FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

鉱油汚れに特化した洗浄剤［オイルパルγ 機械油用PRO］

PRアルミ腐食を避けながら、鉱油汚れのみをスッキリ洗浄！

金属アルミを腐食させることなく、潤滑油・グリス・機械油・切削油といった“鉱物油”系の汚れを綺麗に落とします。エスポ化学の「オイルパルシリーズ」の中では最高クラスの洗浄力をぜひお試しください。 ＜製品の特長＞ ■潤滑油・グリス・機械油・切削油などの鉱油汚れに対して、極めて優れた洗浄力！を発揮！ ■PRTR制度対象化学物質非該当製品*1 *1:「PRTR制度対象化学物質」とは、人や生態系への有害性(...

メーカー・取り扱い企業： エスポ化学株式会社

お使いのターボ分子ポンプでお困り事はございませんか？

対応ターボ分子ポンプメーカーほぼ網羅！年数が古いモデルにも対応で買い替…

【作業プロセス】 ■受け入れ ■分解・洗浄 ■検査・状態確認 ■部品交換・組み立て ■バランス調整 ■総合試験 ■出荷 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： PROSOL JAPAN株式会社