洗浄ノズル | イプロスものづくり

【もはや革命】水洗浄不要！エアーブローだけでパーティクルを除去します

＜クラス100対応！半導体の洗浄に使用できます＞当エアーノズルは特許も取得した独自技術により、従来のエアーノズルと比較してエアーの噴出力がケタ違い。強力なエアーブローにより、半導体に付着したパーティクルを除去します。（クラス100対応）つまり、これまで「1.水洗浄 ⇒ 2.水切り ⇒ 3.乾燥」と3ステップで行っていた洗浄工程が一変。水を使わず「エアーブロー」だけ、1ステップで完了。圧...

メーカー・取り扱い企業：ピュアトラスト株式会社

【半導体対応】100％水切りできる『エアースクリューノズル』

エアーブローでの完全水切りがついに実現！瞬時な100％水切り・完全乾燥…

【とにかく動画が証拠です。必ずご覧ください！】従来のエアーノズルでは、洗浄後にエアーブローのみで100％水切りすることは不可能であり、完全乾燥させるには別途乾燥工程が必要でした。それどころか「エアーノズルでは完全な水切りは不可能」というのが製造業の常識にすらなってしまっています。しかし、当エアーノズルは独自の特許技術により100％水切りを実現。瞬時に100％水切り・完全乾燥が可能となりまし...

メーカー・取り扱い企業：ピュアトラスト株式会社

高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

『TFCシリーズ』は、ウエハー切断（ダイシング）工程で使用されるダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着があり...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」

縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。…

「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした石英管洗浄装置です。【特徴】 ■石英管の形状・洗浄用途に合わせた装置ラインナップ　・6インチ・８インチ・１２インチプロセス用の石英管に対応致　・石英管の形状・洗浄用途に合わせ、横型式(HTC)と縦型式(VTC)の装置を選択可能 ■省スペースで「薬液・純水削減」に貢献　・縦型...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインスコール』

小型基板から大型液晶板までの枚葉及び平送り洗浄ツールです。

ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインスコール』は、大型液晶ガラス洗浄に最適なバー型高スループットタイプです。洗浄エリアは2210mmまでセレクト可能で、液晶ガラス等の枚葉式洗浄に最適です。バー型、ノズル噴射の洗浄方式で、洗浄液は空中でのノズル噴射式のため、洗浄槽液内での再汚染がありません。微細な出力調整ができ1W刻みの安定した出力調整が可能です。通信機能も強化され、発振器状態の監視、外部設定が...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プレテック

ブラシ洗浄からの置き換え！枚葉式ウエハ洗浄装置（スクラバー）

実績多数の高圧ジェットを採用したスクラバー。ソフトスプレーと組み合わせ…

当社のスクラバー装置は、当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高洗浄力を実現し、薬液の使用量も削減できます。ノズルは、高圧ジェット方式の他、2流体スプレー、1流体スプレー等の方式も選択可能ですし、組み合わせることも可能です。ウエハ洗浄だけでなく、フォトマスクの洗浄でも実績があります。また、DIP処理で問題となるパーティクルの再付着がありませ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

エッチング装置　ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

理想的なノズル配置により技群の面精度を実現、小径孔も確実に洗浄

ソフトエッチング・小径穴洗浄ラインは、理想的なノズル配置により技群の面精度を実現したエッチング装置です。直進性の高いスリットで小径孔を洗浄し、高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施します。板厚50μmのワークも搬送可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○理想的なノズル配置により技群の面精度を実現 ○直進性の高いスリットで小径孔を洗浄 ○高精度エ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインジェット』

低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応！

ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインジェット』は、微細な出力調整ができ1W刻みの安定した出力調整が可能です。多彩な周波数を選択可能（400/1500/3000ｋHz）で、多彩なノズルバリエーション（耐薬品/メタルコンタミネーションフリー）があります。検出機能を強化し、振動子劣化を検出可能です。また、通信機能も強化され、発振器状態の監視、外部設定が可能になります。海外の電圧に標準で対応し、各種規...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プレテック

多目的処理装置（スピンプロセッサー）

洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。【特長】・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。・ＰＶＣボディー素材で酸、溶剤に対応。・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。【仕様】ワークサイズ：Φ8インチ、もしくは200×200までクリーンユニット：ＨＥＰＡフィルター洗浄方式：スピン洗浄＋ブラシ又...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

手動スピン洗浄装置

シンプルデザインの手動スピン洗浄装置

シンプルデザインの多目的応用手動装置 ==================================== ＜仕　様＞ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ6インチ洗　浄…ディスクブラシ、1.1MS標準装備オプション…高圧ジェットノズル、薬液ノズル等電源…AC100v or 200v CDA.…0.5MPA.以上純水…0.2MPA.以上その他恒温水槽内 ...シンプル...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

自動スピン洗浄装置

クリーンユニット搭載の自動スピン洗浄装置

オプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセット式自動装置(写真はスクラブ洗浄+UV洗浄＋ホットプレート) =============================================== ＜仕　様＞ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ搬送…大気3軸クリーンロボットクリーンユニット…ＨＥＰＡフィルター洗浄…ブラシ、MS標準装備オプション…高圧ジェットノ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

精密洗浄用ブラシガン

精密洗浄用ドライクリーニングガン！　パルスエアーとブラシ振動のダブル効…

◆特殊ノズルが回転しながら噴射することにより発生するパルスエアーと、パルスエアーの回転により振動するブラシのダブルの効果で基板を強力に除塵します。 ◆エアーだけでは取りきれなかった小さな穴の削りカスも、パルスとブラシの振動で掻き出します。 ◆ブラシは毛の１本１本まで細かく高速振動するので、力を入れて押しつけなくても汚れを落とします。 ◆バリエーションとして自動ラインに組み込めるユニットタイプ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ガリュー

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社

半導体製造装置　自動石英管洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さ…

ウエハーは製造工程に使用される石英管のクリーン度が、製品の品質に大きく影響します。したがって、拡散工程やCVD工程及びアニール工程で使用される石英管の洗浄は重要なポイントです。ジャパンクリエイト社は長年に及ぶ経験と実績から、御客様のニーズにあった石英管洗浄装置を提供致して居ります。方式は横型式と縦型式と2種類があり、石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい。詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

【高周波】石英振動体型洗浄機　W-357-1MQG-SKC

石英振動体に超音波を重畳させてウェーハやマスクを洗浄する洗浄機。低…

■石英振動体に超音波を重畳させて、半導体ウェーハを洗浄　薬液を半導体ウェーハに浸し、石英ガラスを通じて超音波振動を伝播させることで、接触部の薬液が振動して、その加速度によって表面の汚れを除去します。 ■半導体ウェーハにダメージが少ない、クリーンな洗浄　薬液との接液部に石英を用いることで、パッキン等ゴム材を使用した装置と比べてゴムの溶出や摩耗がなくクリーンな洗浄を実現します。 ■振動子冷...

メーカー・取り扱い企業：本多電子株式会社産業機器事業部

キズがつかない！精密洗浄システム『スノーガンII』※デモ試用可能

廃液処理が不要！超微細ドライアイスパウダーでパーティクル・オイルを徹底…

精密洗浄システム『スノーガンII』は、純度99.99％以上の液化炭酸ガスでノズルから、サブミクロンの超微細ドライアイスパウダーを噴射。対象物にキズをつけず、パーティクル・オイル等の汚れを引きはがします。また、ドライクリーニングのため、洗浄液の洗浄度管理・廃液処理が不要！「ハンドヘルドタイプ」と「電磁弁タイプ」をご用意しています。【アプリケーション例】 ■レンズ・ミ...

メーカー・取り扱い企業：オーテックス株式会社

ドライ洗浄装置アストロジェット1000シリーズ

除去不能だったゴミ等を効果的に除去。無料洗浄テスト実施中！

〜完全ドライ洗浄！基板の洗浄に必要な液体・薬品・廃液管理が必要ありません〜液化炭酸ガスから極小のスノー（ドライアイス粒子）を生成しアシストエアに乗せ被洗浄物へ噴射。今まで除去不能だったゴミ等を効果的に除去します。【特長】 ■完全ドライ洗浄！ウェット洗浄に必要な液体・薬品・廃液管理が必要ありません ■従来の洗浄装置で除去不可能だったゴミ・チリ・バリを完全除去 ■革新的技術に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ディップス・エイチシー

高圧洗浄機　MN-100

高圧洗浄機

高圧洗浄機...部品を温水高圧洗浄！水滴を吹き飛ばし乾燥させる、高圧洗浄機【特徴】 ○ノズルはロボット制御にて自動動作 ○乾燥は、圧縮エアーにより水滴を吹き飛ばし　オプションにて温風発生器も付加が可能 ○半自動タイプで　組立セル方式に最適 ○温水は、備え付けのろ過装置によりろ過され綺麗な温水が循環 ○浮上油もろ過装置内のオイルスキマーにて取去る事が可能 ○設置面積を考...

メーカー・取り扱い企業：コニテク株式会社

枚葉用　チューブ型　高周波超音波洗浄機　メガチューブ

太陽電池、FPD基板、HD基板を精密洗浄

・430ｋHzと950ｋHzに対応した新世代洗浄機。・ＱＵＡＶＡの高機能を継承し、枚葉洗浄に最適。・超音波をのせた洗浄液をチューブ型ノズルより噴射。・自由度の高いチューブ形状ノズルで均一な洗浄が可能。・側面、裏面照射に対応。 ●チューブは先端照射方式、シャワー照射方式、側面照射方式の3タイプから選択可能。 ●チューブ式ノズルのため振動子設置スペースを限定しない装置搭載が容易...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カイジョー ODM事業部

スピン洗浄装置　フルオートスピンナー JASC-150型

現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！

JASC-150型は、現像液温度精度±1℃のフルオートスピンナーです。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応します。高精度のロボット採用により、高スループット化を実現しました。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○現像液温度精度±1℃ ○φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応 ○高精度のロボット採用により、高スループット化実現【仕様】 ○対象ワーク...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　スプレー現像装置 SD-8004型

自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います！

SD-8004型は、4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

SMIF POD（マルチ／シングルタイプ）「SEMI規格準拠」

徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取…

SMIF ポッド(SMIF POD) (マルチ／シングルタイプ)は半導体前工程のリソグラフィー工程でレチクルを保護するために使用されます。【特徴】 ■剛性、耐久性が強化　・金属製の為、従来の樹脂製に比べて、剛性、耐久性が強化されています。 ■低発塵、洗浄しやすいライナーレス設計　・365nm, 248nm, 及び193nmのレチクル使用可能（プラスティックにリン酸添加物の含有無...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコート ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度の...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長・高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減・枚葉化による品質・歩留り向上（クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上）・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

スポットシャワー超音波洗浄機

超音波をのせた洗浄液をノズル先端より噴射

カイジョー社が取扱うスポットシャワー超音波洗浄機のご紹介です...【特徴】 ○ハイメガソニック超音波を特殊反射方式により集中させ洗浄液に伝搬　先端の穴から噴射し、半導体ウェーハやLCDを効率よく洗浄 ○作動周波数　430kHz/950kHz...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カイジョー ODM事業部

手動乾燥機（JID-01型）

剥離洗浄したウェーハを乾燥する装置です

・温風でセットしたワーク全体を乾燥させます。・乾燥ノズルの移動範囲は設定可能です。・ワークは2ブロックセット出来ます。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム

自動リフトオフ装置（メタル・レジスト剥離）Lift-off

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…

物理力と化学力のW（ダブル）効果リフトオフ！ W効果リフトオフとは？・当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェット（MAX20MPa）により、物理力による剥離・溶剤にNMPやDMSOなどの有機溶剤を使用し、化学的な力で剥離また、枚葉による高速処理・高剥離力・高安定性を実現し、さらに薬液の使用量も削減できます。この他にレジスト、ポリマー、マスクの洗浄装置としても使用で...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

手動洗浄機（JIC-01型）

ガラス板にエポキシ接着されたウェーハを洗浄する装置です

・超音波・揺動・ノズル洗浄にてワークのスラリ等汚れを落とします。・ノズルの前後ストロークは、ワーク長に合せて設定可能です。・プログラムは10ステップまで設定可能です。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして均一な高精度のコートができる様技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置 ○チャンバー内の雰囲気をコントロー...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社