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57件 - メーカー・取り扱い企業
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81件 - カタログ
521件
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膜厚モニター用水晶振動子
蒸着装置やスパッタリング装置などの真空成膜プロセスにおいて、膜厚モニターとして広く使われているQCM方式の膜厚計用の水晶振動子です。周波数は５ＭHzと６MHz、電極膜材料は金（Au）と銀（Ag）を揃えております。 弊社販売品については再生もお受けいたします。 ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社アベニューマテリアル
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小型･高精度･低消費電流を誇り、水晶加工から一貫して生産することで …
高精度水晶のことなら「株式会社マキエレクトロ」...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マキエレクトロ
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【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6…
PREVAC社製 蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」は、膜圧モニター/プロセス制御システム付きで、6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能な装置です。 6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単で、シンプル・コンパクトはデザインを採用しており、2台分の真空計の入力が可能です。インターフェイスは、USB、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノポート
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精研工業株式会社３ミリ水晶発振器用P-Pハンドです。
精研工業株式会社による「３ミリ水晶発振器用P-Pハンド」のご案内です。...
メーカー・取り扱い企業： 精研工業株式会社 技術部
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長時間・多量の真空蒸着またはスパッタリングのプロセスに有効
日本電子株式会社 水晶振動子式膜厚コントローラ/モニターに接続して、真空蒸着時の膜厚や蒸着レートを計測/制御するための多点センサーです。 真空チャンバー内長さ、センサーヘッドタイプ、水晶振動子（クリスタル）枚数を、選択し...
メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社
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蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。
VISTA株式会社は、TELEMARK製の電子銃や水晶膜厚モニターなど多彩なラインアップで取り揃えております。 TELEMARK社の電子銃は、超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型、ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビ...
メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社
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大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…
【その他特長】 ■大気圧から低真空領域のクリスタルゲージ部は、水晶振動子と気体分子の摩擦によるインピーダンスの変化を読み取ることにより、真空計測を行っています。 精度・再現性に優れており、信頼性の高い計測が可能です。 ■高真空領域のコールドカソードゲージ部は...
メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社
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ウェハで形成された製品を電気特性検査しながら、レーザーにて特性の追い込…
『PLT-20』は、音叉型水晶振動子の金属皮膜をレーザーで除去して、 発振周波数を調整する装置で高いシェアを誇ります。 ウェハレベルで水晶振動子を発振させ、数十個同時測定加工を行い、 高スループットを実現。 フォ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＰＦＡ
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サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能！排気操作は全自動…
用 小型蒸着装置です。 抵抗加熱機構を2対装備しており、サイリスタ制御により蒸着電圧及び、 電流値の調整が可能です。 排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動。 水晶振動式膜厚計もオプションで付けることができ、卓上型タイプとしては 高性能な成膜制御が可能です。 【特長】 ■ロブスカイト太陽電池電極作成用小型蒸着装置 ■抵抗加熱機構を2対装備、サイリス...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンバック 本社
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LED光学多層DBR膜形成用真空蒸着装置 Sapio-DBR
LED 用光学多層 DBR 膜の成膜に最適！
φ4inch ウェハー約110枚/batch →タクト：3h/batch 以内 →必要設置エリア：W4.6m×D6.3m×H3.2m ※SGC-S1550i 使用時 ※水晶式膜厚計の脱着の際には 工場側天井パネルの取外し等が必要な場合がある ○優れた再現性 連続batch保証も対応 ○膜質の調整が可能 Chippingによる膜の損傷を抑制するための ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空
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コストパフォーマンスに優れた最終研磨工程の2Wayマシン
『KT型』は、小物ワークの最終研摩用として開発され、太陽ギアとインターナルギアのみが それぞれ回転するという2Way方式を採用した2Wayラッピングマシンです。 研摩途中でも水晶やセラミックチップなどの小片はラップ途中でも 上定盤を上げることなく1個のみ取り出して寸法測定が出来ます。 【特長】 ■研磨後のワーク精度はもとより、機械部品の摩擦低減、定盤の 精度維...
メーカー・取り扱い企業： 戸上工業株式会社
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水晶振動式膜厚モニター搭載！コンパクト設計でクリーンな成膜が可能
を調節することにより 斜め蒸着ができます。 【特長】 ■初心者でも容易に作業可能 ■ターボ分子ポンプ搭載 ■基板傾斜機構搭載 ■蒸発源は抵抗加熱3基、オプションでEB加熱に対応 ■水晶振動式膜厚モニター搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐エンジニアリング
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宝石や光学ガラスなどに対応！脆性材料の成形や研磨加工に幅広く使える研磨…
イマハシ製作所の『FAC-8IRS型』は、水晶、めのうなどの宝石類や試料、 光学ガラスなど脆性材料等の成形、研磨加工に幅広く使える研磨機です。 スピンドル部はステンレス製で、 200Wモータを使用したインバータによる可変速です。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社イマハシ製作所 東京営業所
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高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…
・基板回転・上下昇降・加熱（500℃）オプション ・プロセスガス制御：MFC x 1（Ar標準、最大3系統増設：N2, O2） ・APC自動制御（キャパシタンスマノメータ オプション） ・水晶振動子膜厚モニタ ・シャッター ・寸法：804(W) x 570(D) x 600(H)mm ・重量：約70kg ・電源：200VAC 50.60Hz 15A ・チャンバーサイズ：Φ225...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です！
<特徴> LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です。 生産性を重視した高剛性設計、ベースと支柱に石定盤を採用。 ダブルハンドロボットにて、高スループットアクセスランダム制御。 オリフラアライナーも装備 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所
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コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…
蒸着源：7ccるつぼｘ６（又は4ccるつぼｘ8） ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大４源 ・プロセス制御：手動/自動多層膜・同時成膜、APC自動制御 ・膜厚モニタ：水晶振動子センサヘッド ・膜厚制御：Inficon社 SQM-160（又はSQC-310） 2ch/4ch薄膜コントローラ ・その他オプション：基板加熱, 冷却, 基板昇降・回転, プラズマエッチ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…
：7ccるつぼｘ６（又は4ccるつぼｘ8） ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大４源 ・プロセス制御：手動/自動多層膜・同時成膜、APC自動制御も可能 ・膜厚モニタ：水晶振動子センサヘッドｘ２ ・膜厚制御：Inficon社 SQM-160（又はSQC-310） 2ch/4ch薄膜コントローラ ・ユーティリティ：電源200V ３相 15A, 水冷3ℓ/min, ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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真空蒸着装置『MiniLab-090』（グローブボックス用）
グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…
着源：7ccるつぼｘ６（又は4ccるつぼｘ8） ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大４ ・プロセス制御：手動/自動連続多層膜・同時成膜、APC自動制御 ・膜厚モニタ：水晶振動子センサヘッドｘ4 ・膜厚制御：Inficon社 SQM-160（又はSQC-310） 2ch/4ch薄膜コントローラ ・ユーティリティ：電源200V ３相 15A, 水冷3ℓ/min, ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】
スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに…
範囲：Φ4inch/Φ100mm ・真空排気系：ターボ分子ポンプ + 補助ポンプ（ロータリー、又はドライスクロールポンプ） ・基板回転、上下昇降ステージ ・Max500℃基板加熱ヒーター ・水晶振動子膜厚センサー ・7”タッチパネルHMI操作（’IntelliLink’ WindowsPCリモート監視ソフト付属）...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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石英ガラスへのあらゆるネジ切り加工は高嶋製作所にお任せください
ガラスにネジを切るのは難しい加工です。ましてゆるみの無い精度の高いネジを切る事は容易な事ではありません。 高嶋製作所はダイヤモンドの次に硬いと言われている石英ガラス（水晶）や異素材などへ、ゆるみの無い精度の高いネジ切り加工を実現します。...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社 高嶋製作所
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精密洗浄に適する高い周波数洗浄機（500kHz、1MHzHz）----…
よるリモートコントロールができる。 ４、投込型、振動板型振動子の製作が可能。 この高周波数超音波洗浄機UMCシリーズは、半導体ウェハー、ハードディスク基板、ディスプレイ用ガラス、サファイア基板、水晶ウェハー、石英ガラス、メタルマスク等の洗浄に適する。 ...
メーカー・取り扱い企業： 新科産業有限会社
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電子デバイス用途のスタンダードシリーズ。Ｒ＆Ｄ用の多目的小型研究用から…
半導体・ＭＥＭＳ・各種電子部品（センサー、水晶振動子等）の研究開発から本格量産まで幅広く対応する標準型蒸着装置のラインナップ。 全機種クリーンルーム、クリーンバキューム対応で各種選択機構を装備。 実績豊富な標準仕様から個別要求に細やかに対応...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能です！
：Φ96ｍｍ） ○外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート ○真空排気ポート（NW40）1ポート ○最大基板サイズ：Φ110ｍｍ ○基板加熱もしくは基板冷却機構 ○蒸発源：2源（同時2源） ○水晶膜厚計、基板シャッター付き ○高真空ポンプ：ターボポンプ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー
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両面成膜・端面成膜・コンパクト・大量バッチ処理。基板の自公転機構が蒸着…
小型基板や小径ウェハの両面成膜、セラミック基板の端面成膜、マスク成膜に最適な独自基板機構を装備。 小型チャンバで大きな処理量を持つ標準横型蒸着装置。 蒸発源・加熱温度・排気系の各種選択可能。樹脂装飾用から電子部品量産の電極形成まで実績豊富な独自機構で対応 ...φ７５０から最大φ１０００まで基板寸法と生産量に合わせて最適な処理量と蒸発源等各種機構が選択できます。 イオンプレーティング機構の...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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樹脂外装品の成膜に実績豊富な大型蒸着装置 長尺樹脂成形品の成膜に最適 …
尺樹脂成形品の全面成膜に対応。高速排気と低温蒸着が特徴。短タクト処理で量産ラインに対応。成膜前のイオンボンバード処理により高い膜の密着性を実現。電子銃の複数台使用により各種金属の高速成膜に対応。 水晶振動式膜厚計による制御で不連続膜も安定した全自動成膜を実現。 高い安定性を備えた全自動蒸着装置。...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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110Wの高出力UV洗浄をお手元で手軽に。
用途・効果 ガラス表面の有機系皮膜の除去、ITOと絶縁膜との密着度向上、ガラスとITOの密着向上、各種塗布膜の親水化 ・光学部品 製品 ピックアップレンズ、センサー、半導体製造用レンズ、水晶振動子 用途・効果 レンズ表面の有機系皮膜の除去、樹脂レンズ表面の親水化コーティング、金属系蒸着膜との密着性向上、貼合せ前処理 ・基板 製品 プリント基板、銅基板、セラミック基板ほか ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社あすみ技研
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スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】
真空蒸着（金属・有機蒸着源）、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…
ンスパッタカソード x 1 ・抵抗加熱蒸着源（最大2） ・有機蒸着源（最大2） ◆基板サイズ◆ ・〜Φ4inch/Φ100mm基板ホルダー（特注ホルダー 応相談） ◆膜厚センサー◆】 ・水晶振動子膜厚センサー x 1 ◆真空排気◆ ・ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ ◆付属ソフトウエア◆ ・IntelliLink Windows PCリモート監視ソフトウエア ◆オプション◆...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…
多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」は、蒸発源として電子ビーム式蒸発源を採用しています。 高融点金属や酸化物を成膜する事ができます。 蒸発速度の制御と膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。 主ポンプはクライオポンプを搭載しています。 操作制御系は全自動式になっています。 【特徴】 ○良好な膜厚分布が得られるように蒸発源と基板治具が配置されている...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空
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生産の効率化、サイクルタイムの短縮が図れます。
高真空アニール装置 「SAF-52T-II」は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定化のための熱処理を行うことを目的として開発された装置です。 W460×D350×H35mm の加熱棚が左右計10段、170×134mmの...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空
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自己研磨でダイヤモンドを常時露出！優れたカット性で硬くて壊れやすい材料…
ブレードの刃は常時ダイアモンドが新しく露出されて、刃先がシャープに なるように速度が制御されるため、切り口が高度に正確で顕著な歩留まりと ブレードの長寿命を達成します。 アルミナやガラス、水晶といった硬くて壊れやすい材料に好適です。 【特長】 ■自己研磨でダイヤモンドを露出する基盤 ■優れたカット性 ■硬く頑丈で複雑な材料に適した基盤 ■高度に精密なダイシング ■所有コス...
メーカー・取り扱い企業： 日本技術産業株式会社
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最高900℃の高温プロセスが可能！エピタキシャル促進機構により単結晶成…
【仕様】 ■基板サイズ：最大φ12インチ ■基板加熱温度：700℃（基板表面） ■蒸着材料：金属または酸化物 ■真空排気：CP+DP ■膜厚コントロール：水晶式膜厚センサ ■制御操作 ・制御：PLC ・操作：タッチパネルまたはPC ■データロギング：外部メモリまたはPC ■基板搬送：真空搬送ロボット ■オプション：基板加熱900℃（基板表...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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RFイオンソースを使用し、シングルステージまたはプラネタリーステージを…
デフォーカスグリッド ・シングルステージ ・ターゲットホルダー ・排気系 ・制御系 【オプション】 ・プラネタリーステージ ・膜厚計 透過型光学モニター 水晶膜厚計 ・全自動多層薄膜成膜ソフト...
メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社
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容易に基板セットや蒸着用試料補充と交換が可能！大規模集積回路用の装置で…
系はドライな真空状態を得るために、磁気浮上式広帯域 ターボ分子ポンプとドライポンプの組み合わせによる排気システムです。 【特長】 ■基板サイズ 6インチ ■蒸着源は抵抗加熱式 ■膜厚コントロールは水晶振動子式膜厚計を用いた制御 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本シード研究所
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各種消耗部品を取り扱っております。
／拡散ポンプ用オイル／ロータリーポン プ用オイル／メカニカル・ブースターポンプ用オイル／Cu（無酸素銅） ハースライナー／EBフィラメント／パッキン各種（角ヒモ／Wシール／ Oリング 各種サイズ）／水晶振動子／ハロゲン・ランプ／フィリップス 球／モニター・ガラス、他 装置関係 ： シャッター板／RH用ボート（Mo/W）／スチール・ボール／ミラクル・ ピロー／エルボ、他 測定機系 ： ...
メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社
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Ø2”～6”対応全自動露光装置（マスクアライナ）
【主な仕様】 ・サイズ：Ø2～Ø6” ・マスクサイズ：□4～□7” 【対応基板】 ・シリコン、セラミック、サファイア、ガラス、水晶、他 ※各種カスタマイズご相談承ります。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社大日本科研
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コンパクトな設計のマニュアル式オートアライメント露光装置(マスクアライ…
【主な仕様】 ・サイズ：Ø2～Ø8” ・マスクサイズ：□4～□9” 【対応基板】 ・シリコン、セラミック、サファイア、ガラス、水晶、他 ※各種カスタマイズご相談承ります。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社大日本科研
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●高性能電着ダイヤモンドワイヤーによるダウンカット方式 ●固定砥粒のた…
本装置は、精密加工技術を生かして素材を薄く高精度に切断する装置です。ワイヤー駆動２軸、トラバース２軸、ワーク上下１軸の計5軸ACサーボモーターを使用しており、水晶、セラミック等さまざまな素材を切断できる小形専用機です。 ...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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電熱機器のエキスパートとしてお客様の加熱工程をトータルサポート
○熱・流体解析 【提供電熱システム】 ○LED・電子部品製造工程 →製品を縦に配置するマンション型加熱装置をはじめ、マガジン加熱装置にて 製品の品質向上、歩留まりの改善に貢献 ○水晶デバイス製造工程 →ブランクマウンタ後のキュアに於いて従来の遠赤方式と比較し 良好な温度分布にて製品の品質向上に貢献 ○その他の工程 →LED光束維持試験装置・ホットプレス ○自動車関連...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社九州日昌 東京営業所
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研磨業を通じて、お客様の発展に寄与し、地域と共に豊かな未来を想像し続け…
【業務内容】 ■光学硝子部 ・光学ガラス平面研磨加工 〔主要加工品名〕 ・白板・BK-7等の光学ガラス ・水晶・石英等の硬質ガラス ・ブルーフィルター等の軟質ガラス ・各種フィルターガラス ・ジルコニア、アルミナ系の各種セラミックス ・ポリカーボネート等の樹脂基板 ・他、各種電子部品用の...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社鶴丸産業
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薄膜コーティング用特殊ガンバルブ（薄膜スプレーコータ装置用）
長年の試作技術とデータベースと、用途開発の様々なノウハウで、お客様のニ…
タ）はウエット式スプレー粒子を積層する薄膜形成装置であり、凹凸のあるサブストレート、立体形状（３D）デバイスに容易に塗布することが出来ます。電子デバイス、センサーデバイス、MEMS、サーマルヘッド、水晶デバイスなどに応用されています。 弊社では長年の塗布試作サービスの実績と経験があり、そのノウハウを盛込んだ薄膜コーティング装置はご好評をいただいております。独自の特殊ノズルを採用し長期安定な塗布を...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所
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研磨加工技術や平面研磨技術、エッジポリッシングなどを紹介します。
【掲載内容】 ○Si Wafer ○消耗副資材 ○IAG（酸化物・サファイア・SiC・GaAs・水晶・セラミックス・金属 他) ○古くから引き継がれる研磨加工技術 ○実は重要なのです。エッジポリッシング(端面研磨) ○研磨加工プロセスに必要不可欠な、消耗副資材と制御ソフト ○より薄くが、よ...
メーカー・取り扱い企業： スピードファム株式会社
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当社のコア技術で、お客様のテーマにお応え！ハイメカはお客様と共に歩んで…
の願いです。 電子部品・エネルギーデバイス分野を中心に時代の先端をゆく技術で要望に お応えしながら当社はお客様と共に歩んでいきます。 【営業品目】 ■タンタルコンデンサ製造設備・水晶デバイス製造設備 ■溶接電源 ■各種FA設備 ■テーピング＆フォーミング自動機 ■エネルギーデバイス製造設備 ■チップアルミ電解コンデンサ製造設備 他 ※詳しくはPDF資料をご覧いた...
メーカー・取り扱い企業： ハイメカ株式会社
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加工物のサイズにあわせて装置の選定可能！特長や寸法、キャリア搭載数など…
当カタログは、スピードファムが取り扱うIAG(酸化物・サファイア・SiC・ GaAs・水晶・セラミックス・金属 他)用装置をご紹介しています。 材質を問わず、ラップ、ポリッシュ加工が可能な標準型の「DSM 16B-5L/P-V」や、 スラリー流量、ALC定寸システム制御の追加で、...
メーカー・取り扱い企業： スピードファム株式会社
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