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ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…
『TFCシリーズ』は、ウエハー切断(ダイシング)工程で使用される ダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。 ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長 ・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着があり...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトッ…
ワイヤーソー (スライス) 後のウェーハ自動剥離装置です。プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、粗洗浄~ウェーハ剥離~ウェーハ枚葉洗浄~乾燥~カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。 剥離は、熱風加熱方式で、1枚ごとに行います。剥離後のウェーハは、枚葉式の洗浄です。2流体高圧洗浄~スクラブ洗浄~リンス洗浄~吸水ローラ乾...
メーカー・取り扱い企業: PHT株式会社
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電気量・CO2排出量削減!幅広い研磨材の使用が可能なブロワブラスト
『AB-1型』は、エアー源にルーツブロワを使用したブロワブラストです。 空気噴射の制御が容易な直圧方式のため、軽量から重量まで幅広い研磨材の 使用が可能です。 ルーツブロワは、電動式送風機のため、インバーター制御による噴射風速の 設定が自在にできます。 【特長】 ■省エネエアー源 ■対応研磨材 ■風速制御が簡単 ■直圧方式を採用 ■シンプル構造 ※詳しくはPD...
メーカー・取り扱い企業: 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材 販売及び受託加工
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職人が磨き出す上質の輝き!エレベータベルトをワイドにして噴射量を2倍に…
『SMAP-IIF型』は、今までのSMAP研磨では少し物足りなかった光沢を、 職人が磨き出す上質の輝きに匹敵できる鏡面ショットマシンです。 エレベータベルトをワイドにして噴射量を2倍にでき、ノズルの 形状を平型から逆V型に変えたことで、メディアを濃く噴射可能。 乾式研磨のため、後洗浄が簡単。弾性研磨材なのでワークの形状変化が 少なく、均一な研磨ができ、熱変化がないので薄物ワークも...
メーカー・取り扱い企業: 東洋研磨材工業株式会社 本社
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高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…
試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 (クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ) ・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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ガラス板にエポキシ接着されたウェーハを洗浄する装置です
・超音波・揺動・ノズル洗浄にてワークのスラリ等汚れを落とします。 ・ノズルの前後ストロークは、ワーク長に合せて設定可能です。 ・プログラムは10ステップまで設定可能です。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャステム
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