油圧カップリング

PR環境対応型

これらのシリーズは、ISO16028、もしくはISO16028準拠で、脱着時の油漏れが無いノンスピルタイプで、環境対応型です。世界共通のISO規格ですので、海外でも使用可能です。特に、APM(M)シリーズは、残圧300barまで脱着が可能で、サイズは3/8(APM9)から1-1/2(APM30)まであり、ネジ形状はBSP、NPTで、流量は60〜600L/min程度(圧損4bar時)で、最高圧力は2...

メーカー・取り扱い企業： TOHTO株式会社 本社

強力波動エアー噴射ノズル「パタガン SPG／PGOシリーズ」

PR【展示会出展】広範囲を強力エアーブロー。水切り・油切り・除塵が効率的。…

『パタガン SPGシリーズ／PGOシリーズ』は、水切り乾燥・除塵などのエアーブロー作業の効率化を実現する“波動ノズル”を搭載したエアーガンです。 断続的な衝撃波を広範囲に及ぼすことで作業時間の短縮が可能になり、エアー消費量も節約できるため省エネ・省力化に貢献します。 コンプレッサーエアー用の「PGO-91型/91G型」をはじめ、広範囲の処理に適した「SPG-40型/40G型」、狭い範囲の処理に適...

メーカー・取り扱い企業： 大浩研熱株式会社

マクミラン　超高純度用　薬液流量センサ　Ｍodel　Ｕ７０９

モデルＵ７０９は腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０００ｍＬ／…

モデルＵ７０９シリーズは、腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜１０００ｍＬ／ｍｉｎの流量まで５種類の測定レンジによりにカバーする流量センサです。 間欠運転または、連続運転の液体を精度良く測定できる流量センサです。ポンプ吐出時間５００ｍｓｅｃ、吐出量１ｍ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

マクミラン　薬液用流量センサ　Ｍｏｄｅｌ　１０６シリーズ

１５ｍＬ～１０Ｌ/ｍｉｎまで精度良く計測出来る流量センサです。 ＰＴ…

モデル１０６は低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。 ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

微流量調整バルブ（微流量調整弁） 『MBVシリーズ』

1つのバルブでオン/オフ と微流量制御を行うことができます。 2 i…

微流量調整バルブ（微流量調整弁） 『MBVシリーズ』は、流量調整バルブ（H-1300シリーズ）とボールバルブ（H-800シリーズ）を１つにまとめた、今までにない画期的なバルブです。 １つのバルブで流体の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

マクミラン　小型薬液流量コントローラ　Ｕ８０３／Ｕ８０４

Ｕ８０３／Ｕ８０４シリーズは低粘度の液体用微小流量コントローラです。最…

Ｕ８０３／Ｕ８０４シリーズは低粘度の液体用微小流量コントローラです。最小レンジは７〜５０ｍＬ／ｍｉｎから最大レンジは１００〜１０００ｍＬ／ｍｉｎまで５種類用意されています。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）と比例制御バルブの組み合わせによ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

マクミラン　マスフローセンサ　Ｍｏｄｅｌ　５０シリーズ

０～２０　ｓｃｃｍ/ｍｉｎの微小から０～５００ｓｌｍ/ｍｉｎの大流量レ…

マクミラン社のマスフローメータ５０シリーズは、クリーンでドライな気体を０～２０ｓｃｃｍ/ｍｉｎのような小さい流量から０～５００ｓＬｍ/ｍｉｎのような大きな流量まで、計測精度±１．５％ＦＳで１４種類の計測レンジでカバーしています。流量検知センサは、サーマルマスフローセンサ（特許）を採用する事により最小のゼロドリ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

精密流量コントロールバルブ

酸、有機系薬液などの定量吐出管理用の液体フローコントローラーです。高精…

流路部品は全てテフロン樹脂製ですので幅広い耐薬液性を有しています。用途により、流量計タイプをカルマン渦流量計と超音波流量計の2種類よりご選択頂けます。また、液体流量コントローラー単体でも販売しております（商品名：AutoValve）。 詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫

ガス加熱用高効率ヒータ『WEXシリーズ』

小型・軽量で高効率！熱電対、サーモスタットを標準装備し、IN/OUTの…

ワッティーが提供する『WEXシリーズ』は、継手や配管など接ガス部は オールステンレス(SUS316L)製のガス加熱用高効率ヒータです。 サイズ別に適した仕様を実現し、最小流量10L/min～最大流量100L/min、 最高使用温度300℃まで可能な製品をラインアップ。 温度制御、過昇温防止への配慮も標準装備しており、結線も簡単です。 標準継手はUJR 1/4 ...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

半導体製造用ウルトラフローSC クイック・カップリング

半導体製造工程で使用される液冷システムに特化し開発されたステンレス・ス…

設計されたステンレス・スチール製です。フラット・フェースデザインのため付け外しの際に液だれがなく、クリーン環境汚濁防止、高い地球温暖化係数を持つ液体冷媒の漏出防止に有効です。また、低圧力損失かつ高い流量特性により、システム全体のエネルギー効率向上にも貢献します。...

メーカー・取り扱い企業： セインジャパン　株式会社

水量コントローラー「FCV」

流量センサとバルブの機能を一体化させ、冷却水等の水量をマイコンにより自…

■ マイコン制御による流体流量のコントロール。流量設定値に合わせて、バルブ開度を自動調節。 ■ ＬＣＤ/ＬＥＤ表示機能により、流量/設定値/制御状態を確認できる。 ■ 流量に対する警報設定が可能。 ■ 全閉入力により、バル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

テフロン製ベローズポンプ

使用温度、薬液、流用に応じ様々なアプリケーションに適したポンプを提供致…

00%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの特長を活かして、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用されております。 使用温度、薬液、流量に応じてお客様のアプリケーションに適したポンプを提供致します。 ◆使用材質：PTFE、PFA、Polypropylone（非接触部分） ◆最高使用薬液温度：210℃、高温薬液での高流量出力...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫

パーカーハネフィン　油水分離装置 (油水分離器)

【デモ機貸与可能！】浮上油分離から液中分離まで油水分離のお悩みを効果…

の加工後の付着した油を洗浄する洗浄機に多用され、半導体、燃料電池等の精密洗浄にも対応し、水や溶剤洗浄に適した製品です。 ダイヤフラムポンプや電動ポンプを使用して、洗浄機タンク内の油混入した洗浄液を高流量で吸い上げ、装置内の分離版やフィルターにて、油と洗浄液を分離させます。主に自動車部品の分野で多く使用されています。　 【特長】 ■　既存工場設備への取り付けが容易 ■　排水処理設備の油分処理の負荷...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シー・エス・シー 本社、大阪支店、福岡出張所

液体・ガス燃料溶射システム『Met-PCC(HVOF)』

コンパクトで操作も簡単！高い密着力と気孔率の低い皮膜を実現します

ーフェースはグラフィカルユーザー インターフェイス（GUI)を利用しており、オプションとして動画を画面に 取り込むことが可能。 標準の装置はガスと液体に関して、皮膜に適した連続性の為に質量流量で すべて制御されており、すべての溶射パラメーターで装置のリアルタイムの 動向を見ることができます。 【特長】 ■質量流量制御＝高い繰り返し精度 ■使いやすい直感的な操作者インターフェ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

レーザークラッド加工装置『MED-CLAD』

純度の高い皮膜で、金属部材の耐食・耐摩耗・耐衝撃性能を高めます！

ローン型の製品で、レーザークラッドの皮膜を 施すのに使われるレーザークラッド加工装置です。 制御盤ボックスは、繰り返しのきくクラッディング用にレーザーシールドガスと パウダー送りガスの質量流量制御を提供。 クラッディングの工程のすべては、タッチスクリーンのパネルを通して制御され、 操作者とのインターフェイスはwindowsのインターフェイスで操作されます。 【特長】 ■低...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H

Better Pumps for Better Yields !

れます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 電子的にロータ回転数を制御するので、流体圧力と流量は精密に制御され脈動もありません。 このポンプには、２種類の基本システムがあります。 単独運転型は、コントローラに手動で速度を設定する操作パネルが組み込まれ、アナログ信号で速度を設定するPL...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

ニードルバルブ（グローブバルブ）『H-300Uシリーズ』

コンパクトで低操作トルクの高圧対応、PTFEパッキン採用のボンネット一…

H-300Uシリーズは、計装用パネルのシャットオフサービスに適した高圧計装用ニードルバルブ（グローブバルブ）で、4種類のステム形状で様々な流量調整を可能にします。 ＜特長＞ ・最高使用圧力5000psi（340 bar）、最高使用温度230℃ ・ストレート型およびアングル型対応 ・コンパクト設計で省スペース、低コストを実現 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

半導体プロセスガス用　インラインフィルター

短納期対応可能！高純度ガス用インラインガスフィルター！

00% Heリーク試験済（1.0×10^-9 atm・cc /sec） ・100% パーティクル試験済（0.0025μｍ以上が未検出） ・クラス100クリーンルームにて製造・試験・梱包 ・広い流量範囲（15～9,000SPLM）から選択可能 ・メタルフェイスシール（MFS）継手、ダブルフェルールチューブ継手 現在、他社製品をお使いのお客様は、用途または、他社品番をお知らせいただければ...

メーカー・取り扱い企業： バリューインパクト有限会社

米国mott社製フローリストリクターシリーズ (高純度向け)

多孔質金属技術を用いた流量制御器 (高純度向け)。

流量条件が比較的一定に維持されるマスフローコントローラー、ニードルバル ブ、およびその他の流量制御装置の費用対効果の高い製品。 流量を調整するニードルバルブやオリフィスに比べ、ガスの乱流を起こすことなく流量を制御します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクメイション

第17回"超"モノづくり部品大賞「機械・ロボット部品賞」を受賞！

17年連続受賞！半導体製造プロセス用に新しく開発したダイヤフラムバルブ…

、モノづくり日本会議様と日刊工業新聞社様が実施されている、 「産業・社会の発展に貢献する部品・部材を対象に選出している」賞です。 2020年 第17回の"超"モノづくり部品大賞では、「高精度流量バルブ」が 「機械・ロボット部品賞」を受賞いたしました。 「高精度流量バルブ」は半導体製造プロセス用に当社が新しく開発した ダイヤフラムバルブで、設置面積の大幅カットを実現できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

ーター　400W ○回転数 →メガソニック時：0～500rpm →スプレー洗浄時：0～500rpm →2流体ノズル洗浄時：0～500rpm →スピン乾燥時：MAX 3000rpm ○純水流量：1～4L/分　0,2Mpa ○N2流量：150～200L/分　0,2Mpa ○排気：VP-75A　5m³/分 ○電源：φ3　AC-200V　20A ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

樹脂(PEEK、PTFE)製 無脈動定量ポンプ及び安全弁

無脈動定量ポンプと安全弁がメタルフリーに！ 金属と反応したり腐食させ…

った非常に高強度な樹脂材）で構成する事で、金属イオンを嫌う液体や、強酸・強アルカリ等腐食性の高い液体の移送システムに組み入れ可能となりました。高強度な為、金属製と比べても遜色ない性能（定量ポンプ　■流量偏差／±0.1% ※清水・5R.P.M.以上・1MPa時　■耐圧／8MPa ※PEEK仕様）を実現しています。...

メーカー・取り扱い企業： 富士テクノ工業株式会社

インライン　フッ素樹脂製超純水ヒーター

不純物の溶出やパーティクル発生のないフッ素樹脂製超純水ヒーター

ＰＥＲ　ＰＦＡなので全く問題なし。設備のレイアウトの自由度が広がります。 ●発熱体寿命１０年以上 　ヒーターはメンテナンスの必要がないよう、劣化や故障の生じない低い温度条件になっています。 ●流量変動に強い 　純水の流量が急変したり止まっても大丈夫。素材はヒートショックに強いフッ素樹脂です。過熱状態を緩和する構造になっています。電気的な過熱保護を設けています。 ●高い耐圧性能 　純水ラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セラ

米国mott社製フローリストリクターシリーズ (一般工業向け)

多孔質金属技術を用いた流量制御器 (一般工業向け)。

流量条件が比較的一定な環境下でニードルバルブ調整やオリフィスを使うことなく流量を制御します。接続継手の形状はご使用環境に合わせ多種ラインナップ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクメイション

フッ素樹脂ニードルバルブ

フッ素樹脂ニードルバルブ

フッ素樹脂製のバルブです。 流量調整のできるバルブで、液体の流出方向にストレートタイプとＬタイプの２種類あります。 また、細管用のＰＣＴＦＥ製のミニタイプもあります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユニバーサル

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

◉ 装置運転・レシピ管理などの全てを7"タッチパネルで一元管理。 ◉ ユーザの登録したフィルムレシピ、プロセス制御（真空引/ベント、成膜時間、出力/時間、MFC流量圧力自動制御、カソード切替、シャッター開閉、加熱・昇降回転調整など）を全自動運転（手動も可能）〜Windows PCでデータロギングができます。 【主な仕様】 ・RF/DCマグネトロン方式 ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【国産】ペン型大気圧プラズマ装置

表面改質・洗浄・親水処理・接着強化に優れた低温電荷ダメージ無し！ペン型…

小企業優秀技術賞』を受賞。 社内の技術者が様々なニーズに対応いたします。 本製品は微細な加工やラボ用途に最適な仕様で提供させて頂いております。 【オプション対応致します】 ◇窒素流量調整　　◇POWERコントロール ◇プラズマ噴出口の径（0.5mm～） ◇1軸、2軸、3軸ロボット ◇ディップ　スプレー　ロールコーターとの組合せ ◇風防ボックス、無塵ボックス、局所排気など...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

コガネイ　高粘度定量吐出ポンプ

コガネイ　高粘度定量吐出ポンプ

均一な薄膜塗布が要求される液晶、ＰＤＰ、有機ＥＬ等の基板用スリットコーターに対応する電動ポンプ。高粘度吐出、高信頼のＣＴポンプ構造をさらに進化させて定流量性制御も可能になりました。高粘度については１０，０００cp以上実績があります。最大吐出量：３０ml、６０ml、１００ml、２００ml、３００mlと、お客様の基板サイズ及び使用用途に合せたポンプサイズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コガネイ

RP3500SA　N2パージシステムスタンドアロン

RP3500SA　N2パージシステムスタンドアロン

FOUPの種類によらず、全てのFOUPに対応 ○FOUPドアが開いた状態でドア側からガスを封入 　フロントパージ方式を採用（最大200LPM噴射） ○多量のガスを一挙に流し、置換時間及びガス総流量を大幅に改善 ○SEMI規格に基本的に準じている ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライト製作所 本社

米国mott社製バルクガスフィルターBGFシリーズ

大流量ながら高いパーティクル除去性能を発揮

mott社の長年のフィルター技術・経験を活かし、大流量ながら高性能な製品を提供...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクメイション

CASY（カスタマー アッセンブリー システム）

CASY（カスタマー アッセンブリー システム）

アプリケーション概要、流体、温度、圧力、流量などの条件および簡単なフロー図を教えて頂ければCASY図面を作成し必要な部品での取り付けにて供給が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロー・ジョイント

ＡＬＤプロセス用高速高耐久バルブ『TDFシリーズ』

高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど…

ルブです。 アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し、最高220℃までの 高温流体に使用可能。 工場出荷時に全数Cv値を調整しており、使用時のCv値変動率が少なく 安定したガス流量が得られます。 【特長】 ■高速開閉・高い応答安定性　＃高速応答 ■高温流体に対応 ■安定したCv値 ■高耐久 ■高純度ガス対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー