【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

『ローコスト海外製品ポンプ』導入事例＆カタログ進呈

PR【※デモ機無料貸出中】韓国メーカーよりポンプを直輸入(総代理店)し低価…

当社は、産業機械用や医療機器用ポンプの提供で豊富な実績をもっております！ 今回は、なかでも当社が日本総代理店である韓国・G＆M Tech.社製の『ローコストポンプ』をご紹介します！ 【ラインナップ（一部）】 ＜オイルレス ピストン式真空ポンプ　DCモータータイプ＞ ■低価格でコストダウンに貢献 ■特殊樹脂製ピストンリングを使用し、オイルフリー ■メンテナンスが容易で、国内採用実績が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社CSP（シーエスピー）

HIWINウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

高精度＆高剛性！　2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

シングルアーム／ダブルアーム アーム長　135mm／185mm エンドエフェクターは真空吸着、把持、反転の各方式に対応。...

メーカー・取り扱い企業： ハイウィン株式会社

HIWIN ウエハロードポート

8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。

ー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。 ・関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。 　ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。 ・ボールねじ、リニアガイドウェイなどのウエハロードポートの主要コンポーネン...

メーカー・取り扱い企業： ハイウィン株式会社