1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…

『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

フッ素系溶剤で精密洗浄とランニングコスト削減を実現する洗浄装置

PRパーティクル除去性能と溶剤の低消耗の2つの機能を兼ね備えたフッ素系真空…

真空超音波洗浄装置「SAUBER/ザウバー」は、パーティクル除去に特化し、 精密洗浄に有効な多くの機能を搭載しながら溶剤の低消耗を実現する1槽式真空密閉型洗浄装置です。 従来から純水洗浄で行われているパーティクル除去・除塵洗浄をフッ素系溶剤洗浄で行うことが可能です。 純水と比べるとフッ素溶剤は排水が出ないクローズドシステムですので、工場側排水設備への負荷がありません。 また、液の再生利用も容易...

メーカー・取り扱い企業： 富士ハイテック株式会社

セラミックコーティング　NF-5340

洗浄性向上、異物対策に！高硬度かつ離型性に優れたコーティング【実験動画…

　ＮＦ－５３４０は、高硬度で離型性に優れた新しいタイプの表面処理です。高硬度ゆえに、従来のフッ素樹脂コーティングと比較して、耐磨耗性や洗浄時等の耐傷付き性の大幅な向上が期待されます。 　また、高粘度物に対する離型性はフッ素樹脂コーティングと比較して、より優れた特性を示します。 従来、高粘度物に対する離型性には溶射による表面粗面化仕...

メーカー・取り扱い企業： 日本フッソ工業株式会社

日本フッソ工業　付着防止

フッ素樹脂は、あらゆる物質を固着させません。

フッ素樹脂は、炭素（Ｃ）とフッ素（Ｆ）の強固な「Ｃ－Ｆ結合」により、極めて安定した分子構造となっています。このため、他の物質と結合（＝付着）せず、撥水性（＝洗浄性）に優れています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本フッソ工業株式会社

粘着テープがくっつかないタックフリー『ＦＫ』シリーズ

シリコーンフリーのリリースコーティング

従来からのシリコーン系のリリースコーティングは、溶剤洗浄の不可と『シリコーンの移行』が大きな問題となっていました。いくら焼き付けのシリコーン系のリリースコーティングでも、１００％移行しないことは有りません。この移行したシリコーンが後加工での密着不良、表面...

メーカー・取り扱い企業： 日本フッソ工業株式会社

日本フッソ工業　半導体製造装置

ウエット洗浄装置

高純度フッ素樹脂コーティングは、金属イオン溶出によるデバイスの汚染を防ぎます。 ...【特徴】 ○表面の汚染物質の付着が少なくなる ○パーティクルが発生しにくい ○Siウェハのエッジのダメージが減少する ○薬液透過による外部汚染を防止 ○金属槽が採用可能になることから、強度アップが可能 ○熱伝導の効率が向上 ○薬液透過による外部汚染を防止 ○金属槽が採用可能になることから、強度ア...

メーカー・取り扱い企業： 日本フッソ工業株式会社