【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

圧力スイッチ『TPSシリーズ』

設定圧力を変えることができ、軽量・コンパクトで取り扱いが容易な圧力スイ…

【TE-140シリーズの特長】 ■窒素や空気を連続的に供給することにより吸引力（真空）を得るための機器 ■配管内などを真空引きして、内部に残留する使用ガスや大気を 　吸引パージする際の真空の発生源として使用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせくださ...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高腐食性ガス対応圧力調整器『S-LABO M1シリーズ』

耐食性に優れたモネル製！SUSでも対応できない高腐食性ガスに最適な圧力…

性ガスでの使用に対応した高圧用圧力調整器です。 特に、SUSも使用できない腐食性の高いガスに対応するため、 本体材質に耐食性の高いモネルを採用しています。 純度保持のために、バルブには真空下使用できるフッ素系グリスを使用し、 入り口側には出流れ防止のためのフィルターを内蔵しました。 【特長】 ■高圧用 ■標準ガス、高純度ガス、腐食性ガス対応 ■耐食性に優れたモネル製 ...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高腐食性ガス対応圧力調整器『S-LABO MLシリーズ』

耐食性に優れたモネル製！SUSでも対応できない高腐食性ガスに最適な圧力…

性ガスでの使用に対応した低圧用圧力調整器です。 特に、SUSも使用できない腐食性の高いガスに対応するため、 本体材質に耐食性の高いモネルを採用しています。 純度保持のために、バルブには真空下使用できるフッ素系グリスを使用し、 入り口側には出流れ防止のためのフィルターを内蔵しました。 【特長】 ■低圧用 ■標準ガス、高純度ガス、腐食性ガス対応 ■耐食性に優れたモネル製 ...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部