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PR研磨加工、ガラス加工、セラミック加工など粉塵環境下の使用に威力を発揮
〇特殊シールとエアパージにより本体内への切粉、研磨粉などの粒子の侵入をシャットアウト 〇エア消費量の小さいパージ構造 (0.3L/min) 〇発熱の小さいシール構造 〇長寿命シール 〇シール部の清掃交換が容易な構造 〇コンパクトな胴厚 〇特許出願済...★炭化ケイ素とアルミナを混濁させたスラリー内で100万サイクル*の耐久試験をクリア * 1サイクルは 正転180°→ 正転180...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社北川鉄工所
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PRクレーター摩耗に対する耐性や切りくず処理性に優れ、幅広い用途で使用可能…
『Tiger・tec Gold WPP10G / WPP20G / WPP30G』は、 鉄系ワーク向けの耐摩耗性に優れた旋削チップです。 複数ステージの表面処理と多層MT-TiCN構造を採用しており、 切りくず処理性に優れ、幅広い用途で使用可能。 また、稠密結晶構造のコーティングにより長寿命な点も特長です。 【特長】 ■独自のコーティング技術 ■耐摩耗性を向上する稠密微細...
メーカー・取り扱い企業: ワルタージャパン株式会社
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レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…
OUP(フープ)対応やキャリアの製作なども行います。 Si基板をはじめ、GaAs、GaN、LT、LN等小口径化合物基板向けにコンパクトな装置も取り扱っております。 開放・密閉兼用のカップ構造により、高粘度〜低粘度まで幅広いレジストに対応いたします。 【主な仕様例】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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~10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…
【特徴】 ・高価な薬液の吐出量を高精度ポンプにて制御 ・均一良く塗るためのカップ構造(密閉式、回転カップ式) ・少量で塗り広げるプロセスのノウハウ ・少量生産に対応したシリンダ対応ディスペンサーも搭載可能(オプション) ・高粘度材料で難しいEBR(エッジリンス)機能 高...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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