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RFイオンソースを使用し、シングルステージまたはプラネタリーステージを…
デフォーカスグリッド ・シングルステージ ・ターゲットホルダー ・排気系 ・制御系 【オプション】 ・プラネタリーステージ ・膜厚計 透過型光学モニター 水晶膜厚計 ・全自動多層薄膜成膜ソフト...
メーカー・取り扱い企業: アールエムテック株式会社
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