独自技術を採用したガラス加工用レーザー装置

PR高速かつ正確なガラス微細加工が可能。加工時の応力を抑えて、マイクロクラ…

『LPKF Vitrion M 5000 Gen2』は、独自に開発した「LIDEプロセス」を採用し、±5μm以下の高精度でガラス微細加工が可能なレーザーシステムです。 加工時の応力を最小限に抑え、チッピングやマイクロクラックの発生を防止。 アドバンストパッケージングで標準使用される150×150mmから 510×515mmまでの大型パネルに対応し、基板のサイズや 形状に合わせて柔軟に対...

メーカー・取り扱い企業： LPKF Laser&Electronics株式会社

X線検査受託サービス【大型製品に対応】Nadcap認定を取得

PRギガキャストなど大型製品のＸ線検査に対応！

KILTではX線CTと透過X線の異なるタイプのＸ線装置を保有しており、 様々な材質やサイズの製品のX線検査に対応しています。 最新鋭のＸ線ＣＴシステム「FF85」は、 国内最大クラスの出力を誇る600kVミニフォーカスX線管と 高精細なX線撮影に最適な225kVマイクロフォーカスX線管を搭載、 また、ラインセンサとフラットパネルの２つの検出器を搭載しており、 あらゆる対象物のCTスキャンを行って...

メーカー・取り扱い企業： TANIDA株式会社 かほく本社工場

チップ素子欠陥検査機

高精度なXYZオートステージです。

ウエハー上のチップ素子欠陥を自動検査します。 顕微鏡カラーカメラとオートステージをシステム制御してチップ素子単位での欠陥識別検査を自動でします。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

ウルトラマイクロスコープ

オートフォーカスでワークの厚みや反りにジャストフォーカスで検査します！

ークの厚みや反りにジャストフォーカスで検査します。 2. 検査ワークの形状を画像識別して検査エリアや検査条件を設定できます。 3. Dalsaラインカメラが高速/高解像で全面スキャンして欠陥をマップ表示します。 4. 欠陥画像レビューとカラーカメラ欠陥位置を再現してライブ検査ができます。 5. 欠陥検査以外にパティクル検査やパターン検査に対応します。 ◎「カタログをダ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

ウエハチップモニタ検査機　型式 WBM-2000E

卓ライカAPOズーム光学系で高画質・最適倍率でのモニタ検査が可能！

ウエハチップの目視モニタ検査機で最高級光学系画像を見ながらオペレーターが確実に欠陥チップを識別でき欠陥位置/カテゴリー分類/画像ファイルが確実に欠陥チップを識別でき欠陥位置/カテゴリー分類/画像ファイルが確実にできる目視検査システムです。 エキスパンダリングをステージでステップ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

微小スポット露光顕微鏡

微小領域に紫外光照射検査ができます。

微小スポット露光顕微鏡はマスク欠陥の高精度レビュー検査顕微鏡で画面の微小領域にスリット露光できるスポット顕微鏡です。 レジストを塗布したマスクをステージに載せ欠陥検査機のデータから欠陥位置を自動再現してXYスリットで露光範囲を決め...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

サファイア自動検査機

検査データファイル、欠陥画像ファイルを判定やマクロMAPで表示可能

サファイアウェハの傷、異物欠陥の高速自動検査機です。 ダブルカセット式でロード/検査/アンロードをタクト30秒枚で検査します。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

外観自動検査機　IMS-3000

洗浄後基板の異物検査やガラス基板の内部欠陥検査、透明電極パターンの測長…

多様化する産業界の各種製品のパネル基板やフィルム、半導体部品の 微少欠陥を最新のラインセンサ外観検査システムで検査します。 最新の光アライアンス技術によりメカニカル・オプチカル・画像処理を融合し、 独自な高速/高精度検査機を提案します。 この外観検査機はミクロから...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

赤外顕微鏡

透過赤外光の照明調整でIR明視野・暗視野検査での検査ができます

半導体ウエハなど赤外透過材料の内部欠陥を非破壊で可視画像と赤外画像を同時にモニタ検査と上下のパターンズレや内部欠陥の検査ができます。 TSV貫通電極や積層ウエハの表面を可視でモニタとIRフォーカス調整でウエハ内部を同時モニタできます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

MEMSウエハチップ検査機

高精度クリーンルーム対応のオートレビュー顕微鏡

MEMSウエハの微細なチップ欠陥を検査する、オートフォーカス顕微鏡です。 XYZ電動躯体の本体にオートフォーカス顕微鏡が搭載されています。 ウウエハを載せてソフト駆動でXYZステージを制御してウエハ上の素子チップ検査や欠陥個所...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

ウエハBG・テラス検査機

オートアライメントと自動検査を　ハイスループット1枚30秒で検査します

ウエハ外周上面のテラス幅や端部をラインカメラで計測や欠陥検査ができます。 セットプレートにウエハを載せるとオートアライメントと自動検査をハイスループット1枚30秒で検査します。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

インライン用　表裏面外観検査装置

パネル製造ラインで表面・裏面のキズ欠陥を自動検査できるインライン用の基…

「表裏面外観検査装置」は、インライン用の基板外観検査機です。 検査基板の上下に取り付けて走行基板をセンサで検出してラインカメラで外観検査をします。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【仕様】 ○検査項目 →傷、突きキズ、異物 ○性能 →倍率0.03 ○検査幅 →1100mm ○分解能 →150μm ○クロック →60khs ○走行速度 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック