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コンパクトなサイズ(1インチ〜2インチ)対応のMBE装置です。
蒸着源には、弊社製金属蒸着セル(KMD-Cell)を搭載しております。また、他社製蒸着セルの搭載も可能であり、ご指示頂きました蒸着セルをご選択可能な設計をしております。超高真空対応に、標準にて液体窒素用シュラウドを装着しております。基板加熱・回転機構を装備しております。窒化物半導体や酸化物半導体は、RFアトムソースを接続する事により、成長可能です。また、蒸着チャンバーを複数ドッキング可能な設計...
メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社
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