FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』

PR30μm以下の水滴と蒸気の超音速噴射で、切削油など頑固な汚れもしっかり…

『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』は、水滴と蒸気を超音速で 噴射することで発生する衝撃波（キャビテーション）と せん断力により異物、汚れを除去する装置です。 電気、純水、圧縮空気（or窒素）で動作が可能。 ハンディガンタイプのため汚れを的確に除去できるほか、 装置はキャスター付きで容易に移動できます。 【特長】 ■キャビテーションの効果を利用して汚れを除去 ■薬品を...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

製造装置用大容量ＲＦ同軸コネクタ13.56Mhz~

ＲＦ電源からプロセスチャンバー間の高周波同軸接続箇所において、ワンタッ…

製造装置の種類の中でもエッチャーやＣＶＤ等はプラズマ発生時に高周波が必要とされておりますが、製造装置は各ユニット（ＲＦ電源～マッチングボックス～プロセスチャンバー等）を接続し組み立てるため、装置納入時の組み立てやメンテナンス時の脱着において再現性やインピーダンス整合が重要な箇所であります。 その中で高周波接続部において弊社コンタクトスプリングを装着した高周波同軸コネクタを採用された装置がトッ...

メーカー・取り扱い企業： エヌビーエス株式会社 本社・工場