Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

超高画素 2億5000万画素/1億2700万画素 CXPカメラ

PR超高画素カメラによる広視野角・超高精細な撮像が可能で、各種MV用途に好…

Sony社製 CMOSセンサ(Pregius IMX661/3.6型)を搭載した、1億2700万画素のCoaXPressカメラ「VCC-127CXP6」と、Canon社製CMOSセンサ(Ll8020SAM/APS-H型)を搭載した、2億5000万画素のCoaXPressカメラ「VCC-250CXP1」。どちらも超高解像度を誇り、各種外観検査(液晶・基板・半導体ウエハ・建築物等の欠陥/異物/形状)、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シーアイエス

AR膜欠陥検査装置『EX2001S』

水平FFU搭載！高速クリーン検査可能！コンパクト設計のAR膜欠陥検査装…

アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の AR膜欠陥検査装置を取扱っています。 『EX2001S』は、ガラス基板の反射防止膜の欠陥検査機です。 透明基板の表面や裏面を倒立顕微鏡とラインカメラで 高速スキャン検査して欠陥検査をします。 ...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

検査装置　「ウエハエッジ外観検査機」

傷・異物・クラックなどの欠陥の検査に。エッジの精細画像検査を実現

検査装置「ウエハエッジ外観検査機」は、ウエハ外周の端面と上下の３面を同時に 高速光学画像検査により傷・異物・クラックなどの欠陥を検査します。（８”ウエハで検査時間６秒と高速です）ウエハを裏面吸着して形状をカメラ認識して外径偏芯とオリフラ位置／量を検出して検査機を制御します。新規開発のトリプル光学系とインテグレイト照明がエッ...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

検査装置『ITO膜外観検査装置』

透明膜の線幅測定や外観検査に最適です！

外観検査を行う装置です。 特殊光学系を用いる事でタッチパネルITO膜等の透明パターンの有無や、 飛び散りを明瞭に撮像し外観測定が可能です。 フィルム全体を高速に検査し、高倍光学系で欠陥箇所を詳細にレビュー観察 することが可能です。 また、オプションにて、基板上に乗っている異物の大きさや分布も高速に 測定することができます。 ご要望により、検査範囲や測定精度のカスタマイ...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

検査装置　「異物検査装置」

簡単操作、高速解析。フレキシブルにインライン装置構成の組上げが可能

シブルにインライン 装置構成を組み上げることが可能 ○微分各種、フィルター関係などの調整機能、画像処理に必要な機能などを選択することができる ○異物・汚れ・引け・脈理・むら・傷などのインライン欠陥検査に幅広く活用 ○各種空間フィルターの連続処理やフィードバック照明制御など全てがＧＵＩより行い、短時間にてレシピ設定が可能 ○ソフトウエアのカスタマイズや特注光学系設計にも対応可能 ●詳...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

検査装置　「パターン検査装置」

良品・不良品の判別に。簡単操作・自動補正・最大１０スペック設定可能

検査装置「パターン検査装置」は、マスタとなる正常な表面を登録し、検査時にその 登録画像と比較することにより、画像表面に付着している異物、傷、汚、パター欠陥 を検出します。またアライメントパターンの位置を表示し、寸法検査も行います。検出したパターンや異物等の面積、サイズ（最大径）を測定し、その検査結果データを測定条件と比較し、良品／不良品の判別をしま...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

スーパーマクロ SM75

300mウエハーで1ショット1秒で検査可能。全自動化検査ラインにも採用…

自動検査のほか、スタンドアロンタイプもラインナップしておりマニュアルでの検査が可能 ○任意のスライスレベルを設定できたニーズに合った検査が可能 ○用途によりソーマーク除去機能も有し研磨痕を除いた欠陥成分を自動で抜きだす ○一般的な撮影と違い被写体に与える光が「平行光速」 →平面の繊細な凹凸を像の濃淡に変換して自動検査する ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社