1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…

『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

フライク社　FXリフティングマグネット（永磁式）

PR横吊り、立て起こしが可能に。オプションで横吊りアイ、サポートハンドルの…

FXは、リフティングマグネットテクノロジーの分野の中で新しい製品です。 高い磁気エネルギーを持つ単一のハーフシェルマグネットで構成されたシステムで動作します。 わずか90°のハンドル操作によって作動し、解除時の反発を抑制します。 鋼板の立て起こしや丸鋼の吊り上げ、横吊りなど、様々な形状や環境にフィットできるよう豊富なラインアップをご用意しております。 【特長】 ■100%ニッケルプレート ■高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ルッドスパンセットジャパン

ロードロック方式スパッタリング装置 「SPH-2500-II」

膜厚分布：トレー内 ±1.2％、トレー間 ±1.5％を達成しました。

【装置構成】 ○装置サイズ　W2500×D1200×H1440 ○構成　ストッカー + 仕込室 + SP室 インターバック式 ○スパッタ方式　DCマグネトロン ○カソード　5インチ×7インチ　2対（う...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

水晶デバイス装置　真空加熱封止装置 「SLS-401T」

効率的なサイクルタイム　Cl測定によるリークチェック機能搭載

【仕様】 ○対応可能ワーク AT 2016, 1612, 1210 / TF 2012, 1610 ○装置構成 3室（仕込室, 処理室, 取出室）インライン式 ○排気系 処理室：10インチ TMP ○仕込室, 取出室：RP + NBP ○加熱系：予備加熱2段, 封止加熱1段, MAX 400℃, 冷却...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

高出力RFイオンソース 「ISG-180」

広範囲で安定した放電を実現した高出力RFイオンソースです。

【RFイオンソース仕様と寸法】 ○グリッド径　Φ180mm　3枚構成、モリブデン製 ○BEAM v　100～1500V ○BEAM ｉ　100～1500mA ○ACC v　100～1000V ○RF POWER　1000W ○GAS FLOW　30～100...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES

樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！

paまで30sec ○排気系　RP＋TMP ○生産サイクルタイム：基板投入から成膜、重合、取り出しまで約80sec以下 ○反射率：85％以上、KOH　１％　10min ○SP室＋重合室　2室構成 ○スパッタ室：高使用効率型カソード 　（ターゲットサイズ440×240mm）、30kW　DC電源 ○重合室：グロー放電式重合電極×1　750W　RF電源 ○スパッタ材料：Al等 ○重合ガ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

インライン式周波数調整装置 「SFE-X2012」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

【仕様】 ○ワークサイズ ： ＳＭＤ ２０１６以下の小型サイズにも適応可能 ○装置構成 ： ３室（仕込室、処理室、取出室） インライン式 　※オプションで ＬＤローダー（Ｏオーバー.Ｄドライブ付属）、 　　ＵＬＤとドッキングが可能 ○搬送系 ： ＳＦＥ－Ｂ０３型と同じくＸ軸搬送...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

ロードロック式周波数調整装置 「SFE-B03-II」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

【仕様】 ○対応可能ワーク →水晶振動子 水晶発信器 (3225, 2520, 2012, 1612, 1210) →音叉振動子 (4115, 3215, 2012) ○装置構成　2室（仕込室, 処理室）インターバック式 ○搬送系　1軸　X方向のみ ○排気系　8インチ TMP ○イオンソース　100mmビーム矩形型 1式 → 32ビーム (4 mmピッチ) ○計測器...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空