従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現

PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…

『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

水素フリーDLC（ta-C）『TETRAスリック』

PR難加工材用の切削工具、半導体向けの極細切削工具などの高硬度化・長寿命化…

水素フリーDLC（ta-C）『TETRAスリック』は、 高硬度で優れた耐摩耗性を実現するコーティングです。 薄膜仕様のため、厳しい精度が求められる加工物に適しています。 高い密着性で長寿命化が実現できるほか、耐熱特性に優れているのも特長です。 【用途例】 ■アルミニウムやチタン等の難加工材用切削工具・極細ドリルなど ■精密金型（半導体封止モールド用金型・レンズ成形・曲げ型・樹脂...

メーカー・取り扱い企業： 日本コーティングセンター（ＪＣＣ）株式会社

太陽電池作製装置（Si系、CIGS系太陽電池作製用のCVD装置）

高周波プラズマCVD法およびホットワイヤーCVD法を用いた微結晶SiC…

本装置は高周波プラズマCVD法およびホットワイヤーCVD法を用いた微結晶SiC太陽電池を作製することが可能な装置です。太陽電池における光吸収層であるi層、およびpn層の各層が分離形成できるように、3つの薄膜堆積チャンバー、試料搬送用ロボットチャンバー、試料スト...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

走査プローブ顕微鏡装置（SPM）用 極高真空装置

走査プローブ顕微鏡装置（SPM）用 極高真空装置

●特徴 本装置はプローブ（探針）を物質表面上で走査させ、実空間で表面の形状を原子レベルで得ることが出来る表面分析顕微鏡装置です。プローブに負電圧を印加し、観察する試料表面に近接させ、プローブと試料表面の間の空間に流れるトンネル電流を測定することにより試料表面の形態を原子レベルで観察することができる走査型トンネル顕微鏡（STM：Scanning Tunneling Microscope:）と、プロ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

3次元アトムプローブ装置 (3D-AP) 用 極高真空装置

3次元アトムプローブ装置 (3D-AP) 用 極高真空装置

sitive atom probe, PoSAP)は、アトムプローブの検出器に位置敏感型検出器(position sensitive detector)を取り入れたもので、分析に際してアパーチャーを用いずに検出器に到達した原子の飛行時間と位置を同時に測定するこができる装置です。この装置を用いれば試料表面に存在する合金中の全構成元素を原子レベルの空間分解能で２次元マップとして表示する事が出来るばか...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

有機EL用蒸着セル

有機材料（有機EL、高蒸気圧材料）薄膜用に開発されたＫセルタイプの蒸着…

本製品は、ルツボサイズが1ccと非常にコンパクトな設計となっております。その他、4cc・10ccと容量が大きいタイプも取り扱っております。ヒーターにシース材料を使用しておりますので、均一な温度が保てます。シャッター機構付きですので、蒸着の調整が可能です。ルツボ材質は、シェイパル・アルミナ・石英ガラス・グラファイトなど、多種揃えております。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

SEM用 極高真空装置

SEM用 極高真空装置

は細く絞った電子プローブで試料上を走査し、試料内部から発生する二次電子で結像させることにより表面形状観察をCRTで観察を行う電子検出形表面分析装置です。半導体の側長、検査装置、マスク描画装置などに応用されます。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

LEED分析用 極高真空装置

LEED分析用 極高真空装置

●特徴 本装置は電子線の回析現象を利用し、表面の結晶構造などを観察する電子検出形表面分析装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

有機EL用簡易蒸着装置

有機薄膜簡易蒸着装置

●特徴 ・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大5本取付可能 ・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能 ・コンタミを防ぐ2重シールド構造 ・基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備 ・メンテナンス・クリーニングの簡単設計 ...●特徴 ・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大5本取付可能 ・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能 ・コンタミを防ぐ2重シールド構造 ・基...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

電界イオン顕微鏡装置（FIM）

電界イオン顕微鏡装置（FIM）

子を個々にはぎ取り、先端原子の数を調整できるなど高度な実験が可能です。こうした本装置の優れた特性は、金属の原子レベルでの観察はもとより、先端の鋭い金属tipが不可欠な走査型トンネル顕微境のtip評価用として使われるなど幅広い用途に生かされ、多くの研究所、大学の研究室などで採用されています。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

極・超高真空チャンバー

お客様の多岐に渡る研究用途に合わせて、高真空、超高真空、さらには極高真…

北野精機では、お客様の多岐に渡る研究用途に合わせて、高真空、超高真空、さらには極高真空の領域まで各種真空チャンバーを制作しています。真空チャンバーの形や使用するステンレス鋼の材質は、実験の内容に応じて豊富な種類の中から最適なものを選択。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

エントリー・ハッチ

エントリー・ハッチ

●エントリー・ハッチ ・ICF規格ですので、お手持ちの装置にご利用できます。 ・ICF規格のフランジをOリング仕様の簡易ハッチへ変更できます。 ・ロードロック室等の試料導入が簡便に行えます。 ・覗窓付きとブランク型の2種類を御用意いたしました。 ●ロー...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

シャッター機構

マグネット方式で操作は簡単・半永久的！フルオープンタイプなので視界は広…

当製品は、真空容器内の蒸着物等に対するビューイングポート用の 保護シャッターです。 バタフライ方式のフルオープンタイプなので、視界は広範囲。 RHEED・光・ビーム等のカットにも応用できます。 各部品には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

中空型 回転導入機

ウォームギアを使用することでスムーズに位置決めが可能！中空構造の回転導…

り扱っています。 クライオスタット、液体窒素シュラウド等を超高真空内に挿入して 回転させることが可能です。 手動式高精度型及びモーター駆動式高精度型の2種類があり、ウォームギアを 使用することにより、スムーズに位置決めが可能。 また、有効内径を最大限に広げたことにより、中に取り入れる機構の寸法等を 気にすることなく取り付けができます。 【特長】 ■クライオスタット...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

2軸トランスファーロッド（マグネット型）

超高真空領域までの使用が可能！直線移動と回転運動が同時に行えます

当社では、『2軸トランスファーロッド（マグネット型）』を取り扱っています。 マグネットタイプのスライド方式なので、直線移動と回転運動が 同時に行えます。 ご希望に応じ、位置出し用ベロージョイント、任意のストローク・先端加工、 又モーター駆動型等も可能です。 【特長】 ■マグネットタイプのスライド方式で直線移動と回転運動が同時に行える ■マグネット方式なので、操作...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

HR-EELS装置用 極高真空装置

HR-EELS装置用 極高真空装置

●特徴 本装置は非弾性散乱現象を利用し、試料中での電子エネルギー損失を計ることにより表面プラズモン(surface plasmon)電子の表面状態などを検出する電子検出形表面分析装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社