエハーを安全かつクリーンに搬送！

『ウエハー搬送ケース』は、大手半導体メーカーへ長年採用されているウエハーの搬送･ 保管用ケースです。代表的なFOSB・HWSを中心に、さまざまなバリエーションの ウエハーケースを取り揃えております。 FOSBケースは半導体の製造工程及びその前...

メーカー・取り扱い企業： 石井産業株式会社

真空UV硬化装置『ＫＮＵＶ－１』

真空環境下でのＵＶ照射により硬化処理効率ＵＰ！ 最大８インチまでのウ…

.0 Pa/min 以下 最大排気速度 500L/min ドライポンプを使用 ビルドアップ基準値： 1.0Pa ・ L / sec をチャンバー容積に換算 ・ UV 照射性能 高圧水銀ランプ採用により、短時間高出力 UV 照射を実現 例） 積算光量： 27.5sec 照射で 550mJ/cm2 ・プロセス時間 1 プロセス 60 s 以下 排気スタートから UV 照射完了まで ...

メーカー・取り扱い企業： KNE株式会社

高速ハンドラー装置　部品移載機『BITA-1,2』

最大25,000UPHの高速移載 高精度/ ダメージレス収納 様々…

大25,000UPH 移載ヘッドには高速自転・公転する16本のノズルを 備え、1往復のX軸動作で16個の部品を一気に移載 します。特に、移載機BITA-2では、部品姿勢認識に ラインカメラを採用し、吸着部から収納部へ停止する ことなく移動することにより、最高タクト25,000 UPHを 実現しました。 2．微細部品の高密度収納を可能にする高精度： ±0.02mm（実力値※） XY軸...

メーカー・取り扱い企業： KNE株式会社

ウェハー表面改質・精密接合装置

超高真空～加圧雰囲気に任意対応！均一な加熱、加圧機能を備えた接合システ…

【機能】 ■均一加熱・加圧システム 　・任意の雰囲気でも対応可能な加熱・加圧条件､均一性を追求したシステムを採用 ■特殊ホルダー 　・アライメント精度を保持しながら確実な接合が可能 　・接合プロセス中の自動固定クリップ解除機能により良好な接合が可能 ■加圧･電圧印加コントロールシステム 　・複数の加...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

シリコンウェハーへの酸化膜受託加工サービス（研究、開発、量産用）

試作対応　少量対応　4～12inch対応　任意膜厚(10nm～20μm…

お応えできるようにしております。 特に、当社独自の厚膜熱酸化膜形成技術は光通信を支える光デバイスに欠かす事のできない材料となっており、当社の製品･技術が世界の通信機器メーカーや光部品メーカーに採用されています。 ...

メーカー・取り扱い企業： セーレンＫＳＴ株式会社 本社

カスタム対応可　Φ200mm ナノパターンウエーハ

試作開発に最適！半導体業界、液晶、燃料電池など多くの業界で採用されてい…

KrFステッパーによる微細パターンウエーハを提供いたします。 パターンレイアウトはカスタム対応が可能です。 つなぎパターン、ダブルパターニングも可能です。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。...パターンサイズにつきましては、下記仕様以外にも対応可能ですので、ご相談下さい。 【パターンサイズ】 ○パターン寸法 →75nm 100nm 150nm 200n...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

クリーンルーム対応5mm角ウエハ用小型ベルヌーイチャック

排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ば…

ソ－ラ－リサ－チ研究所では、5.0ｍｍ□～ 微小ワークのチップを非接触にてチャックし 搬送する「クリーンルーム対応小型ベルヌーイチャック」を 開発しました。この装置は、気体を噴出することにより エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と 圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく 裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触） 状態にてチャックし、所定の場所に搬送します...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

重量物非接触搬送装置「フロートチャックSA-5C(SAN)型」

重たいワークでも効率よく非接触搬送可能なベルヌーイチャック

　重量物非接触搬送装置（フロートチャックSA-５C(SAN)型）は、新しく気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触チャック

ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の非接触チャック

ソーラーリサーチ研究所の「非接触チャック」は垂直気体噴流方式を採用しており、空気をガラス基板に向かって噴出することにより、ガラス基板を空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 　作動面とワークとの間隙が大きい場合、気体噴出部ノズル、クッ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウェハフィルムマウンティング装置　HS-7600/HS-7800

気泡無く貼り付け可能！パターン面非接触式も製作できます

【特長】 ■ウェハ表面の損傷に十分配慮した特殊ステージ ■オペレーターのスキルを必要としない組込み式ローラー ■各種ダイシングフレーム使用可能 ■ウェハ表面ヘの損傷防止の為の特殊ステージ採用 ■ステージ温度調整　MAX 100℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ヒューグルエレクトロニクス株式会社

自動式超音波洗浄装置

～洗浄から乾燥まで精密な洗浄を～

かりと洗浄を行います。 ●各槽毎に洗浄される槽とは別にリザーブタンクが設けてあり、 　オーバーフローした洗浄液はフィルタで濾過します。 ●求められる精度では、すすぎにイオン交換樹脂による純水を採用致します。 電気伝導率測定器を装備する事で純水精度も管理出来ます。 ●乾燥は、エアーノズルは上下に動く為、水滴を満遍なく飛ばしつつ、ミストレーサーで室内をカラっとした状態に近づけます。...

メーカー・取り扱い企業： 日伸精機株式会社 事業本部

耐熱仕様：非接触搬送装置「フロートチャックSAH型」

高温ワークを非接触にて移載するベルヌーイチャック

非接触搬送装置「フロートチャックSAH型」は気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加せる...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所