フッ素膜【フッ素薄膜処理における真空蒸着法とスプレー法の違い】

PR各処理方法のメリット・デメリットを分かりやすく紹介した資料進呈。受託加…

本資料では、ガラスや金属に撥水性・撥油性・防汚性・離型性などを付与できる フッ素薄膜処理について、真空蒸着法とスプレー法の違いを説明しています。 フッ素薄膜処理は、基材の形状やコストなどの条件に応じた 処理方法の選定が求められます。 フッ素薄膜処理をご検討中の方は、ぜひ本資料をご覧ください。 【掲載内容】 ・フッ素薄膜処理とは ・真空蒸着法、スプレー法とは ・真空蒸着法...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カツラヤマテクノロジー T&K事業部

FOOMA JAPANに実機出展！世界で選ばれ続ける真空ポンプ

PR従来の油回転ポンプと比較し最大30%の省エネ(当社比)！まずは評価機で…

【製品説明】 世界で300万台以上のR5ロータリーベーン真空ポンプが使用されています。ブッシュのロータリーベーン技術が長きにわたり業界のスタンダードとして確固たる地位を築いてきた理由の一つが、その優れた堅牢性と信頼性です。R5 RDシリーズはその優れた特質を受け継いだ最新モデルです。 【特長】 ■ 高いエネルギー効率 　従来のロータリーベーン真空ポンプと比較した場合、最大で30%の省エネを実現(...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

液封式真空ポンプ（水封式真空ポンプ）

液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とする、大気圧まで圧縮で…

封液の蒸気圧付近の到達圧力を得る事ができ、 封液に水を使用する場合が多く水封式真空ポンプとも呼ばれています。 【特徴】 ○水をはじめ様々な封液を選択でき、用途に応じた最適な封液を選択する事により、 　 水蒸気や有機溶剤を含む気体（凝縮性気体）の排気にも対応 ○封液をクロー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械的ポンプの中で最も経済性・…

【特徴】 ○揺動ピストン形を採用しており、耐久性に優れ、 構造上、吸入空間を 　 大きく取る事ができ、効率的排気が可能で、大型ポンプに最適な構造 ○低真空領域での連続運転や、大気圧と真空を短時間で繰返す、というような 　 過酷な運転条件でも、適切な油供給を行う機構を付属することにより、 　 長く安心して使用できる ○精密かつ堅牢な設計で、かつメ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

油拡散真空ポンプ

簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポ…

【特徴】 ○10,000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップ ○作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプ ○機械的な作動部がなく、堅牢で長寿命 ○分解が簡単な構造なので、内部清掃・保守・点検が容易に行える ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MU

超高真空仕様ターボ分子ポンプ

超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【納入事例】自動車部品リークテスト用 高真空排気ユニット

ターボ分子ポンプを主ポンプとした『高真空排気ユニット』の事例をご紹介し…

今回自動車部品のリークテスト向けに納入させていただいた排気ユニットは、 グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ「TG350F」を主ポンプとし、直結型 油回転真空ポンプを補助ポンプとする排気ユニットです。 ターボ分子ポンプの吸気口に短管を介して取り付けられた口径100mmの アングルバルブで真空チャンバーと接続します。 ターボ分子ポンプと油回転...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

省エネ型ドライ真空ポンプ　ER100D/ER100DC

同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！

省エネ型ドライ真空ポンプ　ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

直結型油回転真空ポンプ(一段式)『VSVシリーズ』

全機種二段式ガスバラストが標準搭載！配管工事不要で手間が省ける直結型油…

『VSVシリーズ』は、1段式の回転翼型(ベーン型)油回転真空ポンプです。 シンプルで堅牢な設計で、大気から真空への繰り返し排気に好適。 揺動ピストン形(キニータイプ)、カム形(センコタイプ)と比べて、 軽量・コンパクト・低振動構造です。 また...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空システム

真空システム

大阪真空社では、「安心して、満足して、長期間使用可能な信頼性の高い製品」 を提供する事をモットーとして、 多彩なラインアップをもとに、 充実した技術力と実績を持ってユーザーのニーズに合わせた ベストな...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ルーツ真空ポンプ

メカニカルブースターポンプ

まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 　 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ポンプ　蒸気エジェクタ

エジェクタは、気体（水蒸気等）や、液体（水等）を駆動源とする真空ポンプ…

蒸気エジェクタは、気体を駆動源とし、気体を吸引・排気するエジェクタです。構造が簡単で故障が少なく、扱いやすいのが特徴です。 また、エジェクタを直列に数段配置することで、より高真空の領域まで到達することができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

冷凍機器産業、医療機器・医薬品産業などに適した油回転真空ポンプ

【高品質な製品で魅力的な価格】ポンプの運転を安定化させる循環システム搭…

『VRDシリーズ』は、冷凍機器産業、医療機器・医薬品産業などに適した 二段式の直結型油回転真空ポンプです。 排気速度4～65m³/hの幅広い製品ラインアップとオプション品を取り揃え、 高品質な製品を魅力的な価格で提供いたします。 装備した二段階調節のガスバラストバルブは、排気す...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ポンプセット PRM/PRL/PRDシリーズ

ルーツ真空ポンプと補助ポンプの組合せにより、最適な真空環境を提供します…

【製品の特長】 ○ルーツ真空ポンプと補助ポンプの組合せにより、最適な真空環境を提供します。 ○標準組合せで簡単にお使い頂けます。 ○ご仕様にあわせて最適な組合せを提案いたします。 ●その他機能や特長については、カタロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップをご紹介！

絶対に見逃したくない、大阪真空の新製品！ ※［オンライン開催］VACU…

お客様の先端的な生産工程、分析、R＆Ｄなど、各分野の要求にあった真空システムを提供するため、新技術開発に加えて、既存技術を活用した設備の高度利用、安定利用、更に踏み込んで設備稼働の向上に努めています。今年の真空展では当社の新製品の磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

コンパクトドライ真空ポンプ　DSP250/DSP500

冷却水不要なのでコンパクトな自由設計！20000時間以上の長寿命！

コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

空冷式ドライ真空ポンプ FR060D

大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！

空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空装置

真空装置

大阪真空社の清浄高真空分野への取り組みは、 理化学研究分野をはじめ 半導体・液晶分野などの発展と共に拡大しています。 操作性・生産性の高いシステムの提供に努めており、いずれの装置も ユーザーのニーズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【納入事例】封液循環型 液封式真空ポンプ

ケーシングとその内部にある羽根車から構成！液封式真空ポンプの納入事例を…

高機能フィルムの製造プラントにおいて有機溶剤を回収する真空蒸留工程に 「封液循環型(閉サイクル)液封式真空ポンプ」を納入した事例をご紹介いたします。 有機溶剤の温度を上げると変質の恐れがありますが、真空蒸留では、減圧することで 温度を上げずに有機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

株式会社大阪真空機器製作所 製品案内

取り扱いが容易な液封式真空ポンプや故障しにくいエジェクタなどをラインア…

当カタログでは、低真空や超高真空までの幅広い真空製品を掲載しています。 ベルト駆動型油回転真空ポンプ「Pシリーズ」をはじめ、磁気軸受形複合分子 ポンプ「TG-Mシリーズ」やコンパクトドライ真空ポンプ「DSPシリー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ポンプ　マルチジェトコンデンサ(MJシリーズ)

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプ…

マルチジェットコンデンサは、凝縮も兼ね備えた水エジェクタです。 【製品の特長】 ○排気ポンプとコンデンサの両方の役目を兼ねているので、凝縮性気体の排気に、水エジェクタよりもさらに効果的です。 ○吸入側に逆止弁がついているので、大気脚が不要で停電や断水時の逆流が防止できます ○水エジェクタの特長も全て備えています ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展

ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポン…

IoT社会を実現するためには様々な電子部品・半導体等が必要であり、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。その真空環境を作り上げるのに必要な真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。 今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたしま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ポンプ　水エジェクタ(WJシリーズ)

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプ…

水エジェクタは、水を駆動源とし、気体を吸引・排気するエジェクタです。駆動水の蒸気圧程度の吸入口圧力が得られ、凝縮性・腐食性ガス、ダストを含む気体の排気に有効です。また、多段蒸気エジェクタシステムの最終段としても利用できます。...【製品の特長】 ○駆動に水を使用しているので、凝縮性ガスや腐食性ガスの排気、ダストを含む気体の排気に有効です ○駆動水の飽和蒸気圧程度の吸入口圧力が得られます ○標...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

『医療用加速器向け真空ポンプ・排気システム』のご紹介

信頼性の高いターボ分子ポンプTG-Fシリーズを搭載した排気システム

株式会社大阪真空機器製作所では、ターボ分子ポンプだけでなく 真空機器全般のシステム及び制御盤・制御シーケンスを含めた 設計・製作を担っています。 当社の約65年に渡る真空機器の実績と経験が評価され、粒子線...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【納入事例】瞬間接着剤原料の減圧蒸留用排気システム

瞬間接着剤原料を製造する化学プラントの減圧蒸留工程で、反応缶を真空に引…

今回は製造能力をアップした設備の新設に際して、大型化した反応缶を 真空に引くために、より排気速度の大きい大型の真空排気システムが必要で あったため、当社で真空排気システムを製作し納入させていただきました。 接着剤製造工程で使われることから、接着剤材料が固着して...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ

新製品TGkine4200M発売！！余計な配線が不要で作業効率とメンテ…

ポンプ　新製品TGkine4200M 発売！！このたび 新製品TGkine4200Mの開発に成功しました。 他社製品に比べコンパクトな割りに流量が大きい、等の特徴がございます。 9月に開催予定の真空展２０１５へ実機展示し、パネル等で仕様をご説明する予定です。 TGkine4200Mを加えたTGkine３シリーズ (TGkine2200M/3300M/4200M)を展示し、皆様にご紹介いたしま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ポンプ　熱圧縮機

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプ…

【製品の特長】 ○吸入比が極めて大きくとれます。 ○吸入比=吸入蒸気量/駆動蒸気量 ○故障がほとんどない簡単な構造 　 構造上は蒸気エジェクタとまったく同じです。また、大吸入量のものが安価で製作できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...【製品の特長】 ○吸入比が極めて大きくとれます ○吸入比=吸入蒸気量/駆動蒸気量 ○故障がほ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

姿勢自在形　複合分子ポンプ(TG-Fシリーズ)

低～超高真空まで広領域の排気に対応した取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型タ…

○取付姿勢自由自在 取付姿勢が360度自由自在なので、装置設計の自由度が拡大！ ○優れた耐久性 独自の軸受構造の採用により、大気突入による急な圧力上昇に強い！ ○急速ベント停止 ベントポートを利用して、エアーブレーキの要領でポンプを急停止させることができます。 ※一部対応外の機種があります。 ○メンテナンスフリー 日々のメンテナンスの必要がありません。 定期的な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形　複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)

広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。

標準型、ケミカル型に加え、各種特殊仕様（極低振動、反応生成物対策仕様、超高真空仕様、耐放射線仕様）もラインナップ！...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG1300M

低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様

多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…

技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング 装置を納入した事例を紹介させていただきます。 今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロード ロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基板温度制御系および PCと制御装置からなる操作・制御系により構成。 スパッタ室には、ターゲットを取り付けるカソードが3元搭載されており、 それぞれのカソードに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

新型磁気軸受形ターボ分子ポンプ『TG397M～1307M』

設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能！

大阪真空機器製作所が取扱う『TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M』は、従来の磁気軸受形ターボ分子ポンプと比較して、磁気浮上モータの改良により、低消費電力を実現可能にしました。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所