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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR制御システム等における周辺装置のゼロ復旧時間を実現。 クリティカルな…
PRP/HSR(IEC62439-3)に対応していないデバイスも本製品と接続すれば、周辺装置をその冗長ネットワークに参加することが可能となります。 <PRP製品> 並列接続でLAN構成を二重化。 一方の回線が故障してもメッセージロスが生じません。 <HSR製品> LAN回線をリング構成とし、右回り・左回りに同じメッセージを伝達。 一方が故障してもメッセージロスが生じず、遅延も起...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リョウセイ
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圧力スイッチ・電磁弁・エアシリンダなど!空気弁システムの構成をご紹介し…
空気圧を有効に利用して行くためには、大気を圧縮するところから、 最終端で仕事をするエアシリンダまで、いろいろな機器を組み合わせて ラインを構成します。 代表的なラインは構成は、空気圧縮機(エアコンプレッサ)、アフタークーラ、 空気タンク(エアタンク)などがあり、たくさんの機器が直列に並んでいます。 これらの機器は機能別に「圧...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヒット
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