キャンドポンプ【液漏れしない構造、アンモニア(NH3)等に好適】

PRアンモニア混焼発電、タービン&エンジンの燃料移送用途、アンモニ…

外部漏れの無いキャンドモータポンプが、脱炭素関連の設備で活躍します。 【主な特長】 ◆既存発電所へのアンモニア混焼 ◆アンモニアを燃料とするタービン発電や船舶用エンジンの燃料用ポンプ ◆アンモニアサプライチェーン（貯槽、輸送関連） ◆CCS、CCUS(二酸化炭素回収・貯留技術）に関係する、多種・多様なニーズに対応 幅広い、流量や全揚程をカバーし、各種法規対応も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社帝国電機製作所

『環境試験(蒸気試験)受託サービス』

PRお客様のニーズに合わせた蒸環境試験(蒸気試験)受託サービスを実施してい…

株式会社ケイヒンでは、環境試験設備(蒸気暴露)の請負・設備貸出など、環境試験受託サービスを実施しています。 各種供試体(機械や装置部品)の性能試験や信頼性・耐久・LOCA試験にご使用いただけます。また、お客様ご希望の試験配管ラインや試験用のユニットなどの設計もご希望により承ります。 ■特徴 -----------------------------------------------...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケイヒン

連続式スラリー供給装置　P85

特許取得の調合方法で当社従来比15％以上のコストダウンを実現！燃料電池…

『連続式スラリー供給装置　P85』は、半導体のウエハー研磨工程で加工時に塗布されるスラリーを供給する装置です。 冷凍機とヒーターの低容量化で、装置容積は当社従来比61％低減して供給流量も増大。 また、原液補給から供給可能までの所要時間を当社従来比で52分⇒22分に大幅短縮しました。 【特長】 ■当社独自の調合方式でスラリーと純水を調合＜特許取得済＞ →ポンプが不要と...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で多種多用なガスに使用可能な集積化ガスシステム…

術を取り入れ高温環境下で使用が可能な 集積化ガスシステム対応のダイヤフラムバルブです。 バルブ全体を最高200℃までの高温環境で使用できることにより 効率の良いヒーティングが可能。 流量の再現性が求められる原子層堆積（ALD）プロセスのプリカーサ （前駆体）供給に適しています。 【特長】 ■高温環境に対応 ■安定したCv値 ■PFAシートの採用 ■多種多用なガスに使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

【集積/コンパクト化　マニホールドバルブ】 【薬液/純水配管用】

普通のバルブメーカーではありません！フィルターやセンサーなどを組合せた…

ロセスの生産性アップに大幅に貢献できます。 半導体/化学/医薬業界など高純度薬液や純水を使用する業界で長年の実績がございます。 【ゲミュー社カスタマイズバルブの特徴】 ■　フィルター、流量/温度/圧力センサーや逆止弁などを組合わせてユニット化することが可能 ■　CMPスラリーなど粘性が高く複雑な組成の流体に適した流路で設計が可能 ■　プロセスに合わせてPTFE,PVDF,PP,P...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

卓上真空プラズマ装置YHS-G(ガス導入タイプ)

空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズ…

親水性の向上・有機物の除去などプラズマの持つ高い反応性を利用し、これらの悩みを解決！ 本機種は酸素や窒素・アルゴン・ヘリウムなど様々なガスを導入する事できます。またフロントパネルでパワー調整・ガス流量系・圧力計が設置されており様々な条件で照射が可能です♪ チャンバーサイズはφ250mm×高さ150mm。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

ペン型大気圧プラズマ装置P500-SM

【国産】超小型、微細な加工やラボ用途に適した、ペン型タイプの大気圧プラ…

【オプション対応致します】 設計から製造まで弊社の技術者により製品を作っております。 お客様からの様々な要望に専任の担当者が親身に対応させていただいております。 ◇窒素流量調整　　◇POWERコントロール ◇プラズマ噴出口の径（0.5mm～） ◇1軸、2軸、3軸ロボット ◇ディップ　スプレー　ロールコーターとの組合せ ◇風防ボックス、無塵ボックス、局所排気など...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

パウダーフレーム溶射装置『MK74 / MK74-PC』

溶射・フューズ皮膜に好適！ある種のプラスチックも溶射でき経済的に皮膜が…

膜を濃密にするため、 セラミックを溶射する時非常に高いデポジット能率を実施。 また、自溶合金とその他の金属パウダ－と同じくセラミック皮膜を溶射する ことができ、オプションのマスフロー（質量流量）制御パウダー供給機 （MK74-PCには標準装備）により、キャリアガスのマスフロー制御、 パウダーの安定供給も可能にしています。 【特長】 ■デポジット能率が高い ■濃密な皮膜が作成...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

イットリアコーティング装置（ＡＦ－ＩＰ装置）

耐プラズマ性に優れたイットリア（Ｙ２Ｏ３）膜をＰＶＤ法で形成。 新開…

電子ビームによる各種材料の蒸発とアークフィラメント式イオン化法により安定して反応膜生成膜（窒化膜・酸化膜・炭化膜）を形成。 成膜レートも反応ガス流量のみで制御。シンプルで信頼性の高いハードにより最新の成膜プロセスを提供 充実の成膜プロセス ・耐プラズマ性イットリア膜（１０μｍ） ・耐酸化性硬質膜ＳｉＣ（７μｍ） その他従来型硬質膜　...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

米国mott社製インラインガスフィルターDefenderシリーズ

mott社独自技術によるファイバーエレメントを使用した低圧損フィルター

大流量対応ながら、ろ過精度を低下させることなく、従来品の1/3の大きさを実現。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクメイション

米国mott社製インラインガスフィルターPOUシリーズ

半導体産業や各種ハイテク産業向け高性能インラインフィルター

ご使用のガス種・使用流量に合わせた製品を多数ラインナップ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクメイション

【高周波】石英振動体型洗浄機　W-357-1MQG-SKC

石英振動体に超音波を重畳させてウェーハやマスクを洗浄する洗浄機。 低…

力】AC100V～240V　単相 50/60Hz 300VA 【外形寸法 WxDxHmm】180×250×100　（突起部は除く、ゴム足を含む） 【質 量】2.2kg ■振動体ノズル 【流量】指定なし 【全長】159mm 【チャック部寸法】φ24mm 【照射面積】24㎠ 【質量】600g...

メーカー・取り扱い企業： 本多電子株式会社 産業機器事業部

『事例』　高温・ALDプロセスで使用可能なバルブ ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』バルブ全体を最高200℃ の高温環境で使用できる…

・優れた耐熱性・耐食性・耐久性を有したバルブです。 ・使用時のCv値変動率が少なく 安定した再現性のあるガス流量のため、蒸気圧が低い材料を使用できます。 ・耐熱性のあるバルブハンドルのため、ハンドルを付けたまま恒温槽を使用できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

純水装置（純水製造装置）RO＋EDI仕様

RO＋EDIをフルパッケージ！ 環境に優しい純水装置（純水製造装置）

純水（抵抗率＞10MΩ・cm）を連続製造ができます。 ・原水シリカ濃度に応じた二機種を準備。いずれもケミカルフリーの為、 　煩わしい薬品補充が不要です。 ・ROポンプはインバーターによる最適な流量制御。消費電力を大幅に 　削減できます。 ・基本操作はタッチパネル上で簡単にできます。 ・CFカードに３～６ケ月分の運転データを保存可能です。カードは 　CSV形式なのでグラフソフトに直ちに...

メーカー・取り扱い企業： 日東機器ファインテック株式会社

純水装置（純水製造装置）パッケージ型イオン交換樹脂ボンベ

純水が必要な場所で簡単に！

【用途】 ・イオン交換処理 ・超純水製造 ・実験水、研究室などでの純水、超純水製造 ・軟水製造 ・酸化剤除去・有機物除去 【仕様】 ・流量：300～1000L/h ・採水量：約3,500L（TDS100mg/L） ・使用圧力：＜0.5MPa ・外形寸法：W420×D300×H1380 ・原水：水道水　※処理水質、採水量は原水に...

メーカー・取り扱い企業： 日東機器ファインテック株式会社

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i100

Compact & Resonable for Highend Pro…

回路により精密に制御されますので脈動がありません。 脈動の無いバルブレス構造ですので、インラインの昇圧が可能です。 制御システムはPI機能を有しており、各種センサー類を用いて、クローズドループの流量或は圧力一定制御をより簡単に構築できます。...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

3ピースボールバルブ（ボール弁）『H-500シリーズ』

ステンレス316製、バリエーション豊富な高性能3ピースボールバルブH-…

ルに適した3ピースボールバルブ（ボール弁）です。3ピースボールバルブの特徴を活かしたメンテナンス性と簡易ロック機構付ハンドルにより高信頼性を求められる用途でのご使用が可能。このシリーズのバルブは、高流量用の大きなポートをもち、タイトなシャットオフ、長い耐用年数、低操作トルクを提供します。また、正逆両方向の流れ方向での使用が可能です。 ご希望により空圧／電動アクチュエーターの取り付けが可能。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

計装、一般配管用プラグバルブ　『PLVシリーズ』

ステンレス316製、高性能コンパクトワンピースプラグバルブPLVシリー…

計 ・接液部はPTFEコーティングされており高信頼性を実現 ・O リングはFKM（標準）、ブナN、EPDM、ポリクロロプレンから選択可能で様々な用途での使用が可能 ・スロットル機能付で簡易的な流量調整も可能 ・オプションで下流ベント機能も追加可能 ・簡単にO リングやプラグの交換ができ、お客様ご自身でメンテナンス対応可能 耐圧(Max)：　20MPa （ステンレス鋼製） 耐熱(M...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

純水供給圧の不足や変動の問題を解消！純水昇圧ユニット

工場の設備増設に伴う純水圧不足や、その変動を、純水昇圧ユニットが解決！…

視によるフィードバック機能により、安定した圧力に制御。 ■ベアリングのない磁気浮上遠心型のレビトロニクスポンプの採用で、 高い耐久性能を実現。 ■脈動のない安定した供給を実現。 ■幅広い供給流量に対応する製品モデルをご用意。 ■供給先装置の通信仕様に対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 SCREEN SPEサービス

ボールバルブ（ボール弁）『H-700シリーズ』

簡易ロック機構付で安全性向上。ステンレス316製、中圧（13.5MPa…

H-700シリーズは、一般用途向け中圧用ボールバルブです。このシリーズのバルブは、コンパクトな構造で、高流量用の比較的大きなポートを有し、タイトなシャットオフ、長い耐用年数、低操作トルクを提供します。H-700シリーズは正逆両方向の流れ方向で使用が可能で、全閉または全開で使用するように設計されています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

高純度ライン用ダイヤフラムバルブ　『UCVシリーズ』

半導体製造装置およびその周辺配管で要求されるクリーン度に対応したウルト…

ブルメルト材ボディを使用しバルブからのパーティクル発生を極力抑えます。 半導体装置に要求されるクリーン度を高いレベルで実現し、製造ラインでの歩留まりを改善します。 また、高純度ラインで使用可能は流量調整弁2LMシリーズもご用意しております。 海外仕様のダイヤフラムバルブ、モノブロックバルブ、面実装対応のバルブをお探しの方はお問い合わせフォームよりリクエスト下さい。 ※詳しくはPDF...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

超高純度ガス小型精製器

腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。

【特徴】 ○精製能力は個々の不純物—最大１ＰＰＢ以下、出口側不純物合計—最大１０ＰＰＢ以下です。(条件によります) ○流量範囲は０.５〜２０ＬＰＭです。（モデル・圧力条件により異なります) ○最高使用圧力は０.９７ＭＰａです。(１４０.６５ＰＳＩＧ) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-512」

ワークを回転させながら照射させるため、ウェハー全領域に均一なUV照射を…

独自の高効率、小流量N2パージ機能の搭載により、N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる。 高圧水銀ランプ仕様。 300mm／12”対応。 サイズ： 650(W)×800(...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

Parker 計装用チェックバルブ

Cシリーズ逆止弁

パーカー C シリーズ逆止弁は、化学処理、オイルおよびガスの製造・搬送、製薬、パルプ・製紙、電力などの業界で、単一方向に流れる液体および気体の流量を制御するためのバルブです。...

メーカー・取り扱い企業： アマノ機工株式会社 パーカーストア豊田店 パーカーストア事業部

【ピラースーパージョイント】クリーン＆長寿命な回転継手！

日本ピラー工業のロータリージョイント（回転継手）は、メカニカルシールで…

　・禁油処理は、もちろん「洗浄⇒組立⇒包装』を一貫して、クリーンルーム内で行っております。 ※本ページでは、 　シングルポートタイプを一例として紹介しております。 　多ポートタイプ・大流量タイプなど 　ご使用条件に沿ったカスタム設計も可能です。 　ぜひ、一度ご相談ください。 ●技術的なご質問はもとより、入手方法や商流のご案内なども承りますので 　お気軽に【お問い合わせ】よ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ピラー工業株式会社

プラズマクリーナー　G1000

ボンディングパッドの洗浄(ボンダビリティ向上)、表面改質・親水化(モー…

して効率よくプラズマ照射 　(ワークへのへの熱ストレスが少ない) ・任意のガス3種(アルゴン、酸素、水素＋アルゴン等)を選択可能、 　オプションのマスフローコントローラでCPUによるガス混合、流量コントロールが可能 ・対象に応じて5種類のプラズマモードを使い分けることが出来ます ●詳しくはお問い合わせください...

メーカー・取り扱い企業： ハイソル株式会社

グリッドイオンソース　仕様詳細

カウフマン&ロビンソン社製の各種グリッドイオンソースの仕様を掲載してい…

り扱っています。 各種グリッドイオンソースの仕様を細かく掲載していますので、この機会に是非ご覧ください。 【掲載内容】 ●放電/放電電流/放電電力 ●グリッド ●ビームタイプ ●ガス流量 ●ガス ●圧力 ●イオンガン高さ/イオンガン直径 ●ニュートライザー その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

ヒューズテクノネット　燃料電池イオン膜評価機

Windowsパソコンでの操作がわかりやすい

【特徴】 ○Windowsパソコン操作がグラフィカルで分かりやすくなっています。 ○温度・圧力・流量・電圧・電流などのデータをパソコン画面上に表示し、データを記録、テキスト形式で保存できますのでデータ加工が可能です。 ○各運転パターンを設定することが可能です。 ○ガス漏れ、地震、各種アラ－ム設...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューズテクノネット

真空用オゾン除害器

真空下で使用できる高効率オゾン除害器です。

に設置することで、真空ポンプの腐食を防ぎます。 【仕様】 型式　　　　　　　　　　OZ-1000 入口オゾン濃度　　　　　15%以下 出口オゾン濃度　　　　　0.1ppm以下 最大処理流量　　　　　　5sccm以下 コンダクタンス　　　　　100L/min以上 ※詳細はお問い合わせ下さい。 ※上記以外にご希望される仕様がございましたらお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

ヒューズテクノネット　透明導電膜加湿ユニット

H2Ｏを加温気化し、マスフローコントローラーで流量制御し、エッチング装…

加湿タンク内でＮ2ガスをバブリング、マスフローコントローラーで安定制御、温調器でプロセスラインベーキング制御、各炉へ安定供給します。...【特徴】 ○タンク制御温度・・・・・・・・60～65℃（センサーPT100Ω） ○配管制御温度・・・・・・・・・70～75℃（センサーPT100Ω） ○タンク・配管温度異常・・・・110℃（センサーサーモスイッチ） ○Ｈ2Ｏタンク水位検知用に、H・Mレベ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューズテクノネット

ミューコム　薄膜製造装置自動成長プログラム

自動成長プログラムによりバルブやマスフロー、温調計等を自動制御するシス…

真空制御、圧力制御、流量制御、温度制御やバルブ制御、各メカニカル駆動制御など、さまざまな制御装置に使われています。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ミューコム

米国mott社製ガスケットフィルターGSGシリーズ

不活性ガスをはじめ、特殊ガスも対応可能な高性能・簡易型フィルター

仕様流量：1～50L/min向け 捕獲性能：0.003μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様：1/4"VCR、1/2"VCR 製品材質：ステンレス製およびニッケル製...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクメイション