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45件 - メーカー・取り扱い企業
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水なし、風だけでパーティクルを徹底除去『エアースクリューノズル』
【もはや革命】水洗浄不要！エアーブローだけでパーティクルを除去します
＜クラス100対応！半導体の洗浄に使用できます＞ 当エアーノズルは特許も取得した独自技術により、従来のエアーノズルと比較してエアーの噴出力がケタ違い。強力なエアーブローにより、半導体に付着したパーティクルを除去します。（クラス100対応） つまり、これまで「1.水洗浄 ⇒ 2.水切り ⇒ 3.乾燥」と3ステップで行っていた洗浄工程が一変。 水を使わず「エアーブロー」だけ、1ステップで完了。 圧...
メーカー・取り扱い企業： ピュアトラスト株式会社
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【半導体対応】100％水切りできる『エアースクリューノズル』
エアーブローでの完全水切りがついに実現！瞬時な100％水切り・完全乾燥…
【とにかく動画が証拠です。必ずご覧ください！】 従来のエアーノズルでは、洗浄後にエアーブローのみで100％水切りすることは不可能であり、完全乾燥させるには別途乾燥工程が必要でした。 それどころか「エアーノズルでは完全な水切りは不可能」というのが製造業の常識にすらなってしまっています。 しかし、当エアーノズルは独自の特許技術により100％水切りを実現。 瞬時に100％水切り・完全乾燥が可能となりまし...
メーカー・取り扱い企業： ピュアトラスト株式会社
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ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…
『TFCシリーズ』は、ウエハー切断（ダイシング）工程で使用される ダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。 ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長 ・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着があり...
メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！
SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」
縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。…
「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした石英管洗浄装置です。 【特徴】 ■石英管の形状・洗浄用途に合わせた装置ラインナップ ・6インチ・８インチ・１２インチ プロセス用の石英管に対応致 ・石英管の形状・洗浄用途に合わせ、横型式(HTC)と縦型式(VTC)の装置を選択可能 ■省スペースで「薬液・純水削減」に貢献 ・縦型...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行
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洗浄装置 ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインスコール』
小型基板から大型液晶板までの枚葉及び平送り洗浄ツールです。
ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインスコール』は、大型液晶ガラス洗浄に最適なバー型高スループットタイプです。洗浄エリアは2210mmまでセレクト可能で、液晶ガラス等の枚葉式洗浄に最適です。バー型、ノズル噴射の洗浄方式で、洗浄液は空中でのノズル噴射式のため、洗浄槽液内での再汚染がありません。微細な出力調整ができ1W刻みの安定した出力調整が可能です。通信機能も強化され、発振器状態の監視、外部設定が...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック
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ブラシ洗浄からの置き換え！枚葉式ウエハ洗浄装置（スクラバー）
実績多数の高圧ジェットを採用したスクラバー。ソフトスプレーと組み合わせ…
当社のスクラバー装置は、当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高洗浄力を実現し、薬液の使用量も削減できます。 ノズルは、高圧ジェット方式の他、2流体スプレー、1流体スプレー等の方式も選択可能ですし、組み合わせることも可能です。 ウエハ洗浄だけでなく、フォトマスクの洗浄でも実績があります。 また、DIP処理で問題となるパーティクルの再付着がありませ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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理想的なノズル配置により技群の面精度を実現、小径孔も確実に洗浄
ソフトエッチング・小径穴洗浄ラインは、理想的なノズル配置により技群の面精度を実現したエッチング装置です。直進性の高いスリットで小径孔を洗浄し、高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施します。板厚50μmのワークも搬送可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○理想的なノズル配置により技群の面精度を実現 ○直進性の高いスリットで小径孔を洗浄 ○高精度エ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム
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洗浄装置 ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインジェット』
低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応！
ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインジェット』は、微細な出力調整ができ1W刻みの安定した出力調整が可能です。多彩な周波数を選択可能（400/1500/3000ｋHz）で、多彩なノズルバリエーション（耐薬品/メタルコンタミネーションフリー）があります。検出機能を強化し、振動子劣化を検出可能です。また、通信機能も強化され、発振器状態の監視、外部設定が可能になります。海外の電圧に標準で対応し、各種規...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック
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洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置
研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。 【特長】 ・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。 ・ＰＶＣボディー素材で酸、溶剤に対応。 ・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。 【仕様】 ワークサイズ：Φ8インチ、もしくは200×200まで クリーンユニット：ＨＥＰＡフィルター 洗浄方式：スピン洗浄＋ブラシ又...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ
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精密洗浄用ドライクリーニングガン！ パルスエアーとブラシ振動のダブル効…
◆特殊ノズルが回転しながら噴射することにより発生するパルスエアーと、パルスエアーの回転により振動するブラシのダブルの効果で基板を強力に除塵します。 ◆エアーだけでは取りきれなかった小さな穴の削りカスも、パルスとブラシの振動で掻き出します。 ◆ブラシは毛の１本１本まで細かく高速振動するので、力を入れて押しつけなくても汚れを落とします。 ◆バリエーションとして自動ラインに組み込めるユニットタイプ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ガリュー
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研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…
通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。 コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で...
メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社
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【デモ機貸し出し可能！】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さ…
ウエハーは製造工程に使用される石英管のクリーン度が、製品の品質に大きく影響します。 したがって、拡散工程やCVD工程及びアニール工程で使用される石英管の洗浄は重要なポイントです。 ジャパンクリエイト社は長年に及ぶ経験と実績から、御客様のニーズにあった石英管洗浄装置を提供致して居ります。 方式は横型式と縦型式と2種類があり、石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい。 詳しくはお問い合...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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石英振動体に超音波を重畳させてウェーハやマスクを洗浄する洗浄機。 低…
■石英振動体に超音波を重畳させて、半導体ウェーハを洗浄 薬液を半導体ウェーハに浸し、石英ガラスを通じて超音波振動を伝播させることで、接触部の薬液が振動して、その加速度によって表面の汚れを除去します。 ■半導体ウェーハにダメージが少ない、クリーンな洗浄 薬液との接液部に石英を用いることで、パッキン等ゴム材を使用した装置と比べてゴムの溶出や摩耗がなくクリーンな洗浄を実現します。 ■振動子冷...
メーカー・取り扱い企業： 本多電子株式会社 産業機器事業部
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PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトッ…
ワイヤーソー (スライス) 後のウェーハ自動剥離装置です。プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、粗洗浄～ウェーハ剥離～ウェーハ枚葉洗浄～乾燥～カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。 剥離は、熱風加熱方式で、1枚ごとに行います。剥離後のウェーハは、枚葉式の洗浄です。2流体高圧洗浄～スクラブ洗浄～リンス洗浄～吸水ローラ乾...
メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社
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電気量・CO2排出量削減！幅広い研磨材の使用が可能なブロワブラスト
『AB-1型』は、エアー源にルーツブロワを使用したブロワブラストです。 空気噴射の制御が容易な直圧方式のため、軽量から重量まで幅広い研磨材の 使用が可能です。 ルーツブロワは、電動式送風機のため、インバーター制御による噴射風速の 設定が自在にできます。 【特長】 ■省エネエアー源 ■対応研磨材 ■風速制御が簡単 ■直圧方式を採用 ■シンプル構造 ※詳しくはPD...
メーカー・取り扱い企業： 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材 販売及び受託加工
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キズがつかない！精密洗浄システム『スノーガンII』※デモ試用可能
廃液処理が不要！超微細ドライアイスパウダーでパーティクル・オイルを徹底…
精密洗浄システム『スノーガンII』は、純度99.99％以上の液化炭酸ガスで ノズルから、サブミクロンの超微細ドライアイスパウダーを噴射。 対象物にキズをつけず、パーティクル・オイル等の汚れを引きはがします。 また、ドライクリーニングのため、洗浄液の洗浄度管理・廃液処理が不要！ 「ハンドヘルドタイプ」と「電磁弁タイプ」をご用意しています。 【アプリケーション例】 ■レンズ・ミ...
メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社
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除去不能だったゴミ等を効果的に除去。無料洗浄テスト実施中！
〜完全ドライ洗浄！基板の洗浄に必要な液体・薬品・廃液管理が必要ありません〜 液化炭酸ガスから極小のスノー（ドライアイス粒子）を生成しアシストエアに乗せ 被洗浄物へ噴射。今まで除去不能だったゴミ等を効果的に除去します。 【特長】 ■完全ドライ洗浄！ウェット洗浄に必要な液体・薬品・廃液管理が必要ありません ■従来の洗浄装置で除去不可能だったゴミ・チリ・バリを完全除去 ■革新的技術に...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディップス・エイチシー
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高圧洗浄機
高圧洗浄機...部品を温水高圧洗浄！ 水滴を吹き飛ばし乾燥させる、高圧洗浄機 【特徴】 ○ノズルはロボット制御にて自動動作 ○乾燥は、圧縮エアーにより水滴を吹き飛ばし オプションにて温風発生器も付加が可能 ○半自動タイプで 組立セル方式に最適 ○温水は、備え付けのろ過装置によりろ過され綺麗な温水が循環 ○浮上油もろ過装置内のオイルスキマーにて取去る事が可能 ○設置面積を考...
メーカー・取り扱い企業： コニテク株式会社
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フォトリソ工程装置内（ノズル、 搬送ローラー、 槽壁等）に固着したレジ…
ドライフィルムレジスト(DFR)現像槽、剥離装置、ソルダーレジスト(SR)現像装置に付着したスカムをスプレイ処理により擦らず、簡単に除去可能なフォトリソ工程洗浄剤です。消泡剤不要であり、溶解許容量まで繰り返し使用する事が可能です。...【特徴】 ・固着したレジストスカムを簡単に除去 ・溶解許容量まで繰り返し使用可能 ・消泡剤不要 【製品】 ND-431：DFR現像槽内洗浄、酸性洗浄剤...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA
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太陽電池、FPD基板、HD基板を精密洗浄
・430ｋHzと950ｋHzに対応した新世代洗浄機。 ・ＱＵＡＶＡの高機能を継承し、枚葉洗浄に最適。 ・超音波をのせた洗浄液をチューブ型ノズルより噴射。 ・自由度の高いチューブ形状ノズルで均一な洗浄が可能。 ・側面、裏面照射に対応。 ●チューブは先端照射方式、シャワー照射方式、側面照射方式の3タイプから選択可能。 ●チューブ式ノズルのため振動子設置スペースを限定しない装置搭載が容易...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社カイジョー ODM事業部
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短時間剥離！手動リフトオフ装置（マニュアル機）Lift-off
短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処…
研究開発用途で活躍するマニュアルリフトオフ装置をご紹介します！ アセトンや専用剥離液で一晩浸漬した後に超音波やスプレーでリフトオフをするような長時間工程を短くできます。 当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高剥離力を実現し、薬液の使用量も削減できます。 さらに、弊社独自の温調膨潤と高圧ジェットの組み合わせで処理時間を24時間→3minに減らした事...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！
JASC-150型は、現像液温度精度±1℃のフルオートスピンナーです。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応します。高精度のロボット採用により、高スループット化を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○現像液温度精度±1℃ ○φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応 ○高精度のロボット採用により、高スループット化実現 【仕様】 ○対象ワーク...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います！
SD-8004型は、4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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職人が磨き出す上質の輝き！エレベータベルトをワイドにして噴射量を2倍に…
『SMAP-IIF型』は、今までのSMAP研磨では少し物足りなかった光沢を、 職人が磨き出す上質の輝きに匹敵できる鏡面ショットマシンです。 エレベータベルトをワイドにして噴射量を2倍にでき、ノズルの 形状を平型から逆V型に変えたことで、メディアを濃く噴射可能。 乾式研磨のため、後洗浄が簡単。弾性研磨材なのでワークの形状変化が 少なく、均一な研磨ができ、熱変化がないので薄物ワークも...
メーカー・取り扱い企業： 東洋研磨材工業株式会社 本社
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カバーガラス一体型タッチパネル（OGS）用レジストコーター
セル方式のOGS量産用スプレーコーター。 ガラスキャリアに化学強化済みのガラス基板（個片）を張り合わせ、複数個取りの状態でOC1などのレジストコーティングを自動で行う量産用装置。 レジスト膜厚２um前後で±5%(個片）のユニフォーミティを実現し、OGS量産プロセスの歩留まり向上に貢献しています。 ガラス基板（キャリア）サイズ 550 X 650 (mm）まで対応した全自動スプレーシステム。基板...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社
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簡易な槽内洗浄が可能！装置内の数か所に基板蛇行修正機構を取り入れていま…
『ITOガラスエッチング剥離装置』は、ガラス基材表面のITO（透明導電性膜）を エッチングする製品です。 駆動部の簡易洗浄ノズル管により、駆動ギアの結晶防止機能を持たせており、 薬液槽内にも洗浄スプレーを設けることで簡易な槽内洗浄が可能。 メンテナンス性が向上します。 また、装置内の数か所に基板蛇行修正機構を取...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーア電子
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半自動リフトオフ装置（セミオートリフトオフ機）Lift-off
自動機よりも安く、マニュアル装置より使いやすいセミオートタイプのリフト…
ウェハ（基板）をセットするだけで自動で搬送・リフトオフ・リンスを行う装置です。 リフトオフはASAP特殊ノズルによる高圧ジェットによりバリも除去し、メタル剥離を行います。 カセット（キャリア）でセットをすることはできませんが、マニュアルと違いウェハ1枚1枚を自動搬送するので、偏心や位置ズレの心配がありません！ ドライイン・ドライアウトで処理に関して作業者に薬液の付着の心配がありま...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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SMIF POD（マルチ／シングルタイプ）「SEMI規格準拠」
徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取…
SMIF ポッド(SMIF POD) (マルチ／シングルタイプ)は半導体前工程のリソグラフィー工程でレチクルを保護するために使用されます。 【特徴】 ■剛性、耐久性が強化 ・金属製の為、従来の樹脂製に比べて、剛性、耐久性が強化されています。 ■低発塵、洗浄しやすいライナーレス設計 ・365nm, 248nm, 及び193nmのレチクル使用可能（プラスティックにリン酸添加物の含有無...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行
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【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…
高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコート ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度の...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…
試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ） ・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...
メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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超音波をのせた洗浄液をノズル先端より噴射
カイジョー社が取扱う スポットシャワー超音波洗浄機のご紹介です...【特徴】 ○ハイメガソニック超音波を特殊反射方式により集中させ洗浄液に伝搬 先端の穴から噴射し、半導体ウェーハやLCDを効率よく洗浄 ○作動周波数 430kHz/950kHz...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社カイジョー ODM事業部
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剥離洗浄したウェーハを乾燥する装置です
・温風でセットしたワーク全体を乾燥させます。 ・乾燥ノズルの移動範囲は設定可能です。 ・ワークは2ブロックセット出来ます。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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高温ワークを非接触にて移載するベルヌーイチャック
本製品は使用環境温度、化学的仕様に応じた製品を製作しております。超高温域て使用する石英ガラスは、高純度で熱・酸に強く機械的強度が高い等、数多くの特質を持っています。 半導体製造工程における洗浄槽、酸化拡散炉、エッチング装置、ＣＶＤ装置等におけるウエハの非接触にて搬送、ガラスモウルディングレンズの非接触搬送が可能になりました。 その他、アルミニュウム、SUS、PEEK他、使用環境に合わせて製...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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商社が扱う幅広い分野での省エネ環境・安全システム エンジニアリング！ …
8.バグフィルター、 パルスジェットエアーの改善 【水】 1.エアコン室外機に水打ちによる 電力量削減 2.ポンプの電力量削減 3.配管内のスケール除去による改善 4.省エネ洗浄ノズルによる 水使用量削減 【油】 1.油圧ユニットの高効率化 2.工業用オイルの高精度濾過による メンテナンス費削減 【照明】 1.水銀灯照明の省エネ 2.蛍光灯照明の省エネ...
メーカー・取り扱い企業： 共和工機株式会社
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試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用…
通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発や、少量生産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。 手狭なスペースでも設置可能なコンパクト設計（従来機から約40％コンパクト化） レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用するこ...
メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社
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２液ディスペンサー（２液樹脂自動計量混合吐出装置）MAKシリーズ
本装置でウレタン、エポキシ、シリコーン等の２液樹脂の真空脱泡、温調、自…
本装置でウレタン、エポキシ、シリコーン等の２液樹脂の真空脱泡、温調、計量・混合・定量吐出が可能です。 従来の溶剤での洗浄が必要ない弊社独自の「無洗浄式使い捨てパワーミキサーＷＬ−５０１型」は、 メンテナンスが非常に簡単で、健康や環境に優しいミキサーです。 吐出ノズルやワークにロボットを装備し、様々な安全装置を設けた自動装置により更なる生産性の向上にお役立ていただけます。 いずれの設備も樹脂...
メーカー・取り扱い企業： エムアンドケー株式会社 本社・工場
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生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現…
自動酸・アルカリ洗浄装置。 対応ワークサイズ φ2～12インチ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください。 2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温することが可能。 【その他特長】 ■ブラシ洗浄機能付き装置の製作が可能。 ■フォトマスク洗浄装置の製作が可能。 ■薬液供給、回収ユニットの装置本体組込みが可能。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン
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高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…
物理力と化学力のW（ダブル）効果リフトオフ！ W効果リフトオフとは？ ・当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェット（MAX20MPa）により、物理力による剥離 ・溶剤にNMPやDMSOなどの有機溶剤を使用し、化学的な力で剥離 また、枚葉による高速処理・高剥離力・高安定性を実現し、さらに薬液の使用量も削減できます。 この他にレジスト、ポリマー、 マスクの洗浄装置としても使用で...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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ガラス板にエポキシ接着されたウェーハを洗浄する装置です
・超音波・揺動・ノズル洗浄にてワークのスラリ等汚れを落とします。 ・ノズルの前後ストロークは、ワーク長に合せて設定可能です。 ・プログラムは10ステップまで設定可能です。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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スピン洗浄装置 高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A
均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！
高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして均一な高精度のコートができる様技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置 ○チャンバー内の雰囲気をコントロー...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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