有機EL用成膜装置

有機材料開発用成膜装置

【特徴】 ・搬送機構にてマスク及び試料搬送が可能。 ・有機材料と金属材料が同じ部屋で成膜可能。 ・有機材料と金属材料の共蒸着が可能。 ・有機材料共蒸着が可能（最大4元）。 ・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。 ・蒸着室において、基板とマスクを真空環境下にて各々交換可能。 ・基板とマスク間ギャップは最少。 ・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社