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有機EL用成膜装置
有機材料開発用成膜装置
【特徴】
・搬送機構にてマスク及び試料搬送が可能。
・有機材料と金属材料が同じ部屋で成膜可能。
・有機材料と金属材料の共蒸着が可能。
・有機材料共蒸着が可能(最大4元)。
・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。
・蒸着室において、基板とマスクを真空環境下にて各々交換可能。
・基板とマスク間ギャップは最少。
・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5%以内。...
メーカー・取り扱い企業:
北野精機株式会社
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