フッ素系溶剤で精密洗浄とランニングコスト削減を実現する洗浄装置

PRパーティクル除去性能と溶剤の低消耗の2つの機能を兼ね備えたフッ素系真空…

真空超音波洗浄装置「SAUBER/ザウバー」は、パーティクル除去に特化し、 精密洗浄に有効な多くの機能を搭載しながら溶剤の低消耗を実現する1槽式真空密閉型洗浄装置です。 従来から純水洗浄で行われているパーティクル除去・除塵洗浄をフッ素系溶剤洗浄で行うことが可能です。 純水と比べるとフッ素溶剤は排水が出ないクローズドシステムですので、工場側排水設備への負荷がありません。 また、液の再生利用も容易...

メーカー・取り扱い企業： 富士ハイテック株式会社

受託試験・試験装置貸出サービス『※初回契約時割引あり』

PR性能評価や品質維持・向上を検討している方へ。電気性能試験のほか環境試験…

当社の『受託試験・試験装置貸出サービス』では、 お客さまの試料や製品の性能・状態を多彩な試験装置によって測定。品質や性能の維持・向上に努めております。 対象品をお預かりして試験・調査を行う受託試験のほか、 お客様ご自身で試験を実施していただける装置の貸出も可能です。 「製品の性能評価をしたいが、どこで実施すればよいか分からない」 「試験装置設備が老朽化しているが、更新費用がかかる...

メーカー・取り扱い企業： 関西電力送配電株式会社 技術試験センター

HFEベーパー乾燥装置

安全性を十分考慮した製品

ベーパー発生槽底面の研磨技術と特殊表面加工をしたプレートヒーターを使用することにより、ベーパー発生槽内のHFEを均一に沸騰させ、槽内に均一なベーパーを発生させることができます。 ※詳しくはPDF（カタログ）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ドラフトチャンバー（機器組込み型）

ワークや用途に応じた仕様にカスタマイズが可能です。

フトチャンバー内に使用機器を組込むことにより、使い勝手の向上と安全面の向上が得られます。 ダルトンでは用途に合わせ、最適なユニットをご提供致しますので、作業効率の向上が実現します。 現在お使いの槽やスピンコーターを組込む仕様にも対応致します。 【特長】 ■内部配管、配線等が整理され、外観がスッキリ。 ■責任範囲の明確化。 ■安全面も考慮。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

排ガス処理装置（スクラバー）

排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…

リなどのガスを適切に処理。 スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。 また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 スクラバー：薬液槽等から発生する揮発性ガスをスクラバーで中和処理し排出します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり

ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。

自動蓋、自動薬液供給、秤量、回収装置を装備可能。 ■エッチング液の濃度管理機構の装備が可能。対象薬液はご相談ください。（例：TMAH、KOH、HF、HCLなど） ■出荷前検査としてエッチング処理槽内の温度分布の計測が可能。 ■上下揺動機構の他、ウエハー回転機構の追加が可能。 ※当社の東京テストセンター（墨田区）にて、テストを実施頂けます（オンライン対応可） ※詳しくはカタログをダウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

リフトオフ装置　※テスト可能機種あり

枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタ…

適。 ・CHU型（研究開発向け）…HU型の特長を受け継ぎながら、コンパクト化を実現 ・MJ型（研究開発向け）…Jetチャンバーのみを有し、ウエハー投入・排出は手動操作 ・SL型（量産向け）…ディップ槽のみでリフトオフ処理を行なうシャワードレン式リフトオフ装置 ・ML型（研究開発・量産向け）…SL型からローダー、搬送機、アンローダーを削除した装置 上記６種類のラインナップに、５種類のオプションを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン