有機EL用成膜装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

有機EL成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が16台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様な研究が行える多目的研究開発用装置となります。...【特徴】 ・3軸ロボット機構にて、マスク及び試料搬...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

アルミナ　セラミック

アルミナは電気絶縁性が高く、耐摩耗性、化学的安定性もある割に比較的安価…

アスザックでは、高純度、高性能な各種グレードのアルミナセラミックスを取り揃えています。 　 アルミナ板のネット販売もしております。（http://www.asuzac-ceramics.jp/shop/shopenter.htm）　　 アルミナは、半導体製造装置や液晶製造装置などのチャンバー内部品や搬送アームに使用されています。　　 アルミナは、電気絶縁性(1015Ωcm)が高いのでチャ...

メーカー・取り扱い企業： アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部

有機EL封止ライン（自動搬送タイプ）

グローブボックスに組み入れるなど、お客様のお要望に応じた装置を作製させ…

○真空貼合封止装置 ○ディスペンサー ○UV照射ユニット ○ホットプレート ○冷却プレート ○チャンバー内N2環境 ○基板搬送ロボット...詳細はお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

Φ300mm基板対応　ロードロック式スパッタリング装置　

大型基板の自動搬送に対応し、研究開発～量産までの応用が可能な装置です。…

大型基板の自動搬送に対応したロードロック式スパッタリング装置です。 【主な特長】 ・Φ300mmを例とする大口径基板のベア搬送が可能 　（角基板の対応も可能です。） ・独自設計のカソード機構により、汎用ターゲットサイズでの 　広範囲膜厚分布を確保 ・ターゲット交換、成膜室の点検/補修が容易なチャンバー構造 ・将来的なプロセス室の増設も可能 ・独自の緻密膜形成ユニットをオプション...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

導電性セラミック

静電気対策、帯電防止など大気環境から真空環境まで実績があります

当社では、導電性セラミックを取り扱っております。 アルミナを主成分として静電気対策用から金属並みの伝導性があるものなど バリエーションがあり、使用用途として、チャンバー内の静電気対策や、 帯電したシリコンウエハを搬送するロボットハンドなどがあります。 その他、窒化アルミや、設備の移転からチャンバー部品までお客様の ニーズに合わせて改造も可能な半導体装置部品にも対応。 ご要望の際...

メーカー・取り扱い企業： JTCK株式会社

基板制作装置　スプレー式小型エッチング装置

まだ手動ですか？卓上サイズで試験・実験に適した『スプレー式小型エッチン…

『スプレー型小型エッチング装置』は、プリント基板などのエッチング処理や、現像処理をする卓上サイズの基板制作装置です。 エッチング液（塩化第二鉄）の化学反応を使って、銅箔を回路パターン通りにエッチング（化学腐食、蝕刻）加工をします。 手動でやっている作業をスプレー型小型エッチング装置に置き換えれば、 再現性も高まり、作業効率も向上！ フィルムへのプリント時のエッチングにも使用されたこ...

メーカー・取り扱い企業： サンハヤト株式会社

非接触リニアポジションセンサー

半導体製造装置向け　真空でも使用可能+高精度

Temposonics アブソリュートリニア変位センサは、劣悪な環境下でも高速応答性能、正確性、耐久性を兼ね備えています。世界の多くのメーカーが、消費電力、CO2削減、コスト低減の為、機械を効率良く動作させ、サイクルタイムを短く、また、ダウンタイムをゼロにする必要があります。そのため、Temposonicsが提案する、高性能で振動、衝撃に強く、水、埃、油による精度への影響がない、メンテナンスフリー...

メーカー・取り扱い企業： Temposonics

炭化水素系　ユニット式洗浄機

ユニットの組み合わせは、条件に合わせて自由に選択！

【洗浄は乾燥が大きな問題です】 ●特に水系洗浄装置・炭化水素系洗浄装置については乾燥が 　遅い事が大きなマイナス要因です。 ●炭化水素系『光』洗浄機は、光・真空スピン乾燥機をセットし、 　乾燥が遅いという問題を解決します！！ ●真空チャンバー内で、スピン・連続輻射加熱によるクイック 　（２〜３分）・クリーン乾燥で洗浄の仕上げを行います。 ●洗浄ラインとの連動自動化が搬...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワールド機工

有機EL用成膜装置

有機EL用のインライン型の自動制御機能を盛り込んだ研究開発用装置です。

有機材料（有機EL）成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が8台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様な研究が行える多目的研究開発用装置となります。...【特徴】 ・有機材料と金属材料とのコンタ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

有機EL用成膜装置

有機材料と金属材料が同部屋にて成膜可能なハイブリット型成膜装置です。有…

有機材料成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が8台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが同部屋に標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。また、グローブボックスへ接続可能なシステムです。本システムは、有機材料と金属材料が同じ部屋にて成膜可能なハイブリット型蒸着装置となります。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社