有機EL用成膜装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

有機EL成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が16台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様な研究が行える多目的研究開発用装置となります。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

改善成功事例　事例4　有機EL成膜装置改造

改善成功事例　事例4　有機EL成膜装置改造

◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の有機EL成膜装置を使用していた。 しかし、使用上、下記の不具合点や要望が挙がっていた。 ◆マスクの交換機構が搭載されていない為、マスクを交換する際は、 その都度、大気開放する必要がある。その為、...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

有機EL用蒸着セル

有機材料（有機EL、高蒸気圧材料）薄膜用に開発されたＫセルタイプの蒸着…

精密なコントロールが極めて安定して動作可能です。直接加熱方式により、低温領域において優れた温度応答性と温度安定性を備えております。...本製品は、ルツボサイズが1ccと非常にコンパクトな設計となっております。その他、4cc・10ccと容量が大きいタイプも取り扱っております。ヒーターにシース材料を使用しておりますので、均一な温度が保てます。シャッター機構付きですので、蒸着の調整が可能です。ルツボ材質...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

有機EL用成膜装置

有機EL用のインライン型の自動制御機能を盛り込んだ研究開発用装置です。

有機材料（有機EL）成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が8台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

有機EL用成膜装置

有機材料と金属材料が同部屋にて成膜可能なハイブリット型成膜装置です。有…

有機材料成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が8台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが同部屋に標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。また、グローブボックスへ接続可能なシステムです。本システムは、有機材料と金属材料が同じ部屋にて成膜可能なハイブリット型蒸着装置となります。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社