Ｒ＆Ｄ向け小型スリットコーター

低粘度～高粘度まで対応可能。１～１０，０００ｃｐｓ。 レジスト、ポリ…

〈精密スリットコーター〉 　・搬送駆動：リニアモーター・リニアガイド・サーボモーター 　・塗布供給方式：シリンジポンプ（独自の社内開発品） 　・精密ステージ：石定盤（平坦度：10μｍ以下） 　・低粘度～高粘度まで対応（数cps～10,000cps） 　　有機EL、フォトレジスト、ポリイミド、インク剤、硬化樹脂ｅｔｃ...装置仕様 ・ＭＡＸ１０，０００ｃｐｓ ・膜厚精度：±３．０％以内...

メーカー・取り扱い企業： ネクス株式会社