【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

FOOMA JAPANに実機出展！世界で選ばれ続ける真空ポンプ

PR従来の油回転ポンプと比較し最大30%の省エネ(当社比)！まずは評価機で…

【製品説明】 世界で300万台以上のR5ロータリーベーン真空ポンプが使用されています。ブッシュのロータリーベーン技術が長きにわたり業界のスタンダードとして確固たる地位を築いてきた理由の一つが、その優れた堅牢性と信頼性です。R5 RDシリーズはその優れた特質を受け継いだ最新モデルです。 【特長】 ■ 高いエネルギー効率 　従来のロータリーベーン真空ポンプと比較した場合、最大で30%の省エネを実現(...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

コーティング装置　圧粉成形離型DLCコーティング　

特殊イオン源を使用した装置で高耐久性ICFを成膜させ、高面圧下で使用し…

【主な特徴】 ○高面圧下で使用しても剥離せず、高寿命化の新機能被膜。 ○特殊イオン源を使用したプラズマCVD装置で高耐久性ICFを成膜させる。 ○真空とプラズマを利用し、様々な材料に薄膜や改質層を成形し、 　付加価値を高める装置を製造。 ○ユーザーのニーズに合う多種多様な真空装置のカスタマイズ製作 　を行っている。 ○適用材質 →超硬合...

メーカー・取り扱い企業： ナノテック株式会社

DLC(ダイヤモンドライクカーボン）コーティング装置

DLC膜の様々な改質を可能としたDLCコーティング装置！超精密金型や高…

.7×10-４Pa以下まで30分以内 ○基板加熱機構：オプション（シースヒーター、ランプヒーター等） ○基板バイアス電圧：MAX 3.0kV ○装置制御：レシピ画面設定による完全自動運転 ○真空系：ターボ分子ポンプ ＋ ロータリーポンプ ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： ナノテック株式会社

ホローカソード型イオンプレーティング装置　NTH-1000

中空陰極内部よりアルゴンガスを放出、不活性ガスをイオン化・放電を形成

よる成膜エリアの拡大 →均一性向上を実現 ○両扉オープン及び治具下置設計による作業性向上 ○ビーム収束コイルによる高エネルギー密度プラズマビームの発生 【NTH－1000装置仕様】 ○真空槽(mm)：φ1000×800H ○有効エリア： φ200×400×8式 ○基板ホルダー：自公転式（下置型） ○作動ガス：Ar・N2・C2H2 ○蒸発イオン源：HCDガン ○到達圧力：５×...

メーカー・取り扱い企業： ナノテック株式会社