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フォトマスク洗浄装置 | 縦型コンパクトタイプ TWE-200
PRスクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れ…
スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実行 テクノビジョンのフォトマスク洗浄装置は、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナーです。 弊社では多様なお客様からのご要望にお応えするため、スモールサイズからラージサイズまでの幅広いフォトマスクに対応した洗浄装置、TWE-200、TW-300、TW-700、TW-1000 をご提供しています...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノビジョン 本社
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PR超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄!ランニングコ…
蒸気2流体洗浄ユニットは超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。 【特長】 ■ブラシ等の消耗品がなく、ランニングコストを大幅に低減 ■使用するのは「純水」のみ...
メーカー・取り扱い企業: HUGパワー株式会社
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エア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込…
『KPWシリーズ』は、高圧ポンプに基本的に必要となる周辺機器をセットにして、専用量産装置以外の用途で利用しやすいように整えたユニットです。 エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離等に用います。 【特長】 ■小型な組込用ポンプユ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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運転中に外部負荷が締切状態になってもリリーフ弁の作動による内部循環が可…
『PU201A』は、工場の純水供給ラインの圧力が不足している場合や、建物で階上への供給で圧力が不足する場合に使用する昇圧ユニットです。 運転中に外部負荷が締切状態になってもリリーフ弁の作動による内部循環が可能です。 【特長】 ■水圧の低い純水を昇圧して装置に供給 ■外部締切運転時リリーフ弁により内部循環自動切換え ■循環水温度上昇検知(作動温度 50℃) ※製品の詳細は、下記の...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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各種洗浄装置、スピンドルモータ冷却、バリ除去などに
『UPPU-10LR』は、工場の超純水供給ラインの圧力が不足している場合に使用する昇圧ユニットです。 昇圧はエア駆動ベローズポンプにより行い、圧力を調整するためのエアレギュレータや吐出圧力モニターを有します。 【特長】 ■水圧の低い純水を昇圧して装置に供給 ■エア駆動ベローズポンプを使用した超純水用のモデル ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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ポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小!研磨ウエハ洗浄に好適
KPM-5030はポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小した高圧ポンプユニットです。インバータ内蔵により流量特性を可変でき、外部信号により運転、停止ができます。半導体業界をターゲットとし研磨ウエハの洗浄に適しています。 【特長】 ◆設置面積が小さくコンパクト設計 ◆ポンプの選定により本仕様以外の流量、圧力に対応可能 ※ご要望に応じたカスタマイズが可能です。半導体産業のみならず洗...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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各種洗浄装置、スピンドルモータ冷却、バリ除去などに
『PU300A』は、工場の純水供給ラインの圧力が不足している場合や、建物で階上への供給で圧力が不足する場合に使用する昇圧ユニットです。 運転中に外部負荷が締切状態になってもリリーフ弁の作動による内部循環が可能です。 【特長】 ■水圧の低い純水を昇圧して装置に供給 ■外部締切運転時リリーフ弁により内部循環自動切換え ■循環水温度上昇検知(作動温度 50℃) ※製品の詳細は、下記の...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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各種洗浄装置、スピンドルモータ冷却、バリ除去などに
『UPPU-10LR』は、工場の超純水供給ラインの圧力が不足している場合に使用する昇圧ユニットです。 昇圧はエア駆動ベローズポンプにより行い、圧力を調整するためのエアレギュレータや吐出圧力モニターを有します。 【特長】 ■水圧の低い純水を昇圧して装置に供給 ■エア駆動ベローズポンプを使用した超純水用のモデル ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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高圧ポンプユニット KPWシリーズ(組込用)
エア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装…
株式会社テクノメイト -
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コンパクトサイズで軽量にも関わらずスーパーエンプラまで成形でき…
エプソンテックフオルム株式会社