面状発熱体　『ポリイミドヒーター』

PR薄手！柔軟！だから多種多様な形状で使用可能な面状発熱体ヒーターです！

ただ発熱するだけじゃない！ 【1】薄くてやわらかいから小型・軽量化に貢献 【2】昇温レスポンスが早いから大幅性能アップ 【3】自由な形状で設計できるから用途が広がる シンワの面状発熱体は、金属箔に電気を流して発熱させる薄いシート状の発熱体です。非常に薄くてやわらかい為、曲面や狭いスペースへの加熱に適しています。さらに回路をエッチングで形成する為、設計者の意図した発熱分布を得ることが...

メーカー・取り扱い企業： シンワ測定株式会社 ＦＥ部

ギ酸還元対応　卓上型真空リフロー装置『VSS-450-300』

PR課題解決事例を進呈中！ギ酸還元でボイドレス・フラックス残渣ゼロの高信頼…

『VSS-450-300』は、はんだリフローや酸化還元処理の他、ペーストの 焼結など、様々なアプリケーションにも柔軟に対応した 卓上型真空はんだリフロー装置です。 有効加熱エリアは300×300×50mmですので、高さのある部品実装にも 余裕で対応することができます。 【特長】 ■フラックスレスはんだ（還元方式）・フラックス入りはんだ両対応 ■卓上型サイズながら、最大到達温度...

メーカー・取り扱い企業： ユニテンプジャパン株式会社

ポーラスシリコン形成装置（陽極酸化装置）

従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・…

【特長】 ■多孔質シリコンを全自動にて形成します。 ■裏面保護用治具を使用しない為カセットto カセットを可能にしました。 ■N型、P型両方に対応出来ます。 ■2～6インチまで各種サイズ対応いたし...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ドラフトチャンバー（機器組込み型）

ワークや用途に応じた仕様にカスタマイズが可能です。

上と安全面の向上が得られます。 ダルトンでは用途に合わせ、最適なユニットをご提供致しますので、作業効率の向上が実現します。 現在お使いの槽やスピンコーターを組込む仕様にも対応致します。 【特長】 ■内部配管、配線等が整理され、外観がスッキリ。 ■責任範囲の明確化。 ■安全面も考慮。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

排ガス処理装置（スクラバー）

排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…

【特長】 酸・アルカリなどのガスを適切に処理。 スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。 また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

HFEベーパー乾燥装置

安全性を十分考慮した製品

【特長】 ■ベーパー発生槽底面の研磨技術と特殊表面加工をしたプレートヒーターを使用することにより、ベーパー発生槽内のHFEを均一に沸騰させ、槽内に均一なベーパーを発生させることができます。 ■各基板の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ボンベ真空加熱炉

半導体製造工程などで使用する高純度ガスボンベ内に付着している不純物を除…

ボンベの内壁に付着している不純物を加熱真空引きにより取り除きます。 ボンベサイズ、同時処理本数はカスタマイズにて対応します。 自動機、手動機など予算に合わせご提案します。 【特長】 ■ボンベの均一な加熱が可能です（Max200℃）。炉内温度±約1％ 。 ■ボンベ加熱と同時にボンベの安全弁への冷却も可能です。（熱による安全弁の破損防止の為） ※詳しくはPDF（カタロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

コンベア式エッチング装置

お客様のご要望に沿ったカスタマイズ仕様。実験機から生産機まで対応可能で…

液晶ガラスやタッチパネルなどに用いられる枚葉基盤を処理する装置です。 【特長】 ■対応ワーク　100mm角～1000mm角まで対応可能。（他のサイズ、形状は別途相談） ■揺動機構（水平揺動・スプレーノズル首振り）を付けることにより、処理効率を向上させます。 ■カセット...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

石英管保管庫

石英管や治具を安全に保管

【特長】 ■石英管や治具を安全に保管出来ます。 ■縦型保管と横型保管を選べます。 ■オプションにてN2パージやクリーンエアー乾燥等装備可能です。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

薬品保管庫

クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫

【特長】 ■クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫です。 ■酸・アルカリ系薬品に適した塩ビ製、有機系薬品に適したステンレス製の製作ができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

スピンドライヤー

1キャリアから4キャリア処理まで対応可能。

【特長】 ■1キャリアから4キャリア処理まで対応可能。 ■自動機への組込も可能です。 ■割れ易い（GaAsなど）ワーク用もあります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

キャリアストッカー

キャリアをそのまま又はケースに入れた状態で保管

【特長】 ■キャリアをそのまま又はケースに入れた状態で保管するものです。 ■庫内はクリーンな環境が維持できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

リフトオフ装置　※テスト可能機種あり

枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタ…

ンナップ】 ・HU型（量産向け）…バッチ、枚葉の併用仕様。より早く、確実な仕上がり ・HM型（研究開発・量産向け）…Jet処理のみで剥離が可能なウエハーに好適。 ・CHU型（研究開発向け）…HU型の特長を受け継ぎながら、コンパクト化を実現 ・MJ型（研究開発向け）…Jetチャンバーのみを有し、ウエハー投入・排出は手動操作 ・SL型（量産向け）…ディップ槽のみでリフトオフ処理を行なうシャワードレン式...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり

ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。

ウェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します。 ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です。 【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■手動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■RCA洗浄装置 ■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

手動陽極酸化装置

従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・…

【特長】 ■用途に合わせたカスタマイズが可能で研究開発等に適しています。 ■オプションにより薬液供給・回収機能、濃度計等選択出来ます。 ■陽極酸化治具は各種サイズに応じてご提案致します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

レチクルキャリアストッカー

レチクルをステッパー用ケースに入れた状態で保管

【特長】 ■レチクルをステッパー用ケースに入れた状態で保管するものです。 ■庫内はクリーンな環境が維持できます。 ■バーコード管理にも対応できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ウエハー洗浄装置（スピン式）※テスト可能機種あり

生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現…

チ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください。 2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温することが可能。 【その他特長】 ■ブラシ洗浄機能付き装置の製作が可能。 ■フォトマスク洗浄装置の製作が可能。 ■薬液供給、回収ユニットの装置本体組込みが可能。 ■オプションでオゾン水洗浄が可能。 ■オプションでナノバ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン