COC ステンレスベアリングユニット ひしフランジ型

PRIP69K 防水・防塵　ベアリング内部に水が入らない

・IP69K　防水・防塵 ・頻度の高い高圧洗浄に耐える設計 ・食品ライン用に開発された新設計 ・シャフトに傷をつけいないオクロックシステム搭載 ・バクテリアの発生を防止するハウジング設計（スタンドオフ） ・取付面より12ｍｍのクリアランスを設けたSUS316ハウジング ・無給油（メンテナンスフリー）グリスアップ不要 ・NSF認証　H1グリス使用 ・ハウジングにQRコードを刻印　トレ...

メーカー・取り扱い企業： UEK株式会社

事例紹介（切削粉除去）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

太陽電池用シリコン基板の切削粉除去の洗浄データ公開中　超音速噴射ノズル…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

低温レジスト剥離装置『AURORA（オーロラ）』

薬液洗浄工程をなくすことでウエットベンチの設置面積を削減可能！

『AURORA（オーロラ）』は、イオン注入後のレジスト剥離が出来る 低温レジスト剥離装置です。 プラズマ処理とオゾン水処理を組み合わせることで残渣なしで剥離できるほか、 下地膜（Si、SiO2など）を膜べりなしでの剥離にも対応します。 また、硫酸過水、アンモニア過水等の薬液洗浄工程をなくすことで、 ランニングコストおよび工程数を削除可能。 速い除去レート(2～4μm/min)に...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」

超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄！ランニングコ…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

事例紹介（ビアホール洗浄）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

ビアホールの洗浄比較資料公開中　超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

事例紹介（白金残渣洗浄）蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」

半導体工程での処理例を紹介！　超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

事例紹介（接触角測定）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

ガラス表面の接触角測定の洗浄データ公開中　超音速噴射ノズルから蒸気と液…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

事例紹介（レジスト膜浸透）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

水のレジスト膜への浸透処理を公開中　超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

水蒸気2流体洗浄と超音波・高圧洗浄の異物除去率の比較公開中

超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄する水蒸気2流…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社